一种反应离子刻蚀设备的控制方法与流程

1.本发明涉及反应离子刻蚀领域，具体涉及一种反应离子刻蚀设备的控制方法。

背景技术：

2.反应离子刻蚀设备，属于电子工业的干法清洗，工艺气体在电子区域形成等离子体，并产生电离气体，电离气体原子通过电场加速时，会释放足够的能量轰击刻蚀表面，等离子体在工件表面发生反应，从而实现清洁、改性、刻蚀的目的。目前大多数依靠人工操作进行工艺参数设置，需要按照现场实际进行工艺参数设定，需要人工计时、计数，存在遗漏，不利于工艺的固化和正常运转。

技术实现要素：

3.本发明的目的是提供一种反应离子刻蚀设备的控制方法，其可以用于解决上述技术问题。
4.本发明采取的技术方案具体如下。
5.一种反应离子刻蚀设备的控制方法，其特征在于，包括设置控制系统，控制系统包括控制单元、数据信号传输单元、检测单元和执行单元，控制单元包括输入模块、显示模块和分析处理模块，检测单元包括用于检测反应离子刻蚀设备中各部件运行状态的传感器组件，执行单元包括用于调整反应离子刻蚀设备中各部件运行状态的驱动件，数据信号传输单元用于将检测单元检测的数据信号发送至控制单元进行分析处理、以及接收控制单元发送的执行指令调控驱动件执行相应操作；输入模块用于用户输入操作指令和进行设置操作，分析处理模块用于对检测单元检测的信号、输入模块输入的信号进行分析处理，并依据分析处理的结果向数据信号传输单元发送执行指令和/或向显示模块发送处理的结果进行显示。
6.具体的操作为：在分析处理模块内设置有工作模式子模块、抽气控制子模块、配方设置子模块、运行监控子模块、维护管理子模块、人员管理子模块和数据储存子模块，工作模式子模块、抽气控制子模块、配方设置子模块、运行监控子模块、维护管理子模块、人员管理子模块和数据储存子模块分别进行运行时，则显示模块显示相应的工作模式界面、抽气控制界面、配方设置界面、运行监控界面、维护界面、人员管理界面和数据存储界面。
7.工作模式子模块内设置有待机模式、手动模式和自动模式；在待机模式下，用户无法进行操作，只能通过显示模块浏览相关信息；如果从其他模式切换为待机模式，则反应离子刻蚀设备立即停止工作；在手动模式下，用户可以对抽气控制子模块、配方设置模块、运行监控模块、维护管理模块、人员管理模块和数据储存模块进行设置操作，但无法启动反应离子刻蚀设备；在自动模式下，反应离子刻蚀设备按照设定的工艺自动运行，用户只能浏览相关信息，不能进行设置操作。
8.在手动模式下，用户操作配方设置子模块时，显示模块将工艺参数以表格的形式
显示供用户进行设置，在自动模式下只能查看工艺配方，无法进行配方设置。
9.反应离子刻蚀设备自动执行工艺后，显示模块跳转到运行监控界面对工艺监控，监控界面以表格和图表的形式实时显示，每秒更新一次。
10.维护管理模块用于实现用户对反应离子刻蚀设备的各个功能进行测试维护，检验反应离子刻蚀设备是否符合自动执行工艺的条件。
11.数据储存子模块记录登陆者以及记录其在系统上的所有操作，以txt文件进行保存，在工艺执行过程成，记录所有参数，每秒记录一次，并以excel格式文件进行保存。
12.自动执行工艺过程中，如果有一项参数超出设定阈值或者某个部件发生故障，则系统会发出报警，在报警显示栏显示具体报警信息，并根据报警信息类型，自动停止工艺或者暂停工艺。
13.抽气控制子模块用于用户调整真空腔室设备的抽放气模式、抽放气流程以及对真空腔室进行维护。
14.在手动模式下用户可以通过数据储存子模块查看采集的数据和事件记录日志；人员管理子模块对登录的用户进行验证，只有用户输入正确的用户名和密码才可登陆进去，防止陌生人误操作。
15.本发明提供的上述方案，通过设置的控制系统，避免人工输入的各种不足，可实现设备的智能化、高效化控制，有利于工艺的固化。
附图说明
16.图1为控制系统结构示意图。
17.图2为控制系统的调控示意图。
具体实施方式
18.为了使本发明的目的及优点更加清楚明白，以下结合实施例对本发明进行具体说明。应当理解，以下文字仅仅用以描述本发明的一种或几种具体的实施方式，并不对本发明具体请求的保护范围进行严格限定。如在本文中所使用，术语“平行”和“垂直”不限于其严格的几何定义，而是包括对于机加工或人类误差合理和不一致性的容限。
