专利类型：发明专利
发明人：黄钦文，恩云飞，董显山，来萍
申请号：CN202011252444.6
申请日：20201111
公开号：CN112504546A
公开日：
硅基动态
电磁20210316
按摩腰靠专利内容由知识产权出版社提供
摘要：本发明公开了晶圆级气密封装的微小腔体内部气压测试方法和系统，测试方法包括如下步骤：通过应力测量装置获取多个微小腔体内外气压差已知的晶圆级气密封装结构标定样品的盖帽表面应力，并获取应力值与气压差的关联模型；通过应力测量装置获取晶圆级气密封装结构待测样品盖帽表面的应力值；通过测得的待测样品表面应力值及应力值与气压差的关联模型获取待测样品微小腔体的内部气压。本发明对晶圆级气密封装结构的盖帽无透光性要求，可实现通过盖帽表面应力的测试表征，从而获取微小腔体内部气压变化的信息。本发明涉及半导体制造工艺技术领域。 申请人：中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室))
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全热交换机国籍：CN
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代理人：黄媛君
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