一种剥离液废液处理系统的制作方法

1.本实用新型涉及废液回收技术领域，具体而言，涉及一种剥离液废液处理系统。

背景技术：

2.光刻胶剥离液是显示面板及半导体制造工艺中常用的湿电子化学品，用来去除光刻胶，其主要由有机胺、极性有机溶剂和水组成。光刻胶剥离液在使用一定时间后性能会下降或失效而成为剥离液废液，通常直接将其报废或委托危废处理企业进行处理。然而剥离液废液还含有大量的有机溶剂和有机胺，其仍然具有一定的光刻胶剥离能力，将其报废会造成极大的资源浪费，也会造成环境污染。

技术实现要素：

3.本实用新型的目的在于提供一种剥离液废液处理系统，其能够回收利用剥离液，节约了资源，降低了使用成本，并有效减少了环境污染。
4.本实用新型的实施例是这样实现的：
5.第一方面，本实用新型提供一种剥离液废液处理系统，包括依次连接的第一缓冲装置、回收装置以及第二缓冲装置；
6.所述第一缓冲装置用于使剥离液废液依次经过所述回收装置以及所述第二缓冲装置，其中，所述回收装置用于过滤所述剥离液废液中的光刻胶渣质、颗粒物以及杂质离子以获得回收液，所述第二缓冲装置用于接收并处理所述回收液，以生成剥离液。
7.在上述实施例中，通过回收装置去除剥离液废液中的光刻胶渣质、颗粒物以及杂质离子等杂质并获得回收液，再通过第二缓冲装置对回收液进行处理，以将回收液重新配置成具有剥离性能的新的剥离液，从而使得剥离液废液能够重复循环利用，延长了剥离液的使用寿命，也一定程度上增强了剥离液的剥离性能，节约了资源并降低使用成本，同时有效地减少环境污染。
8.在可选的实施方式中，所述回收装置包括依次连接的过滤器、吸附器以及金属离子去除器，且所述过滤器与所述第一缓冲装置连接，所述金属离子去除器与所述第二缓冲装置连接。
9.在上述实施例中，回收装置由依次连接的过滤器、吸附器以及金属离子去除器构成，以依次去除剥离液废液中的光刻胶渣质、颗粒物以及杂质离子。
10.在可选的实施方式中，所述过滤器包括滤芯，所述滤芯为孔隙结构且底部呈锥状，所述过滤器用于使所述剥离液废液由上至下经过所述滤芯，以过滤所述剥离液废液中的光刻胶渣质。
11.在上述实施例中，通过设置滤芯以过滤剥离液废液中的呈细小颗粒状的光刻胶渣质，将滤芯的底部设置呈锥状，不仅可有效提高过滤效率，也可加快过滤速度，从而提高剥离液废液生成剥离液的效率。
12.在可选的实施方式中，所述吸附器包括依次设置的加热件、吸附件以及过滤件，所
述吸附器用于使所述剥离液废液依次经过所述加热件、所述吸附件和所述过滤件，以通过所述吸附件吸附所述废液中的颗粒物。
13.在上述实施例中，设置加热件以对废液进行加热，加热的剥离液废液在吸附件中的过滤速度快且过滤效率高，以此有效吸附剥离液废液的素及细小颗粒物。吸附后的剥离液废液通过过滤件流出吸附器，而呈锥形的过滤件可提高剥离液废液的过滤效率和过滤速度。
14.在可选的实施方式中，所述金属离子去除器包括至少一个离子交换柱，所述离子交换柱用于交换所述剥离液废液中的杂质离子。
15.在上述实施例中，通过设置离子交换柱以与剥离液废液中的杂质离子进行离子交换，从而去除剥离液废液中的杂质离子，离子交换柱的锥形底部可提高废液的过滤效率和过滤速度。
16.在可选的实施方式中，第一缓冲装置包括第一缓冲罐，所述第一缓冲罐用于接收所述剥离液废液并将所述剥离液废液向所述过滤器输送。
17.在上述实施例中，将剥离液废液输送至第一缓冲罐，并通过第一缓冲罐向回收装置输送废液以直接过滤剥离液废液，可提高剥离液废液的处理效率。
18.在可选的实施方式中，所述第一缓冲罐包括离心器，所述离心器用于去除所述剥离液废液中的沉淀物。
19.在上述实施例中，通过在第一缓冲罐中设置离心器以对剥离液废液进行离心处理，从而去除剥离液废液中的沉淀物。
20.在可选的实施方式中，所述第二缓冲装置包括第二缓冲罐和补充罐，所述第二缓冲罐与所述金属离子去除器以及所述补充罐连接，所述补充罐用于向所述第二缓冲罐补充原料。
