一种可拼接式冷却装置及冷却系统的制作方法

1.本实用新型涉及冷却装置领域，特别是涉及一种可拼接式冷却装置及冷却系统。

背景技术：

2.在半导体制造或者检测领域的某些工艺流程中，需要在真空环境中完成待检测组件的运动，而这部分运动需要直线执行器实现。真空环境中，所选用的直线执行器通常为直线电机、音圈电机或压电陶瓷电机，这些执行器在实现高精度运动过程中会产生热量，而真空度的逐步上升，这部分热量无法通过热辐射及热对流向环境扩散，长时间热量累积会对执行器造成不可逆损害，因此只能通过热传导的传递方式将热量导出。
3.通常，真空制造或检测设备中，还有些对温度极其敏感的组件，其温升的累积会影响该组件正常工作，设备中一般采用热导率较高的零件相互接触组成热传导路径，通过热传导的方式将执行器产生的热量逐步传递到真空腔外，同时采用环形冷却水路对真空腔体实施冷却，但该冷却方案的冷却效率较低，短时间内无法达到热平衡状态。
4.鉴于以上，有必要提供一种可拼接式冷却装置及冷却系统，以满足在真空制造或检测设备中快速冷却，达到热平衡状态，避免因散热效率低而引发系统报警，对执行器造成不可逆的损害问题。

技术实现要素：

5.鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种可拼接式冷却装置及冷却系统，用于解决现有技术中冷却方案的冷却效率低，短时间内无法达到热平衡状态，对执行器造成不可逆损害的问题。
6.为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种可拼接式冷却装置及冷却系统，所述一种可拼接式冷却装置包括：连通组件、连接端头及至少两个冷却板组，所述连通组件、所述连接端头及冷却板组构成的所述可拼接式冷却装置内部为一连通封闭区域；所述冷却板组包括内侧冷却板及外侧冷却板，所述内侧冷却板的一侧设有第一连通凹槽，所述外侧冷却板的一侧设有第二连通凹槽，所述第一连通凹槽与所述第二连通凹槽相对设置，且所述第一连通凹槽与所述第二连通凹槽的投影重合，所述第一连通凹槽与所述第二连通凹槽组成所述冷却板组内的冷却板流通域；所述连通组件位于相邻两个所述冷却板组之间，所述连通组件沿x轴方向的延伸长度与所述冷却板组沿x轴方向的延伸长度相同，所述连通组件沿z轴方向的两侧边分别与相邻两所述冷却板组内的所述冷却板流通域连通；
7.所述连接端头位于所述连通组件沿x轴方向的两端面上；所述可拼接式冷却装置沿x轴方向和/或z轴方向通过所述连接端头进行拼接。
8.可选地，所述第一连通凹槽包括端部凹槽、条状凹槽及连接凹槽，所述端部凹槽设置于所述内侧冷却板沿y轴方向的一侧边且位于沿x轴方向的两侧边，所述连接凹槽设置于所述内侧冷却板沿y轴方向的两侧边且沿x轴方向分布，沿y轴方向两侧的所述连接凹槽相对交错设置且其顶端与所述内侧冷却板的边缘留有间隙，所述条状凹槽沿y轴方向延伸并
沿x 轴方向分布，且所述条状凹槽与其对应的所述端部凹槽及所述连接凹槽连通；其中，所述内侧冷却板上的所述端部凹槽及与其同侧的所述连接凹槽的顶部设置有槽内通孔，所述内侧冷却板上的所述端部凹槽分别设置为所述冷却板组的流入端及流出端。
9.可选地，所述第二连通凹槽与所述第一连通凹槽结构及尺寸基本相似，所述第二连通凹槽包括端部凹槽113、条状凹槽115及连接凹槽114，所述端部凹槽113设置于所述外侧冷却板112沿y轴方向的一侧边且位于沿x轴方向的两侧边，所述连接凹槽114设置于所述外侧冷却板112沿y轴方向的两侧边且沿x轴方向分布，沿y轴方向两侧的所述连接凹槽114 相对交错设置且其顶端与所述外侧冷却板112的边缘留有间隙，所述条状凹槽115沿y轴方向延伸并沿x轴方向分布，且所述条状凹槽115与其对应的所述端部凹槽113及所述连接凹槽114连通。
10.可选地，所述冷却板流通域包括至少一条并联支路，所述并联支路的数量a与所述内侧冷却板上与所述端部凹槽同侧设置的所述连接凹槽的数量m有对应关系，其中，a≥1，所述内侧冷却板上与所述端部凹槽异侧的所述连接凹槽的数量为m+1，所述端部凹槽的数量与所述可拼接式冷却装置的输入端口和输出端口数量一致，所述条状凹槽的数量为2a*(m+1)。