19.如图1、2所示，一种反应离子刻蚀设备的控制方法，包括设置控制系统，控制系统包括控制单元、数据信号传输单元、检测单元和执行单元，控制单元包括输入模块、显示模块和分析处理模块，检测单元包括用于检测反应离子刻蚀设备中各部件运行状态的传感器组件，执行单元包括用于调整反应离子刻蚀设备中各部件运行状态的驱动件，数据信号传输单元用于将检测单元检测的数据信号发送至控制单元进行分析处理、以及接收控制单元发送的执行指令调控驱动件执行相应操作；输入模块用于用户输入操作指令和进行设置操作，分析处理模块用于对检测单元检测的信号、输入模块输入的信号进行分析处理，并依据分析处理的结果向数据信号传输单元发送执行指令和/或向显示模块发送处理的结果进行显示。具体操作时，控制单元可以为一体台式机，是指将传统分体台式机的主机集成到显示器中，具有显示、下发指令和记录控制系统中数据的功能。数据信号传输单元具体可以为以太网多功能板卡构成，用于接收外部信号和接收一体机通过以太网总线下发的控制信号，具备控制信号ai（模拟输入）、ao（模拟输出）、di（数字输入）、do（数字输出）功能，进而实现
对反应离子刻蚀设备的控制。以太网总线包含以太网接口、交换机、rj-45水晶头组成的双绞线，将以太网多功能板卡采集的数据传输到一体机。驱动件包括反应离子刻蚀设备上的电机、电源等动力源、执行部件、驱动部件，一体机通过tcp协议通讯技术和以太网多功能板卡进行数据交互，上位机通过tcp通讯技术采集数据，同时使用tcp通讯发送控制信号给以太网多功能板卡。传感器组件包括反应离子刻蚀设备上设置各类传感器，包括对水压、水温、真空度、温度进行检测的各种传感器。
20.具体的操作为：在分析处理模块内设置有工作模式子模块、抽气控制子模块、配方设置子模块、运行监控子模块、维护管理子模块、人员管理子模块和数据储存子模块，工作模式子模块、抽气控制子模块、配方设置子模块、运行监控子模块、维护管理子模块、人员管理子模块和数据储存子模块分别进行运行时，则显示模块显示相应的工作模式界面、抽气控制界面、配方设置界面、运行监控界面、维护界面、人员管理界面和数据存储界面。工作模式子模块内设置有待机模式、手动模式和自动模式；在待机模式下，用户无法进行操作，只能通过显示模块浏览相关信息；如果从其他模式切换为待机模式，则反应离子刻蚀设备立即停止工作；在手动模式下，用户可以对抽气控制子模块、配方设置模块、运行监控模块、维护管理模块、人员管理模块和数据储存模块进行设置操作，但无法启动反应离子刻蚀设备；在自动模式下，反应离子刻蚀设备按照设定的工艺自动运行，用户只能浏览相关信息，不能进行设置操作。在手动模式下，用户操作配方设置子模块时，显示模块将工艺参数以表格的形式显示供用户进行设置，在自动模式下只能查看工艺配方，无法进行配方设置。反应离子刻蚀设备自动执行工艺后，显示模块跳转到运行监控界面对工艺监控，监控界面以表格和图表的形式实时显示，每秒更新一次。
21.维护管理模块用于实现用户对反应离子刻蚀设备的各个功能进行测试维护，检验反应离子刻蚀设备是否符合自动执行工艺的条件。数据储存子模块记录登陆者以及记录其在系统上的所有操作，以txt文件进行保存，在工艺执行过程成，记录所有参数，每秒记录一次，并以excel格式文件进行保存。自动执行工艺过程中，如果有一项参数超出设定阈值或者某个部件发生故障，则系统会发出报警，在报警显示栏显示具体报警信息，并根据报警信息类型，自动停止工艺或者暂停工艺。抽气控制子模块用于用户调整真空腔室设备的抽放气模式、抽放气流程以及对真空腔室进行维护。在手动模式下用户可以通过数据储存子模块查看采集的数据和事件记录日志；人员管理子模块对登录的用户进行验证，只有用户输入正确的用户名和密码才可登陆进去，防止陌生人误操作。具体操作时，可以通过编程的方式将上述控制方法写入分析处理模块，实现设备的自动化运行。
22.以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以作出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。本发明中未具体描述和解释说明的结构、机构以及操作方法，如无特别说明和限定，均按照本领域的常规手段进行实施。

