功能材料
捞泥
主讲人：王正韩国金黄安路
时间：2011-3-31
硅的工业制法
●硅是由石英砂(二氧化硅)在电炉中用碳还原而得，其反应式为sio2 + 3c = sic + 2co 2sic + sio2= 3si + 2co
●所得硅纯度约为95％～99%，称为粗硅，又称冶金级硅，其中含有各种杂质，如Fe、C、B、P等。为了将粗硅提纯到半导体器件所需的纯度，硅必须经过化学提纯。 ●所谓硅的化学提纯是把硅用化学方法转化为中间化合物，再将中间化合物提纯至所需的高纯度，然后再还原成为高纯硅。 ●中间化合物一般选择易于被提纯的化合物。曾被研究过的中间化合物有四氯化硅、四碘化硅、甲硅烷等。
●中间化合物提纯到高纯度后，必须得注意，在还原过程中如果工艺技术不恰当，还会造成污染而降低产品纯度。因此，还原也是重要的工艺过程。高纯多晶硅的生产方法大多数分为三个步骤：
●①中间化合物的合成；
●②中间化合物的提纯；
●③把中间化合物还原成纯硅。
1.1 三氯氢硅氢还原法
三氯氢硅氢还原法可分为三个重要过程：
一是中间化合物三氯氢硅的合成。
二是三氯氢硅的提纯。管道巡检机器人
三是用氢还原三氯氢硅获得高纯硅多晶。
1.1.1 三氯氢硅的合成
三氯氢硅(SiHCl
3 )由硅粉与氯化氢(HCl)合成
而得。化学反应式为Si+3Hcl→SiHcl
3
+H2
硅棒
放热反应，反应开始后能自动持续进行。但能量
覆膜胶
如不能及时导出，温度升高后反而将影响产品收率。
反应除了生成SiHcl
3外，还有SiCl
4
或SiH
2
小环钗Cl2等氯
硅烷以及其他杂质氯化物，如BCl
螺钉连接3、PCl 、
FeCl 、CuCl 等。
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