11.可选地，所述连通组件距离沿x轴方向端部较近的位置设置有贯通孔，所述贯通孔与所述端部凹槽上的槽内通孔相对设置，所述连通组件沿x轴方向中间位置设置有腰形通孔，所述腰形通孔与所述连接凹槽上的槽内通孔相对设置；所述连通组件沿x轴方向的两端面还分别设置有贯穿到所述贯通孔的端部通孔，所述连接端头位于所述端部通孔上。
12.可选地，所述贯通孔包络的圆柱流通域、所述腰形通孔包络的腰形流通域及所述冷却板流通域构成所述可拼接式冷却装置的冷却流域，所述冷却流域至少包括一个所述腰形流通域及两个所述圆柱流通域。
13.可选地，所述内侧冷却板与所述外侧冷却板的厚度为1mm～2mm；相邻两个所述冷却板组之间的距离为30mm～40mm。
14.可选地，当所述可拼接式冷却装置沿x轴方向进行拼接时，所述可拼接式冷却装置还包括转接组件，所述转接组件位于相邻两个所述连通组件之间，所述转接组件向外一侧设置有转接口，用于与所述连接端头连接；所述冷却板组的数量至少为4，所述连通组件的数量至少为2，所述连接端头的数量至少为3。
15.可选地，当所述冷却装置沿所述z轴方向进行拼接时，所述冷却板组与所述连通组件沿所述z轴方向依次间隔设置，所述冷却板组的数量至少为3，所述连通组件的数量至少为2，所述连接端头的数量至少为4。本实用新型还提供一种可拼接式冷却系统，所述可拼接式冷却系统包括：上述任意一项所述的可拼接式冷却装置。
16.如上所述，本实用新型的一种可拼接式冷却装置及冷却系统，具有以下有益效果：
17.本实用新型的可拼接式冷却装置由连通组件、连接端头及冷却板组、组成，有效解决了因作业产生的散热问题；冷却装置可沿不同方向拼接，可以满足不同作业需求，并且可设有多个冷却介质的入口及出口，可以加速待冷却组件的温升降低；此外，本实用新型的多重流道冷却流域结构和多组件拼接方式可以降低冷却流域的流阻，并提高与待冷却组件的接触面积，流速快，流量大，所需压力相对较小，充分提高冷却装置的冷却效率。
附图说明
18.图1显示为本实用新型的一种可拼接式冷却装置的结构示意图。
19.图2显示为本实用新型的一种可拼接式冷却装置并联支路数为2的冷却流域结构示意图。
20.图3显示为本实用新型的内侧冷却板的截面示意图。
21.图4显示为本实用新型的外侧冷却板的截面示意图。
22.图5显示为本实用新型的连通组件的结构示意图。
23.图6显示为本实用新型的一种可拼接式冷却装置并联支路数为1的冷却流域结构示意图。
24.图7显示为本实用新型的一种可拼接式冷却装置并联支路数为3的冷却流域结构示意图。
25.图8显示为本实用新型的一种可拼接式冷却装置沿x轴方向进行拼接的结构示意图。
26.图9显示为本实用新型的一种可拼接式冷却装置沿x轴方向进行拼接的冷却流域结构示意图。
27.图10显示为本实用新型的一种可拼接式冷却装置沿z轴方向进行拼接的结构示意图。
28.图11显示为本实用新型的一种可拼接式冷却装置沿z轴方向进行拼接的冷却流域结构示意图。
29.元件标号说明
30.10
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
冷却流域
31.101
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
冷却板流通域
32.102
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
圆柱流通域
33.103
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
腰形流通域
34.11
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
冷却板组
35.111
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
内侧冷却板
36.112
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
外侧冷却板
37.113
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
端部凹槽
38.114
