新型三激光合分器的制作方法

1.本实用新型涉及新型三激光合分器。

背景技术：

2.随着激光器技术的进步和发展，红(red)绿(green)蓝(blue)激光器广泛应用于显示、生物科学等领域。而采用rgb三激光器制作显示器比其它显示器具有颜更加鲜艳亮丽、更能反映真实彩的优势；在实际应用种，需要将rgb三激光合成新的彩或将一束激光分解成红r、绿g和蓝b三，这就需要rgb新型三激光合分器。

技术实现要素：

3.本实用新型涉及新型三激光合分器，本实用新型所述的新型三激光合分器可将rgb三激光合成新的彩或将一束激光分解成红r、绿g和蓝b三，不仅结构简单，容易加工制造，能应用于体积小型化的实际应用场合，而且结构更加平稳，便于放置，但降低了镀膜设计和加工的难度，而且合后的光束质量更好，成像效果更佳。
4.本实用新型合分器结构简单，规整，容易加工制造，使用方便；而且能应用于体积小型化的实际应用场合，不但降低了镀膜设计和加工的难度，而且三个单激光的偏振态一致，合后的光束质量更好，成像效果更佳。此外，本实用新型所述的新型三激光合分器结构更加平稳，便于放置。
5.本实用新型通过以下技术方案实现：
6.新型三激光合分器，包括第一直角棱镜、斜方棱镜和第二直角棱镜，所述的第一直角棱镜包括第一直角面、第二直角面和连接于第一直角面和第二直角面之间的斜面，
7.所述的斜方棱镜包括与第一直角棱镜的斜面重合的第一侧面、与所述的第一侧面平行的第二侧面、与所述的第一直角面同面设置的第三侧面和与所述的第三侧面平行的第四侧面，
8.所述的第二直角棱镜包括与所述的第二侧面重合的第二斜面、与所述的第四侧面同面设置的第三直角面和连接于第二斜面和第三直角面之间的第四直角面，
9.所述的第一侧面外镀制有透红激光且反绿激光的分膜一，
10.所述的第二侧面外镀制有透红绿激光且反蓝激光的分膜二。
11.进一步地，所述的第二直角面与斜面的夹角为45
°
。
12.进一步地，所述的第二直角面、第四侧面、第三直角面和第四直角面均镀制有增透膜。
13.进一步地，所述的分膜一由以下多层膜从里至外依次堆叠而成：第一tio2层、第一sio2层、第二tio2层、第二sio2层、第三tio2层、第三sio2层、第四 tio2层、第四sio2层、第五tio2层、第五sio2层、第六tio2层、第六sio2层、第七tio2层、第七sio2层和第八tio2层，
14.第一tio2层的厚度为52.41-54.54nm，第一sio2层的厚度为85.49-88.97nm，第二
tio2层的厚度为47.29-49.23nm，第二sio2层的厚度为115.66-120.38nm，第三tio2层的厚度为56.46-58.76，第三sio2层的厚度为118.70-123.54nm，第四tio2层的厚度为53.29-55.47nm，第四sio2层的厚度为109.48-113.94nm，第五tio2层的厚度为53.24-55.42nm，第五sio2层的厚度为118.78-123.62nm，第六tio2层的厚度为56.48-58.78nm，第六sio2层的厚度为116.27-121.01nm，第七tio2层的厚度为46.76-48.66nm，第七sio2层的厚度为86.37-89.89nm，第八 tio2层的厚度为52.23-54.36nm。
15.进一步地，所述的分膜二由以下多层膜从里至外依次堆叠而成：第九tio2层、第九sio2层、第十tio2层、第十sio2层、第十一tio2层、第十一sio2层、第十二tio2层、第十二sio2层、第十三tio2层、第十三sio2层、第十四tio2层、第十四sio2层、第十五tio2层、第十五sio2层、第十六tio2层、第十六sio2层、第十七tio2层、第十七sio2层、第十八tio2层、第十八sio2层和第十九tio2层；
16.第九tio2层的厚度为42.43-44.17nm，第九sio2层的厚度为52.96-55.12nm，第十tio2层的厚度为48.16-50.12nm，第十sio2层的厚度为109.31-113.77nm，第十一tio2层的厚度为45.33-47.18nm，第十一sio2层的厚度为76.11-79.21nm，第十二tio2层的厚度为43.70-45.48nm，第十二sio2层的厚度为 107.36-111.741nm，第十三tio2层的厚度为50.33-52.39nm，第十三sio2层的厚度为93.23-97.04nm，第十四tio2层的厚度为38.59-40.17nm，第十四sio2层的厚度为93.22-97.02nm，第十五tio2层的厚度为50.31-52.37nm，第十五sio2层的厚度为107.36-111.74nm，第十六tio2层的厚度为43.72-45.50nm，第十六sio2层的厚度为76.10-79.20nm，第十七tio2层的厚度为45.32-47.18nm，第十七sio2层的厚度为109.30-113.76nm，第十八tio2层的厚度为48.17-50.13nm，第十八sio2层的厚度为52.97-55.13nm，第十九tio2层的厚度为42.40-44.14nm。
