一种晶圆片用显微镜的制作方法

1.本实用新型涉及显微镜领域，具体而言，涉及一种晶圆片用显微镜。

背景技术：

2.晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅芯片，由于其形状为圆形，故称为晶圆，在硅芯片上可加工制作成各种电路组件结构，而成为有特定电性功能之ic产品，加工好的晶圆需要使用显微镜做外观检验。
3.目前晶圆在显微镜的载物台上一般采用工装进行限位固定，但工装的使用容易造成晶圆与工装发生磕碰，对晶圆面造成刮伤甚至破片。
4.鉴于此，本技术发明人发明了一种晶圆片用显微镜。

技术实现要素：

5.本实用新型提供了一种晶圆片用显微镜，晶圆片放置于载物台的限位槽内，晶圆片在限位槽内会覆盖住环槽，抽吸孔经由直槽抽吸环槽内空气使得环槽形成负压状态从而吸附住晶圆片，同时同心圆的环槽使得晶圆片受力更加均匀，晶圆片在限位槽内更加稳定不会发生晃动与脱离，同时环槽的负压吸附不会对晶圆片造成损伤。
6.为实现上述目的，本实用新型提供了如下技术方案:
7.一种晶圆片用显微镜，包括显微镜主体，所述显微镜主体的物镜下方水平设置有载物台，所述载物台的顶面开设有限位槽，所述限位槽的内底部圆心开设有抽吸孔，所述限位槽的内底部开设有与抽吸孔同轴的环槽，所述环槽开设有多个且各自半径不同形成同心圆结构，所述抽吸孔与最外层环槽之间开设有直槽，所述直槽将各层环槽相互连通，所述直槽开设有多个且以抽吸孔轴心对称排列，所述载物台的外部设置有与抽吸孔连通的接口。
8.优选的，所述直槽与环槽的相交端口棱角均为圆弧倒角，所述环槽与直槽的顶部棱边均为弧面。
9.优选的，所述显微镜主体的顶面前端开设有取物槽，所述取物槽的一端开设于限位槽的内部边缘。
10.优选的，所述载物台的底部下方设置有活动台，所述载物台与活动台之间横向滑动连接。
11.优选的，所述活动台位于显微镜主体的镜座上方，所述活动台与显微镜主体之间设置有升降座。
12.优选的，所述活动台与升降座之间前后滑动连接。
13.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
14.本实用新型使用时载物台的接口需要外接抽气设备为抽吸孔提供动力，晶圆片放置于载物台的限位槽内，晶圆片在限位槽内会覆盖住环槽，抽吸孔经由直槽抽吸环槽内空气使得环槽形成负压状态从而吸附住晶圆片，同时同心圆的环槽使得晶圆片受力更加均匀，晶圆片在限位槽内更加稳定不会发生晃动与脱离，同时环槽的负压吸附不会对晶圆片
造成损伤。
附图说明
15.为了更清楚地说明本实用新型实施方式的技术方案，下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
16.图1是本实用新型的结构示意图；
17.图2是本实用新型的限位槽示意图；
18.图3是本实用新型的活动台示意图；
19.主要元件符号说明
20.1、显微镜主体；2、载物台；3、抽吸孔；4、环槽；5、直槽；6、取物槽；7、限位槽；8、活动台。
具体实施方式
21.为使本实用新型实施方式的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施方式中的附图，对本实用新型实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式是本实用新型一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本实用新型中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本实用新型保护的范围。因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施方式的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施方式。基于本实用新型中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本实用新型保护的范围。
22.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
23.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
24.实施例1，如图1和图2所示，一种晶圆片用显微镜，包括显微镜主体1，显微镜主体1的物镜下方水平设置有载物台2，载物台2的顶面开设有限位槽7，限位槽7的内底部圆心开设有抽吸孔3，限位槽7的内底部开设有与抽吸孔3同轴的环槽4，环槽4开设有多个且各自半径不同形成同心圆结构，抽吸孔3与最外层环槽4之间开设有直槽5，直槽5将各层环槽4相互连通，直槽5开设有多个且以抽吸孔3轴心对称排列，载物台2的外部设置有与抽吸孔3连通
的接口，载物台2使用时其接口需要外接抽气设备为抽吸孔3提供动力，晶圆片放置于载物台2的限位槽7内，限位槽7与晶圆片的轮廓相符，晶圆片在限位槽7内不会发生滑动位移，晶圆片在限位槽7内会覆盖住环槽4，抽吸孔3经由直槽5抽吸环槽4内空气，环槽4形成负压状态从而吸附住晶圆片，晶圆片在限位槽7内更加稳定不会发生脱离，同时同心圆的环槽4使得晶圆片受力更加均匀，晶圆片在限位槽7内更加稳定不会发生晃动，同时环槽4的负压吸附不会对晶圆片造成损伤。
25.如图1和图2所示，本实用新型公开了直槽5与环槽4的相交端口棱角均为圆弧倒角，使得直槽5与环槽4的气道更加顺畅，环槽4与直槽5的顶部棱边均为弧面，限位槽7的内底部更加平滑，不会对晶圆片造成损伤，显微镜主体1的顶面前端开设有取物槽6，取物槽6的一端开设于限位槽7的内部边缘，取物槽6有利于将晶圆片至限位槽7内取出。
26.如图1和图3所示，本实用新型公开了载物台2的底部下方设置有活动台8，载物台2与活动台8之间横向滑动连接，活动台8位于显微镜主体1的镜座上方，活动台8与显微镜主体1之间设置有升降座，活动台8与升降座之间前后滑动连接，载物台2相对于活动台8可进行x轴上调节，活动台8相对于升降座可进行y轴上调节，升降座自身可进行z轴上调节，即载物台2上的晶圆片相对于显微镜主体1的物镜可进行x、y、z三轴上的调节，显微镜主体1对于载物台2上的晶圆片观察更加全面。
27.本实用新型的工作过程和有益效果如下：载物台2使用时其接口需要外接抽气设备为抽吸孔3提供动力，晶圆片放置于载物台2的限位槽7内，限位槽7与晶圆片的轮廓相符，晶圆片在限位槽7内不会发生滑动位移，晶圆片在限位槽7内会覆盖住环槽4，抽吸孔3经由直槽5抽吸环槽4内空气，环槽4形成负压状态从而吸附住晶圆片，晶圆片在限位槽7内更加稳定不会发生脱离，同时同心圆的环槽4使得晶圆片受力更加均匀，晶圆片在限位槽7内更加稳定不会发生晃动，同时环槽4的负压吸附不会对晶圆片造成损伤，直槽5与环槽4的相交端口棱角均为圆弧倒角，使得直槽5与环槽4的气道更加顺畅，环槽4与直槽5的顶部棱边均为弧面，限位槽7的内底部更加平滑，不会对晶圆片造成损伤，显微镜主体1的顶面前端开设有取物槽6，取物槽6的一端开设于限位槽7的内部边缘，取物槽6有利于将晶圆片至限位槽7内取出，载物台2相对于活动台8可进行x轴上调节，活动台8相对于升降座可进行y轴上调节，升降座自身可进行z轴上调节，即载物台2上的晶圆片相对于显微镜主体1的物镜可进行x、y、z三轴上的调节，显微镜主体1对于载物台2上的晶圆片观察更加全面。
28.以上所述仅为本实用新型的优选实施方式而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

