常州顺风光电科技有限公司
1.概述
最大产量：每工位处理300片，每小时处理12框（3600片）
外板用瓷白PP板制作，槽体采用本PP板制作。
1.2设备组成
此清洗装置主要由通过式清洗主体、移载机械手、抽风系统、电控及操作盘等部分组成。
设备走向：根据设备场地布置的要求，设备走向统一采用“左进右出”方式。工件由作业员左手边上料工位人工上料，经清洗后，经作业员右手边下料工位人工出料。 1.3设备描述
● 此装置是一个全自动的处理设备。
● 清洗工作过程由三菱FX系列PLC控制。
● 操作员通过10.4英寸彩触摸屏控制生产
● 工件由机械手移载，经去HF / 清洗等工序。
● 清洗作业员将装满工件的工件框放置在进料台上，由自动机械手将工件框平移依次送到各处理工位，对工件进行腐蚀、清洗的全过程，工件最后由机械手移到出料台上，由作业员将工件框取出。
1.4设备基本动作分析：
→将欲处理工件放于上料传输线上
由移栽机械手依次将工件送到各处理工位
→将已经处理过的工件人工转移
2.工艺流程
2.1被清洗物
Si片 125 X 125 X 0.28mm（3600PCS / Hr）
156 X 156 X 0.28mm（3600PCS / Hr）
2.2工艺流程：
→上料
→1# HF酸洗
→2# 纯水漂洗
→3# 纯水漂洗
→4# 纯水漂洗
→下料盖型螺母
2.3工艺细节：
| 工序 | 辅助 | 处理液 | | 温度 | 材质 | 自动盖 | 浓度 | 抽风 |
1 | 酸洗 | 鼓泡 | HF清洗篮 | 4min | RT | PP | / | 10% | 有 |
2 | 漂洗 | 鼓泡 | DI水 | 4min | RT | PP | / | / | / |
3 | 漂洗 | 鼓泡 | DI水 | 4min | RT | PP | / | / | / |
4 | 漂洗 | 鼓泡 | DI水 | 4min | 40~700C | PP | / | / | / |
| | | | | | | | | |
3.设备技术参数
3.1清洗工件要求
3.1.1名称 Si片
3.1.2尺寸 125 X 125 X 0.28mm
156 X 156 X 0.28mm
3.1.3清洗节拍 5min / 篮
3.1.4清洗篮装载量 300片 / 篮
3.1.5片盒外型尺寸 可兼容25片片盒与100片片盒
3.1.6清洗篮负荷重量 max 40kg
3.2设备基本要求
3.2.1设备形式：室内放置型 5KW
3.2.2机械手设定速度：2000- 5400mm / min（变频调速）
3.2.2电源：三相380±10%，50Hz（5线制）,操作控制回路：DC24V，SOL：AC220V
3.2.3能力设计：三班制（注：一天工作23H/天，330天/年）
3.2.4电气性能：E级，并有良好的接地，抵抗500MΩ以上
3.2.5会对人体造成伤害的部分须安装安全门或安全保护罩，有人员作业岗位使用双开关启动作业，易对人造成伤害部分设置光电安全门
3.2.6非常停止开关设置：在各操作控制箱的表面须设置非常停止开关，作业岗位操作开关旁须明显设置有非常停止开关
3.2.7工水：压力2-3kg/cm2，流量2m3/hr
3.2.8 DI水：压力3-5kg/cm2，流量2X 1-2m3/hr（max）电阻率18MΩ
3.2.9压缩空气 / 氮气：压力0.5-0.7MPa/cm2，流量20m3/hr
3.2.10环境要求：空气温度：5-40℃ 相对湿度：﹤90%
3.2.11蒸气源：/
3.2.12主铭板包括：设备名称，型号，厂家，出厂编号，出厂日期，简要电气参数等
3.2.13控制面板铭板包括：装置名称，各开关动作标注等
3.2.14部件标注铭板包括：各部件的名称，气体及液体流动方向等
3.2.15涂装要求：各部分使用耐油性涂料涂2回以上，表面涂装光洁无凸点等
3.3控制系统主要功能
3.3.1三菱FX系列PLC控制，彩触摸屏操作
3.3.2报警、设备各项参数检测
3.3.3具备低水位保护功能
3.3.4自动手动转换开关
3.3.5加热器、马达等开关
3.3.6清洗时间、温度、传动速度调节器
3.3.7紧急停止开关
3.3.8设备状态指示灯：设备要有明确的指示灯显示设备运转状态
3.4设备特征
3.4.1此清洗装置是一个全自动的处理设备，清洗工作过程由三菱FX系列PLC控制。
● 移载机械臂
● 清洗本体
● 总控制电柜等部分构成
3.4.2移载机械臂
● 移载机械臂实现硅片承载架按工艺流程顺序移动