21.在上述实施例中，通过设置补充罐向第二缓冲罐中补充剥离液在形成剥离液废液的过程中失去的成分，以使第二缓冲罐中的回收液重新生成剥离液。
22.在可选的实施方式中，所述第二缓冲装置和过滤器、吸附器以及金属离子去除器之间分别设置有第一回流管路、第二回流管路以及第三回流管路，所述第一回流管路、所述第二回流管路以及所述第三回流管路均设置有阀门和泵；
23.所述第二缓冲罐设置有取样口，所述取样口用于对所述第二缓冲罐内的所述回收液进行取样。
24.在上述实施例中，通过设置第一回流管路、第二回流管路以及第三回流管路，以使得第二缓冲装置和过滤器之间、第二缓冲装置和吸附器以及第二缓冲装置和金属离子去除器相互连通；通过设置取样口可对第二缓冲罐中的回收液进行取样，从而可依据取样结果使得未达标的回收液即剥离液废液通过第一回流管路、第二回流管路或第三回流管路流回过滤器、吸附器或金属离子去除器再次进行处理，从而充分除去剥离液废液中的杂质或离子，以使得剥离液废液达到再次生成剥离液的标准。
25.在可选的实施方式中，所述剥离液废液处理系统还包括输送管路，所述输送管路的一端与所述第二缓冲罐连接，另一端用于与工作台连接，以向所述工作台输送重新生成的所述剥离液，所述输送管路设置有泵。
26.在上述实施例中，第二缓冲罐与工作台通过输送管路连接，以实现第二缓冲罐中
由回收液再次生成的剥离液向工作台输送，以此使得剥离液循环利用。
27.本实用新型实施例提供的剥离液废液处理系统的有益效果包括：通过回收装置除去剥离液废液中的光刻胶渣质、颗粒物以及杂质离子等杂质以获得回收液，再通过第二缓冲装置对回收液进行处理，以将回收液重新配置成具有剥离性能的新的剥离液，从而使得剥离废液能够重复循环利用，延长了剥离液的使用寿命，也一定程度上增强了剥离液的剥离性能，节约了资源并降低使用成本，同时有效地减少环境污染。
附图说明
28.为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
29.图1为本实用新型实施例提供的剥离液废液处理系统示意图；
30.图2为本实用新型实施例提供的滤芯示意图；
31.图3为本实用新型实施例提供的吸附器示意图；
32.图4为本实用新型实施例提供的离子交换柱示意图。
33.图标：10-剥离液废液处理系统；100-第一缓冲装置；110-第一缓冲罐；200-回收装置；210-过滤器；211-滤芯；220-吸附器；221-加热件；222-吸附件；223-过滤件；230-金属离子去除器；231-离子交换柱；300-第二缓冲装置；310-第二缓冲罐；311-取样口；320-补充罐；400-第一回流管路；500-第二回流管路；600-第三回流管路；700-阀门；800-泵；900-输送管路；20-工作台。
具体实施方式
34.为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
35.因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
36.应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
37.在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
38.此外，术语“水平”、“竖直”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。
39.在本实用新型的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
