一、轴径
在单件小批生产中，中低精度轴径的实际尺寸通常用卡尺、千分尺、专用量表等普通计量器具进行检测；在大批量生产中，多用光滑极限量规判断轴的实际尺寸和形状误差是否合格；；高精度的轴径常用机械式测微仪、电动式测微仪或光学仪器进行比较测量，用立式光学计测量轴径是最常用的测量方法。 二、孔径
单件小批生产通常用卡尺、内径千分尺、内径规、内径摇表、内测卡规等普通量具、通用量仪；大批量生产多用光滑极限量规；高精度深孔和精密孔等的测量常用内径百分表（千分表）或卧式测长仪（也叫万能测长仪）测量，用小孔内视镜、反射内视镜等检测小孔径，用电子深度卡尺测量细孔（细孔专用）。
三、长度、厚度
长度尺寸一般用卡尺、千分尺、专用量表、测长仪、比测仪、高度仪、气动量仪等；厚度尺寸一般用塞尺、间隙片结合卡尺、千分尺、高度尺、量规；壁厚尺寸可使用超声波测厚仪或壁厚千分尺来检测管类、薄壁件等的厚度，用膜厚计、涂层测厚计检测刀片或其他零件涂镀层的厚度；用偏心检查器检测偏心距值， 用半径规检测圆弧角半径值，用螺距规检测螺距尺寸值，用孔距卡尺测量孔距尺寸。
借助放大镜、比较显微镜等用表面粗糙度比较样块直接进行比较；用光切显微镜（又称为双管显微镜测量用车、铣、刨等加工方法完成的金属平面或外圆表面；用干涉显微镜（如双光束干涉显微镜、多光束干涉显微镜）测量表面粗糙度要求高的表面；用电动轮廓仪可直接显示Ra0.025～6.3μm 的值；用某些塑性材料做成块状印模贴在大型笨重零件和难以用仪器直接测量或样板比较的表面（如深孔、盲孔、凹槽、内螺纹等）零件表面上，将零件表面轮廓印制印模上，然后对印模进行测量，得出粗糙度参数值（测得印模的表面粗糙度参数值比零件实际参数值要小，因此糙度测量结果需要凭经验进行修正）；用激光测微
尺寸测量
仪激光结合图谱法和激光光能法测量Ra0.01～0.32μm的表面粗糙度。
1．相对测量：用角度量块直接检测精度高的工件；用直角尺检验直角；用多面棱体测量分度盘精密齿轮、涡轮等的分度误差。
2．直接测量：用角度仪、电子角度规测量角度量块、多面棱体、棱镜等具有反射面的工作角度；用光学分度头测量工件的圆周分度或；用样板、角尺、万能角度尺直接测量精度要求不高的角度零件。
3．间接测量：常用的测量器具有正弦规、滚柱和钢球等，也可使用三坐标测量机。
4．小角度测量：测量器具有水平仪、自准直仪、激光小角度测量仪等。
六、直线度
用平尺（或
刀口尺）测量间隙为0.5μm（0.5～3μm 为有光，3μm 以上为白光）的直线度，间隙偏大时可用塞尺配合测量；用平板、平尺作测量基维，用百分表或千分表测量直线度误差；用直径0.1～0.2mm 钢丝拉紧，用V 型铁上垂直安装读数显微镜检查直线度；用水准仪、自准直仪、准直望远镜等光学仪器测量直线度误差；用方框水平仪加桥板测直线度；用光学平晶分段指示器检测精度高的直线度误差。
七、平面度
用指示器（如百分表）；用平尺结合指示器；用平面扫瞄仪、水平仪、自准直仪、准直望远镜、平晶等光学仪器测量工件的平面误差；用标准平板或平尺涂上颜料与被测平面平尺对研，以每25.4×25.4mm的面积内亮点的数目来表征平面度误差。
八、圆度
用圆度仪测量，测量时仪器可将轮廓记录在纸上，用同心圆模板或按仪器给出的理想圆比较求出圆度误差，圆度仪有转轴式和转台式两种测量方式；用卡尺、千分尺等多测几个工
件截面直径，以同截面最大值减最小值的1/2 作为该工件的圆度误差；将工件架在V 形铁上用上指示器多测几个截面，以最大差值的1/2 作为圆度误差值，取最大误差值作为工件的圆度误差；用光学分度头、万能工具显微镜的分度台作为测量圆度误差的回转分度机构，用电感测微仪、扭簧比较仪的指示机构来测量圆度、圆柱度误差；用圆分度仪在圆周上等份取若干测量点，被测件每转过一个角度从指示表上读取一个数值，然后在极坐标图上绘出误差曲线，得出圆度或圆柱度误差；将被测工件放置在有坐标装置仪器（三坐标测量机或有两坐标的万能工具显微镜等）的工作台上，调整被测件轴线与仪器工作台面垂直并基本上同轴，按选定截面被测圆周上等份测量出各点坐标值，取其中最大的误差值为评定的圆度误差。
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