技术特征：

1.一种晶圆片用显微镜，包括显微镜主体（1），其特征在于，所述显微镜主体（1）的物镜下方水平设置有载物台（2），所述载物台（2）的顶面开设有限位槽（7），所述限位槽（7）的内底部圆心开设有抽吸孔（3），所述限位槽（7）的内底部开设有与抽吸孔（3）同轴的环槽（4），所述环槽（4）开设有多个且各自半径不同形成同心圆结构，所述抽吸孔（3）与最外层环槽（4）之间开设有直槽（5），所述直槽（5）将各层环槽（4）相互连通，所述直槽（5）开设有多个且以抽吸孔（3）轴心对称排列，所述载物台（2）的外部设置有与抽吸孔（3）连通的接口。2.根据权利要求1所述的一种晶圆片用显微镜，其特征在于，所述直槽（5）与环槽（4）的相交端口棱角均为圆弧倒角，所述环槽（4）与直槽（5）的顶部棱边均为弧面。3.根据权利要求1所述的一种晶圆片用显微镜，其特征在于，所述显微镜主体（1）的顶面前端开设有取物槽（6），所述取物槽（6）的一端开设于限位槽（7）的内部边缘。4.根据权利要求1所述的一种晶圆片用显微镜，其特征在于，所述载物台（2）的底部下方设置有活动台（8），所述载物台（2）与活动台（8）之间横向滑动连接。5.根据权利要求4所述的一种晶圆片用显微镜，其特征在于，所述活动台（8）位于显微镜主体（1）的镜座上方，所述活动台（8）与显微镜主体（1）之间设置有升降座。6.根据权利要求5所述的一种晶圆片用显微镜，其特征在于，所述活动台（8）与升降座之间前后滑动连接。

技术总结

本实用新型提供了一种晶圆片用显微镜，包括显微镜主体，显微镜主体的物镜下方水平设置有载物台，载物台的顶面开设有限位槽，限位槽的内底部圆心开设有抽吸孔，限位槽的内底部开设有与抽吸孔同轴的环槽，环槽开设有多个且各自半径不同形成同心圆结构，抽吸孔与最外层环槽之间开设有直槽，直槽将各层环槽相互连通，直槽开设有多个且以抽吸孔轴心对称排列，载物台的外部设置有与抽吸孔连通的接口；晶圆片放置于载物台的限位槽内，晶圆片在限位槽内会覆盖住环槽，抽吸孔经由直槽抽吸环槽内空气使得环槽形成负压状态从而吸附住晶圆片，同时同心圆的环槽使得晶圆片受力更加均匀，晶圆片在限位槽内更加稳定不会发生脱离。位槽内更加稳定不会发生脱离。位槽内更加稳定不会发生脱离。