40.在目前的tft(thin film transistor，薄膜晶体管)及ic(integrated circuit，集成电路制造)工艺中，通常先在玻璃基板或硅晶圆上旋涂一层光致抗蚀剂，利用所需掩模版进行曝光、显影，再根据光致抗蚀剂的特性(正性光刻胶或负性光刻胶)，使用相对应光刻胶剥离液去除曝光或者未曝光的光致抗蚀剂，在需要的部分形成图案。
41.光刻胶剥离液是显示面板及半导体制造工艺中常用的湿电子化学品，用于去除光刻胶。其有效成分主要由有机胺、极性有机溶剂和/或水组成。上述有机胺可包括单乙醇胺(mea)、二甲基乙酰胺(dmac)、n-甲基二乙醇胺(mdea)等。上述极性有机溶剂可包括二乙二醇甲醚(dgme)，二乙二醇单丁醚(bdg)，二甲亚砜(dmso)等。光刻胶剥离液在使用一定时间后会出现性能下降或失效，通常只能报废或委托危废处理企业处理，会造成极大的资源浪费和环境污染。使用后的光刻胶剥离液还含有大量的有机溶剂和有机胺，仍然具有一定的光刻胶剥离能力，如果能够采用适当的方案去除使用后光刻胶剥离液中的各种杂质来提升光刻胶剥离液的使用寿命和剥胶效果，则会一定程度上节约资源和降低使用成本，有效减少环境污染。
42.请参阅图1至图4，为解决以上问题，本实施例提供了一种剥离液废液处理系统10，用于使工作后的光刻胶剥离液经过处理后循环再利用，有效地延长了光刻胶剥离液的使用寿命，同时也在一定程度上增强了光刻胶剥离液对玻璃基板和硅圆基板上的光刻胶的剥离性能。
43.进一步地，本实施例提供的剥离液废液处理系统10包括依次连接的第一缓冲装置100、回收装置200以及第二缓冲装置300。
44.第一缓冲装置100用于使由剥离液作用于光刻胶生成的剥离液废液依次经过回收装置200以及第二缓冲装置300，其中，回收装置200用于过滤废液中的光刻胶渣质、颗粒物以及杂质离子以获得回收液，第二缓冲装置300用于接收并处理回收液，以生成剥离液。
45.在本实施例中，通过回收装置200去除剥离液废液中的光刻胶渣质、颗粒物以及杂质离子等杂质并获得回收液，再通过第二缓冲装置300对回收液进行处理，以将回收液重新配置成具有剥离性能的新的剥离液，从而使得剥离废液能够重复循环利用，延长了剥离液的使用寿命，也一定程度上增强了剥离液对玻璃基板和硅圆基板上的光刻胶的剥离性能，节约了资源并降低使用成本，同时有效地减少环境污染。
46.进一步地，第一缓冲装置100包括第一缓冲罐110，第一缓冲罐用于与工作台20连接，工作台20用于通过剥离液剥离光刻胶并生成剥离液废液，第一缓冲罐110用于接收剥离液废液并将剥离液废液向回收装置200输送。
47.在本实施例中，工作台20用于进行光刻胶剥离作业，通过设置与工作台连接的第
一缓冲罐110，并使在工作台20产生的剥离液废液直接输送至第一缓冲罐110，并向回收装置200输送废液以直接处理剥离液废液，可提高剥离液废液的处理效率。
48.进一步地，第一缓冲罐110包括离心器(图未示)，离心器用于去除剥离液废液中的沉淀物。
49.在本实施例中，通过在第一缓冲罐110中设置离心器以对剥离液废液进行离心处理，从而去除废液中的高分子固体杂质。
50.具体地，第一缓冲罐110的体积为1立方，离心器可以为高速旋转离心装置，用于去除剥离液废液中的高分子固体物质。
51.进一步地，回收装置200包括依次连接的过滤器210、吸附器220以及金属离子去除器230，且过滤器210与第一缓冲装置100连接，金属离子去除器230与第二缓冲装置300连接。
52.进一步地，过滤器210用于过滤废液中的光刻胶渣质，吸附器220用于吸附废液中的颗粒物，金属离子去除器230用于交换废液中的杂质离子。
53.在本实施例中，回收装置200由依次连接的过滤器210、吸附器220以及金属离子去除器230构成，以依次过滤废液中的光刻胶渣质、颗粒物以及杂质离子，从而去除剥离液废液中的杂质。