● 提篮设计简洁，减少残留液体
● 机械臂采用平稳控制方式，提篮不会晃动
● 可以对各槽处理时间单独设置，可以取消某槽处理工艺，实现柔性管理，可以自动和手动转换并继续原程序运行
● 每次只能钩取一个硅片承载篮，挂钩与机械手采用螺纹连接，方便调整
● 机械手定位以光电开关为准，在各槽的减速 / 停止点设置有方便调整的光电开关
● 提升总质量不大于40kg
● 机械臂的定位准确度±2mm
上下动作
调速马达 | TECO |
功率 | 200W |
调速形式 | 变频调速 |
变频器 | ALT |
升降传动 | 滚珠丝杆 |
升降导轨 | 直线轴承+导轴 |
| |
平移动作
变频马达 | CPG |
功率 | 200W |
调速形式 | 变频调速 |
变频器 | ALT |
传动方式 | 齿轮齿条传动 |
专用铝质导轨 | 40*40 |
承载导向 | 滚轮 |
滚轮材质 | POM |
| |
97ga
安全保护：
正常上下位 | 光电开关（光电开关属于非接触式检测） |
上下极限位 | 行程开关（行程开关属于接触式检测） |
| |
3.4.3清洗本体
1#HF酸洗工位
位置 | 1#槽 |
时间 | 0-5min |
处理液 | HF溶液5-10% |
处理液来源 | 纯水采用自动注入，HF均采用人工加注 |
材质 | 进口10mm还春厚ctsbPP板 |
处理液 | DI水 + HCL |
处理温度 | 常温 |
时间管理 | 有触摸屏直接管理时间 功能包括显示时间 / 设定时间 / 报警 时间控制范围1秒 |
氮气鼓泡 | 设置氮气鼓泡功能，鼓泡大小可控，是否鼓泡可控 |
其它 | 手动自动组合排水 |
| | |
2# 常温DI水漂洗槽
位置 | 2#槽 |
时间 | 0-5min |
处理液来源 | 纯水采用自动注入 设备正常使用中3#溢流的水进入2#槽使用 |
材质 | 进口10mm厚PP板 |
处理液 | DI水 |
处理温度 | 常温 |
时间管理 | 有触摸屏直接管理时间 功能包括显示时间 / 设定时间 / 报警 时间控制范围1秒 |
氮气鼓泡 | 设置氮气鼓泡功能，鼓泡大小可控，是否鼓泡可控 |
其它 | 手动自动组合排水 |
| |
3#常温DI水漂洗槽
位置 | 4#槽 |
时间 | 0-5min |
| 烤花炉 处理液来源 | 纯水采用自动注入 设备正常使用中4#溢流的水进入3#槽使用 |
材质 | 进口10mm厚PP板 |
处理液 | DI水 |
处理温度 | 常温 |
时间管理 | 有触摸屏直接管理时间 功能包括显示时间 / 设定时间 / 报警 时间控制范围1秒 |
氮气鼓泡 | 设置氮气鼓泡功能，鼓泡大小可控，是否鼓泡可控 |
其它 | 手动自动组合排水 |
| |
4# 热DI水漂洗槽
位置 | 4#槽 |
时间 | 0-8min |
处理液来源 | 纯水采用自动注入 设备正常使用中由PP预热副槽向4#槽补液 |
材质 | 进口10mm厚PP板 |
处理液 | DI水 |
处理温度 | 40~500C |
加热方式 | PTFE加热器直接加热 |
加热功率 | 3.5KW X 4 =14KW |
加热电压 | 220V |
时间管理 | 有触摸屏直接管理时间 功能包括显示时间 / 设定时间 / 报警 时间控制范围1秒 |
温度管理 | 有触摸屏直接管理温度 功能包括显示温度/报警/自动恒温 温度控制范围+20C |
氮气鼓泡 | 设置氮气鼓泡功能，鼓泡大小可控，是否鼓泡可控 |
自动换液 | 设置PP副槽100L，每间隔一定时间，向4#主槽自动注入60-80L热纯水，用于更新主槽纯水。 |
其它 | 手动自动组合排水 |
| | |
3.4.3上下料台
位置 | 设备进出口 |
外形尺寸 | L1900*W820*H252 |
驱动 | 90W牙箱马达/TL |
传送 | 3/4” 白胶链条 |
位置控制 | 行程开关/感应开关 |
| |
3.4.4总控制电柜等部分构成
● 三菱FX系列PLC控制
● E-VIEW 10.4英寸大型触摸屏显示 / 检测 / 操作
● 报警、设备各项参数检测
● 具备低水位保护功能
● 自动手动转换开关
● 清洗时间、温度、传动速度调节
● 紧急停止开关
● 设备状态指示灯：设备要有明确的指示灯显示设备运转状态
绿灯：设备正常运转中
黄灯：设备休止或其它
红灯：设备异常或故障
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