技术特征：

1.一种反应离子刻蚀设备的控制方法，其特征在于，包括设置控制系统，控制系统包括控制单元、数据信号传输单元、检测单元和执行单元，控制单元包括输入模块、显示模块和分析处理模块，检测单元包括用于检测反应离子刻蚀设备中各部件运行状态的传感器组件，执行单元包括用于调整反应离子刻蚀设备中各部件运行状态的驱动件，数据信号传输单元用于将检测单元检测的数据信号发送至控制单元进行分析处理、以及接收控制单元发送的执行指令调控驱动件执行相应操作；输入模块用于用户输入操作指令和进行设置操作，分析处理模块用于对检测单元检测的信号、输入模块输入的信号进行分析处理，并依据分析处理的结果向数据信号传输单元发送执行指令和/或向显示模块发送处理的结果进行显示。2.根据权利要求1所述的反应离子刻蚀设备的控制方法，其特征在于，在分析处理模块内设置有工作模式子模块、抽气控制子模块、配方设置子模块、运行监控子模块、维护管理子模块、人员管理子模块和数据储存子模块，工作模式子模块、抽气控制子模块、配方设置子模块、运行监控子模块、维护管理子模块、人员管理子模块和数据储存子模块分别进行运行时，则显示模块显示相应的工作模式界面、抽气控制界面、配方设置界面、运行监控界面、维护界面、人员管理界面和数据存储界面。3.根据权利要求2所述的反应离子刻蚀设备的控制方法，其特征在于，工作模式子模块内设置有待机模式、手动模式和自动模式；在待机模式下，用户无法进行操作，只能通过显示模块浏览相关信息；如果从其他模式切换为待机模式，则反应离子刻蚀设备立即停止工作；在手动模式下，用户可以对抽气控制子模块、配方设置模块、运行监控模块、维护管理模块、人员管理模块和数据储存模块进行设置操作，但无法启动反应离子刻蚀设备；在自动模式下，反应离子刻蚀设备按照设定的工艺自动运行，用户只能浏览相关信息，不能进行设置操作。4.根据权利要求3所述的反应离子刻蚀设备的控制方法，其特征在于，在手动模式下，用户操作配方设置子模块时，显示模块将工艺参数以表格的形式显示供用户进行设置，在自动模式下只能查看工艺配方，无法进行配方设置。5.根据权利要求4所述的反应离子刻蚀设备的控制方法，其特征在于，反应离子刻蚀设备自动执行工艺后，显示模块跳转到运行监控界面对工艺监控，监控界面以表格和图表的形式实时显示，每秒更新一次。6.根据权利要求4所述的反应离子刻蚀设备的控制方法，其特征在于，维护管理模块用于实现用户对反应离子刻蚀设备的各个功能进行测试维护，检验反应离子刻蚀设备是否符合自动执行工艺的条件。7.根据权利要求4所述的反应离子刻蚀设备的控制方法，其特征在于，数据储存子模块记录登陆者以及记录其在系统上的所有操作，以txt文件进行保存，在工艺执行过程成，记录所有参数，每秒记录一次，并以excel格式文件进行保存。8.根据权利要求4所述的反应离子刻蚀设备的控制方法，其特征在于，自动执行工艺过程中，如果有一项参数超出设定阈值或者某个部件发生故障，则系统会发出报警，在报警显示栏显示具体报警信息，并根据报警信息类型，自动停止工艺或者暂停工艺。9.根据权利要求4所述的反应离子刻蚀设备的控制方法，其特征在于，抽气控制子模块
用于用户调整真空腔室设备的抽放气模式、抽放气流程以及对真空腔室进行维护。10.根据权利要求4所述的反应离子刻蚀设备的控制方法，其特征在于，在手动模式下用户可以通过数据储存子模块查看采集的数据和事件记录日志；人员管理子模块对登录的用户进行验证，只有用户输入正确的用户名和密码才可登陆进去，防止陌生人误操作。

技术总结

本发明涉及一种反应离子刻蚀设备的控制方法，包括设置控制系统，控制系统包括控制单元、数据信号传输单元、检测单元和执行单元，控制单元包括输入模块、显示模块和分析处理模块，检测单元包括用于检测反应离子刻蚀设备中各部件运行状态的传感器组件，执行单元包括用于调整反应离子刻蚀设备中各部件运行状态的驱动件，数据信号传输单元用于将检测单元检测的数据信号发送至控制单元进行分析处理、以及接收控制单元发送的执行指令调控驱动件执行相应操作；分析处理模块用于对检测单元检测的信号、输入模块输入的信号进行分析处理，并依据分析处理的结果向数据信号传输单元发送执行指令和/或向显示模块发送处理的结果进行显示。本发明提供的上述方案，通过设置的控制系统，避免人工输入的各种不足，可实现设备的智能化、高效化控制，有利于工艺的固化。有利于工艺的固化。有利于工艺的固化。