54.具体地，过滤器210、吸附器220以及金属离子去除器230均由316不锈钢内衬聚四氟乙烯(ptfe)材质构成。
55.进一步地，过滤器210包括滤芯211，滤芯211为孔隙结构且底部呈锥状，通过使剥离液废液由上至下经过滤芯211，以过滤剥离液废液中的光刻胶渣质。
56.在本实施例中，通过设置滤芯211以过滤剥离液废液中的呈细小颗粒状的光刻胶渣质，将滤芯211的底部设置呈锥状，不仅可有效提高过滤效率，也可加快过滤速度，从而提高剥离液废液生成剥离液的效率。
57.可选地，滤芯211可以为超滤膜滤芯211，由材质聚四氟乙烯(ptfe)构成，滤芯211单元孔径为0.2μm～0.5μm，通过超滤膜滤芯211将使用后的光刻胶剥离液废液中的细小颗粒光刻胶胶渣去除。
58.进一步地，吸附器220包括依次设置的加热件221、吸附件222以及过滤件223，过滤件223呈锥形，吸附器220用于使废液依次经过加热件221、吸附件222和过滤件223，以通过吸附件222过滤废液中的颗粒物。
59.在本实施例中，在吸附件222设置加热件221以对废液进行加热，加热的废液在吸附件222中的过滤速度快且过滤效率高，以此有效吸附去除废液的素及细小颗粒物。吸附后的废液通过过滤件223流出吸附器220，而呈锥形的过滤件223可提高废液的过滤效率和过滤速度。
60.可选地，吸附件222可以为活性炭，活性炭粒径为400目。通过活性炭去除光刻胶剥离液废液中的素及细小颗粒物。
61.进一步地，金属离子去除器230包括至少一个离子交换柱231，至少一个离子交换柱231的底部呈锥形，通过使废液由上至下流经至少一个离子交换柱231，离子交换柱231用于交换废液中的杂质离子。
62.在本实施例中，通过设置离子交换柱231以除去剥离液废液中的杂质离子。离子交
换柱231的数量为一个以上的情况下，多个离子交换柱231首尾连接，以使剥离液废液依次经过多个离子交换柱231，从而确保去除杂质离子。
63.可选地，离子交换柱231可以为离子交换树脂柱，用于吸附光刻胶剥离液废液中的杂质金属离子。
64.进一步地，第二缓冲装置300包括第二缓冲罐310和补充罐320，第二缓冲罐310与金属离子去除器230以及补充罐320连接。
65.在本实施例中，通过设置补充罐320向第二缓冲罐310中补充剥离液在形成废液的过程中失去的成分，以使第二缓冲罐310中的回收液重新生成剥离液。
66.具体地，第二缓冲罐310的体积为2立方，补充罐320的体积为0.5立方。补充罐320用于为第二缓冲罐310补充剥离液原料。补充罐320中独立地容置有有机胺、极性有机溶剂、缓蚀剂和表面活性剂等易挥发物质。
67.进一步地，第二缓冲装置300和过滤器210、吸附器220以及金属离子去除器230之间分别设置有第一回流管路400、第二回流管路500以及第三回流管路600，第一回流管路400、第二回流管路500以及第三回流管路600均设置有阀门700和泵800。
68.在本实施例中，通过设置第一回流管路400、第二回流管路500以及第三回流管路600，以使得第二缓冲装置300和过滤器210之间、第二缓冲装置300和吸附器220以及第二缓冲装置300和金属离子去除器230相互连通。
69.具体地，阀门700可分别控制对应的第一回流管路400、第二回流管路500以及第三回流管路600导通或中断，通过设置在对应管路上的泵800可驱动废液流动。
70.进一步地，第二缓冲罐310设置有取样口311，取样口311用于对第二缓冲罐310内的回收液进行取样。
71.在本实施例中，通过设置取样口311可对第二缓冲罐310中的回收液进行取样，从而可依据取样结果使得回收液通过第一回流管路400、第二回流管路500或第三回流管路600流回过滤器210、吸附器220或金属离子去除器230再次进行处理，从而充分除去废液中的杂质或离子，以使得废液达到再次生成剥离液的标准。
