拉单晶异常失控反思

单晶异常失控反思
拉单晶异常失控容易引发重大损失,因此单晶问题值得我们深入反思,安全在单晶生产以及应用中是重点,因为单晶生产细节较多,设备复杂,高温时间较长,如果没有安全意识,及安全措施,那不敢想象,单晶安全中,危险的有两个个是突然停电;第二是冷却水故障(包括整体还有部分管路)。
在单晶生产前期规划时,就要考虑电力供给采用双电源供给,特别是冷却水泵供电系统,如果没有。那么就采用大家都使用的发动机做为备用电源的方案(也是普遍使用的)。在熔硅时或拉晶过程中,遇到突然停电,常规操作是什么呢,我先说说机械操作流程:关闭真空阀门,手动操作提起单晶,把所有开关、旋钮旋回到零位。但是如果停电时间短,坩埚中的液态硅还未全部凝固成固态,来电后立即送电,一次加热至高温,把固态硅熔化掉。如果已经拉出一段单晶,则应该把单晶熔化掉,重新引晶。如果停电时间较长已无挽救的希望,还要手动操作缓慢升高坩埚,防止熔硅全部凝固时涨坏托碗和加热器。
在通电加热前,必须先打开单晶炉的冷却水阀门正常开启,并进水压力正常,一般单晶炉有装有水压继电器,单晶炉不通水或者水压过低,加热电源都送不上,.老的有些单机炉无此装
置,对此,要切记先通水,后加热。在熔硅时或拉晶过程中,一般不会突然停水。万一遇到突然停水,为了保持单晶炉不会烧坏,必须关闭加热电源、停炉。
单晶炉上面的水管(黑的),如果单晶炉的某个部位(炉膛、上轴、下轴、电机等)因为冷却水管堵塞或脱落,造成该部分无法正常冷却时,此处温度会迅速提高,一般在主要冷却水管上都有温度传感器,平时要注意温度传感器温度测试正常,过高温度都会立刻报警,维修人员进行检修,如果短期无法维修并温度升高严重,则只有停炉,千万不能突然通水,否则水遇高温后立即气化,体积突然膨胀可能出现爆炸事故,如果温度升高不严重,可以加速大量通水,待温度正常后再调整水压。在熔化硅和单晶拉制的整个过程中,操作人员要经常检查各个冷却水管是否通畅,发现异常要及时处理,防止造成重大安全事故。
为了避免因为单晶失控引发的重大安全以及财产损失,我们应该对单晶的生产以及应用过程中进行严格的操作把控,把单晶的安全措施做到最好。
水管温度传感器

本文发布于:2024-09-22 01:56:29,感谢您对本站的认可!

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