17.在第二直角面入射红光，在第四侧面入射绿光，在第二侧面入射蓝光。红光在第二直角面垂直入射，绿光在第四侧面垂直入射，蓝光在第二侧面的入射角为45
°
。
18.较之前的现有技术，本实用新型具有以下有益效果：
19.本实用新型合分器结构简单，容易加工制造；而且能应用于体积小型化的实际应用场合，不但降低了镀膜设计和加工的难度，而且三个单激光的偏振态一致，合后的光束质量更好，成像效果更佳。
20.本实用新型分膜一和分膜二分别制备在斜方棱镜的两测，可以减少斜方棱镜的因镀多层分膜引起的面型变化，大大降低直角棱镜和斜方棱镜的胶合难度。
附图说明
21.图1是本实用新型实施例1的结构示意图。
22.图2是本实用新型实施例2有镀制增透膜的结构示意图。
23.图3是实施例1的分膜一的光谱曲线图。
24.图4是实施例1的分膜二的光谱曲线图。
25.图5是实施例2的分膜一的光谱曲线图。
26.图6是实施例2的分膜二的光谱曲线图。
27.图7是实施例3的分膜一的光谱曲线图。
28.图8是实施例3的分膜二的光谱曲线图。
具体实施方式
29.下面结合具体实施方式对本实用新型进一步阐述
30.实施例1
31.如图1所示，本实施例的新型三激光合分器，包括第一直角棱镜1、斜方棱镜2和第二直角棱镜3，所述的第一直角棱镜1包括第一直角面1-1、第二直角面1-2和连接于第一直角面1-1和第二直角面1-2之间的斜面1-3，
32.所述的斜方棱镜2包括与第一直角棱镜1的斜面1-3重合的第一侧面2-1、与所述的第一侧面2-1平行的第二侧面2-2、与所述的第一直角面1-1同面设置的第三侧面2-3和与所述的第三侧面2-3平行的第四侧面2-4，
33.所述的第二直角棱镜3包括与所述的第二侧面2-2重合的第二斜面3-1、与所述的第四侧面2-4同面设置的第三直角面3-2和连接于第二斜面3-1和第三直角面3-2之间的第四直角面3-3，
34.所述的第一侧面2-1镀制有透红激光且反绿激光的分膜一4，
35.所述的第二侧面2-2镀制有透红绿激光且反蓝激光的分膜二5。
36.所述的第二直角面1-2与斜面1-3的夹角为45
°
。
37.所述的分膜一4由以下多层膜从里至外依次堆叠而成：第一tio2层、第一sio2层、第二tio2层、第二sio2层、第三tio2层、第三sio2层、第四tio2层、第四sio2层、第五tio2层、第五sio2层、第六tio2层、第六sio2层、第七 tio2层、第七sio2层和第八tio2层，
38.第一tio2层的厚度为53.48nm，第一sio2层的厚度为87.23nm，第二tio2层的厚度为48.26nm，第二sio2层的厚度为118.02nm，第三tio2层的厚度为 57.61nm，第三sio2层的厚度为121.12nm，第四tio2层的厚度为54.38nm，第四 sio2层的厚度为111.71nm，第五tio2层的厚度为54.33nm，第五sio2层的厚度为121.20nm，第六tio2层的厚度为57.63nm，第六sio2层的厚度为118.64nm，第七tio2层的厚度为47.71nm，第七sio2层的厚度为88.13nm，第八tio2层的厚度为53.30nm。
39.所述的分膜二5由以下多层膜从里至外依次堆叠而成：第九tio2层、第九sio2层、第十tio2层、第十sio2层、第十一tio2层、第十一sio2层、第十二 tio2层、第十二sio2层、第十三tio2层、第十三sio2层、第十四tio2层、第十四sio2层、第十五tio2层、第十五sio2层、第十六tio2层、第十六sio2层、第十七tio2层、第十七sio2层、第十八tio2层、第十八sio2层和第十九tio2层；
40.第九tio2层的厚度为43.30nm，第九sio2层的厚度为54.04nm，第十tio2层的厚度为49.14nm，第十sio2层的厚度为111.54nm，第十一tio2层的厚度为46.26nm，第十一sio2层的厚度为77.66nm，第十二tio2层的厚度为44.59nm，第十二sio2层的厚度为109.55nm，第十三tio2层的厚度为51.36nm，第十三 sio2层的厚度为95.14nm，第十四tio2层的厚度为39.38nm，第十四sio2层的厚度为95.12nm，第十五tio2层的厚度为51.34nm，第十五sio2层的厚度为 109.55nm，第十六tio2层的厚度为44.61nm，第十六sio2层的厚度为77.65nm，第十七tio2层的厚度为46.25nm，第十七sio2层的厚度为111.53nm，第十八tio2层的厚度为49.15nm，第十八sio2层的厚度为54.05nm，第十九tio2层的厚度为43.27nm。
41.在第二直角面1-2入射红光，在第四侧面2-4入射绿光，在第二侧面2-2 入射蓝光。红光在第二直角面1-2垂直入射，绿光在第四侧面2-4垂直入射，蓝光在第二侧面2-2的入射