72.需要说明的是，通过取样口311通常对第二缓冲罐310中的回收液取样，并进行回收液的颗粒度、金属离子杂质等进行检测。在检测结果不符合要求的情况下，即回收液仍然为剥离液废液的情况下，打开对应回流管路的阀门700以及泵800，使得废液从第二缓冲罐310中通过回流管路流动至过滤器210、吸附器220或金属离子去除器230进行再次处理，处理完成后再通过回流管路回到第二缓冲罐310，直至第二缓冲罐310内的回收液达到预设要求。
73.进一步地，第二缓冲罐310和工作台20之间还设置有输送管路900，输送管路900用于向工作台20输送重新生成的剥离液，输送管路900设置有泵800。
74.在本实施例中，第二缓冲罐310与工作台20通过输送管路900连接，以实现第二缓冲罐310中由废液再次生成的剥离液向工作台20输送，以此使得剥离液循环利用。
75.在本实施例中，以有机系光刻胶剥离液为例，成分为80％bdg(二乙二醇丁醚)+18％％mea(单乙醇胺)+1％缓蚀剂bta(benzotriazole，苯丙三氮唑)+1％表面活性剂np-10(壬基酚聚氧乙烯醚(10))。在工作机台完成光刻胶剥离液的剥离工作时，剥离液会溶解掉大部分样片中的光刻胶并形成废液在此过程中剥离液各组分的含量会有所减少。形成的废
液由工作台20依次流经第一缓冲罐110、过滤器210、吸附器220、金属离子去除器230以及第二缓冲罐310。
76.废液在第一缓冲罐110中的高速离心装置中可以去除部分光刻胶胶渣，达到沉淀一部分光刻胶的目的；在过滤器210中的超滤膜滤芯211能吸附过滤废液中余下的一部分光刻胶，在吸附器220中通过加热器件将废液加热到80℃～100℃，从而使得废液易于被活性炭去除大部分素及小颗粒杂质物质。经过吸附处理的剥离液废液的洁净度达到更高的等级。此后，废液又通过离子交换树脂柱去除废液中的金属离子杂质，其大多为ca
2+
、na
+
、mg
2+
、fe
2+
等金属离子。
77.经过此三种回收装置200处理后的回收液与剥离液新液成分接近，不同的是回收液中的某些组分含量有所减少。经过实际检测，回收液中还含有17.3％的单乙醇胺、77％的二乙二醇单丁醚、1％bta和1％np-10。仅需补充0.7％的单乙醇胺、3％的二乙二醇单丁醚即可达到剥离液新液初始状态。
78.因此进一步对第二缓冲罐310中进行金属离子杂质和颗粒物杂质进行检测，如不达标则通过回流管路返回到回收装置200中进一步的处理，直至废液金属离子杂质和颗粒物杂质达到要求为止。
79.最终处理后的废液形成新的剥离液可以再次输送到工作机台进行剥离工作，其剥离性能与新液无较大差别。通过将剥离液新液处理后的样片的sem图片与原料补充后的剥离液处理后的样片的sem图片做对比，发现二者的剥离效果几乎无明显差别。
80.因此，通过剥离液废液处理系统10，可以使得剥离液成分中的bdg和mea反复充分利用，不仅有效节约原材料成本，大幅延长了剥离液的使用寿命，而且保护了环境，达到了绿生产的目标。
81.综上所述，本实用新型提供了一种剥离液废液处理系统10，通过回收装置200除去剥离液废液中的光刻胶渣质、颗粒物以及杂质离子等杂质，再通过第二缓冲装置300对回收液进行处理，以将废液重新配置成具有剥离性能的新的剥离液，从而使得剥离废液能够重复循环利用，延长了剥离液的使用寿命，也一定程度上增强了剥离液的剥离性能，节约了资源并降低使用成本，同时有效地减少环境污染。剥离液废液处理系统10能有效提高光刻胶剥离液的使用寿命、在不需要频繁更换光刻胶剥离液的同时能够保持一定的剥离性能，一定程度上极高的提升了工作效率及降低生产成本。
82.以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

技术特征：