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
连接凹槽
39.115
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
条状凹槽
40.116
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
槽内通孔
41.12
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
连通组件
42.121
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
贯通孔
43.122
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
腰形通孔
44.123
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
端部通孔
45.13
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
连接端头
46.14
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
转接组件
具体实施方式
47.以下通过特定的具体实例说明本实用新型的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点与功效。本实用新型还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本实用新型的精神下进行各种修饰或改变。
48.请参阅图1至图11。需要说明的是，本实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本实用新型的基本构想，遂图示中仅显示与本实用新型中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。
49.如图1至图7所示，本实用新型提供一种可拼接式冷却装置，该可拼接式冷却装置包括：连通组件12、连接端头13及至少两个冷却板组11，连通组件12、连接端头13及冷却板组 11构成的可拼接式冷却装置内部为一连通封闭区域；以空间直角坐标系定义三维空间，其中 x轴表示左右方向，y轴表示前后方向，z轴表示上下方向；如图3至图4所示，该冷却板组11包括内侧冷却板111及外侧冷却板112；作为示例，内侧冷却板111的一侧设有第一连通凹槽，外侧冷却板112的一侧设有第二连通凹槽，第一连通凹槽与第二连通凹槽相对设置，且第一连通凹槽与第二连通凹槽的投影重合，第一连通凹槽与第二连通凹槽组成冷却板组内的冷却板流通域101(结合图2所示)；如图1及图5所示，连通组件12位于相邻两个冷却板组11之间，该连通组件12沿x轴方向的延伸长度与冷却板组11沿x轴方向的延伸长度相同，连通组件12沿z轴方向的两侧边分别与相邻两个冷却板组11的冷却板流通域101连通(如图5所示)；连接端头13位于连通组件12沿x轴方向的两端面上，作为可拼接式冷却装置的输入端口及输出端口；在具体实施中，本技术的可拼接式冷却装置可沿x轴方向和 /或z轴方向通过连接端头13进行拼接，以适应不同的作业需求。
50.本实施例的可拼接式冷却装置的工作原理为：将待冷却组件放入相邻两个冷却板组11之间的间隙内，向可拼接式冷却装置的输入端口所在的连接端头13输入冷却介质，流经连接组件12的圆柱流通域102后进入上下两块冷却板组11，在冷却板组11内循环流通后经由至少一个腰形通孔122循环连通，最后经由连接组件12的另一端的圆柱流通域102的输出端口所在的连接端头13输出冷却介质，形成流动的冷却流域10，对作业的待冷却组件进行降温，并将待冷却组件产生的热量逐步传递出真空腔。
51.本实施例的可拼接式冷却装置有效解决了真空腔内因作业产生的散热问题；该冷却装置可沿不同方向拼接，可以满足不同作业需求，并且可设有多个冷却介质的入口及出口，可以加速待冷却组件的温升降低；此外，冷却板组11上的连通凹槽具有多个并联支路，增大了冷却介质与冷却板组11的接触面积，提高了对待冷却组件的冷却效果，同时，冷却介质在多个并联的冷却板流通域101中流通，流速快，流量大，所需压力相对较小，能快速将待冷却组件作业时产生的热量带出，充分提高冷却装置的冷却效率。