角为45
°
。
42.实施例2
43.本实施例可以如图2所示在所述的第二直角面1-2、第四侧面2-4、第三直角面3-2和第四直角面3-3均镀制有增透膜。也可以不镀制增透膜。
44.本实施例所述的分膜一4的第一tio2层的厚度为52.41nm，第一sio2层的厚度为85.49nm，第二tio2层的厚度为47.29nm，第二sio2层的厚度为115.66nm，第三tio2层的厚度为56.46nm，第三sio2层的厚度为118.70nm，第四tio2层的厚度为53.29nm，第四sio2层的厚度为109.48nm，第五tio2层的厚度为53.24nm，第五sio2层的厚度为118.78nm，第六tio2层的厚度为56.48nm，第六sio2层的厚度为116.27nm，第七tio2层的厚度为46.76nm，第七sio2层的厚度为86.37nm，第八tio2层的厚度为52.23nm。
45.本实施例分膜二5的第九tio2层的厚度为44.17nm，第九sio2层的厚度为55.12nm，第十tio2层的厚度为50.12nm，第十sio2层的厚度为113.77nm，第十一tio2层的厚度为47.18nm，第十一sio2层的厚度为79.21nm，第十二tio2层的厚度为45.48nm，第十二sio2层的厚度为111.741nm，第十三tio2层的厚度为52.39nm，第十三sio2层的厚度为97.04nm，第十四tio2层的厚度为40.17nm，第十四sio2层的厚度为97.02nm，第十五tio2层的厚度为52.37nm，第十五sio2层的厚度为111.74nm，第十六tio2层的厚度为45.50nm，第十六sio2层的厚度为79.20nm，第十七tio2层的厚度为47.18nm，第十七sio2层的厚度为113.76nm，第十八tio2层的厚度为50.13nm，第十八sio2层的厚度为55.13nm，第十九tio2层的厚度为44.14nm。
46.实施例3
47.本实施例所述的分膜一4的第一tio2层的厚度为54.54nm，第一sio2层的厚度为88.97nm，第二tio2层的厚度为49.23nm，第二sio2层的厚度为120.38nm，第三tio2层的厚度为58.76，第三sio2层的厚度为123.54nm，第四tio2层的厚度为55.47nm，第四sio2层的厚度为113.94nm，第五tio2层的厚度为55.42nm，第五sio2层的厚度为123.62nm，第六tio2层的厚度为58.78nm，第六sio2层的厚度为121.01nm，第七tio2层的厚度为48.66nm，第七sio2层的厚度为89.89nm，第八tio2层的厚度为54.36nm。
48.本实施例分膜二5的第九tio2层的厚度为44.17nm，第九sio2层的厚度为55.12nm，第十tio2层的厚度为50.12nm，第十sio2层的厚度为113.77nm，第十一tio2层的厚度为47.18nm，第十一sio2层的厚度为79.21nm，第十二tio2层的厚度为45.48nm，第十二sio2层的厚度为111.741nm，第十三tio2层的厚度为52.39nm，第十三sio2层的厚度为97.04nm，第十四tio2层的厚度为40.17nm，第十四sio2层的厚度为97.02nm，第十五tio2层的厚度为52.37nm，第十五sio2层的厚度为111.74nm，第十六tio2层的厚度为45.50nm，第十六sio2层的厚度为79.20nm，第十七tio2层的厚度为47.18nm，第十七sio2层的厚度为113.76nm，第十八tio2层的厚度为50.13nm，第十八sio2层的厚度为55.13nm，第十九tio2层的厚度为44.14nm。
49.本实用新型不仅局限于上述具体实施方式，本领域一般技术人员根据本实用新型公开的内容，可以采用其它多种具体实施方式实施本实用新型，如更换材料、波段或者对斜方棱镜的斜角进行小范围调整，因此，凡是采用本实用新型的设计方法原理和思路，做一些简单的变化或更改的设计，都落入本实用新型保护的范围。

技术特征：

113.76nm，第十八tio2层的厚度为48.17-50.13nm，第十八sio2层的厚度为52.97-55.13nm，第十九tio2层的厚度为42.40-44.14nm。

技术总结

本实用新型涉及三激光合分器，包括第一直角棱镜、斜方棱镜和第二直角棱镜，所述的第一直角棱镜包括第一直角面、第二直角面和连接于第一直角面和第二直角面之间的斜面，所述的第一侧面外镀制有透红激光且反绿激光的分膜一，所述的第二侧面外镀制有透红绿激光且反蓝激光的分膜二。进一步地，所述的第二直角面与斜面的夹角为45

技术研发人员：

朱元强 郑鹏杰 陈钢 程章彬 赖安东 廖以旺

受保护的技术使用者：

福建福特科光电股份有限公司

技术研发日：

2022.07.28

技术公布日：

2022/12/6