1.一种剥离液废液处理系统，其特征在于，包括依次连接的第一缓冲装置(100)、回收装置(200)以及第二缓冲装置(300)；所述第一缓冲装置(100)用于使剥离液废液依次经过所述回收装置(200)以及所述第二缓冲装置(300)，其中，所述回收装置(200)用于过滤所述剥离液废液中的光刻胶渣质、颗粒物以及杂质离子以获得回收液，所述第二缓冲装置(300)用于接收并处理所述回收液，以生成剥离液。2.根据权利要求1所述的剥离液废液处理系统，其特征在于，所述回收装置(200)包括依次连接的过滤器(210)、吸附器(220)以及金属离子去除器(230)，且所述过滤器(210)与所述第一缓冲装置(100)连接，所述金属离子去除器(230)与所述第二缓冲装置(300)连接。3.根据权利要求2所述的剥离液废液处理系统，其特征在于，所述过滤器(210)包括滤芯(211)，所述滤芯(211)为孔隙结构且底部呈锥状，所述过滤器(210)用于使所述剥离液废液由上至下经过所述滤芯(211)，以过滤所述剥离液废液中的光刻胶渣质。4.根据权利要求2所述的剥离液废液处理系统，其特征在于，所述吸附器(220)包括依次设置的加热件(221)、吸附件(222)以及过滤件(223)，所述吸附器(220)用于使所述剥离液废液依次经过所述加热件(221)、所述吸附件(222)和所述过滤件(223)，以通过所述吸附件(222)吸附所述剥离液废液中的颗粒物。5.根据权利要求2所述的剥离液废液处理系统，其特征在于，所述金属离子去除器(230)包括至少一个离子交换柱(231)，所述离子交换柱(231)用于交换所述剥离液废液中的杂质离子。6.根据权利要求2所述的剥离液废液处理系统，其特征在于，第一缓冲装置(100)包括第一缓冲罐(110)，所述第一缓冲罐(110)用于接收所述剥离液废液并将所述剥离液废液向所述过滤器(210)输送。7.根据权利要求6所述的剥离液废液处理系统，其特征在于，所述第一缓冲罐(110)包括离心器，所述离心器用于去除所述剥离液废液中的沉淀物。8.根据权利要求2所述的剥离液废液处理系统，其特征在于，所述第二缓冲装置(300)包括第二缓冲罐(310)和补充罐(320)，所述第二缓冲罐(310)与所述金属离子去除器(230)以及所述补充罐(320)连接，所述补充罐(320)用于向所述第二缓冲罐(310)补充原料。9.根据权利要求8所述的剥离液废液处理系统，其特征在于，所述第二缓冲装置(300)和所述过滤器(210)、所述吸附器(220)以及所述金属离子去除器(230)之间分别设置有第一回流管路(400)、第二回流管路(500)以及第三回流管路(600)，所述第一回流管路(400)、所述第二回流管路(500)以及所述第三回流管路(600)均设置有阀门(700)和泵(800)；所述第二缓冲罐(310)设置有取样口(311)，所述取样口(311)用于对所述第二缓冲罐(310)内的所述回收液进行取样。10.根据权利要求8所述的剥离液废液处理系统，其特征在于，所述剥离液废液处理系统还包括输送管路(900)，所述输送管路(900)的一端与所述第二缓冲罐(310)连接，另一端用于与工作台(20)连接，以向所述工作台(20)输送重新生成的所述剥离液，所述输送管路(900)设置有泵(800)。

技术总结

本实用新型提供一种剥离液废液处理系统，涉及废液回收技术领域。光刻胶剥离液处理系统包括依次连接的第一缓冲装置、回收装置以及第二缓冲装置。第一缓冲装置用于使由剥离液作用于光刻胶生成的废液依次经过回收装置以及第二缓冲装置，其中，回收装置用于过滤废液中的光刻胶渣质、颗粒物以及杂质离子以获得回收液，第二缓冲装置用于接收并处理回收液，以生成剥离液，从而使得剥离废液能够重复循环利用，延长了剥离液的使用寿命，也一定程度上增强了剥离液的剥离性能，节约了资源并降低使用成本，同时有效地减少环境污染。同时有效地减少环境污染。同时有效地减少环境污染。