52.如图3所示，作为示例，第一连通凹槽包括端部凹槽113、条状凹槽115及连接凹槽114，端部凹槽113设置于内侧冷却板111沿y轴方向的一侧边且位于沿x轴方向的两侧边，连接凹槽114设置于内侧冷却板111沿y轴方向的两侧边且沿x轴方向分布，沿y轴方向两侧的连接凹槽114相对交错设置且其顶端与内侧冷却板111的边缘留有间隙，条状凹槽115沿y 轴方向延伸并沿x轴方向分布，且条状凹槽115与其对应的端部凹槽113及连接凹槽114连
2a*(m+1)＝30；圆柱流通域102的数量通常为2，腰形流通域103的数量通常为m/2＝2。此外，并联支路数a＝3时，一个端部凹槽113与三条条形凹槽115连通，连接凹槽114包括三个弧形槽，每个弧形槽分别与两条条形凹槽115连通。
60.根据待冷却组件的形状及尺寸大小，冷却板组11的形状与连通组件12可设置为规则的形状，作为示例优选，冷却板组11的形状为矩形(如图1所示)，连通组件12的形状也为矩形(如图5所示)，且连通组件12沿x轴方向的延伸长度与冷却板组11沿x轴方向的延伸长度必须相同，用于将相邻两个冷却板组11内的冷却板流通域101充分连通。
61.如图3至图5所示，作为示例，端部凹槽113、连接凹槽114及条状凹槽115的槽宽相同，贯通孔121和端部通孔123的直径与端部凹槽113、连接凹槽114及条状凹槽115的槽宽相同。
62.这里需要说明的是，冷却流域10的宽度相同有利于冷却介质的流入和流出。
63.冷却板组11可根据待冷却组件位置实际情况去进行位置安放，如图1所示，作为示例优选，内侧冷却板111与外侧冷却板112的厚度为1mm～2mm，此外，相邻两个冷却板组11的范围为30mm～40mm。具体的，内侧冷却板111与外侧冷却板112的厚度及相邻两个冷却板组11的距离可根据实际需要进行选择，在此不作限制，只要在以上范围内即可。
64.如图8至图9所示，作为示例，当冷却装置沿x轴方向进行拼接时，可拼接式冷却装置还包括转接组件14，该转接组件14位于相邻两个连通组件12之间，转接组件14向外一侧设置有转接口，用于与连接端头13连接；冷却板组11的数量至少为4，连通组件12的数量至少为2，连接端头13的数量至少为3。
65.并联支路数a与冷却板组11内的连通凹槽的数量有对应关系，假设冷却板组11的沿x 轴方向的组数为k，转接组件14为k-1，并联支路数a，内侧冷却板上111或外侧冷却板112 与端部凹槽113同侧设置的连接凹槽114数量为m，则冷却板组11的数量为2*k，连通组件 12的数量为k，连接端头13的数量为k+1，圆柱流通域102的数量通常为2*k，腰形流通域 103的数量通常为m*k/2。
66.如图8至图9所示，以并联支路数a＝2为例，沿x轴方向进行拼接的冷却装置实施例，可拼接式冷却装置可沿x轴方向拼接成连通多组所述冷却板组11的结构，结构中冷却板组11的沿x轴方向的组数为k＝2，转接组件14为k-1＝1，并联支路数a＝2，内侧冷却板上111 或外侧冷却板112与端部凹槽113同侧设置的连接凹槽114数量为m＝6，则冷却板组11的数量为2*k＝4，连通组件12的数量为k＝2，连接端头13的数量为k+1＝3，圆柱流通域102的数量通常为2*k＝4，腰形流通域103的数量通常为m*k/2＝6。此时冷却流域10可根据实际情况采用单路流入、双路流出，或者双路流入、单路流出的结构形式进行设置，可以加速待冷却组件的温升降低，在此不做限制。待冷却组件可分别设置在相邻冷却板组11的夹层中。
67.如图10至图11所示，作为示例，当冷却装置沿z轴方向进行拼接时，冷却板组11与连通组件12沿z轴方向依次间隔设置，冷却板组11的数量至少为3，连通组件12的数量至少为2，连接端头13的数量至少为4。其中，最顶层及最底层的冷却板组11由内侧冷却板111 的第一连通凹槽及外侧冷却板112的第二连通凹槽相对设置而成，中间层的冷却板组11由两块内侧冷却板111的第一连通凹槽相对设置而成。
68.并联支路数a与冷却板组11内的连通凹槽的数量有对应关系，冷却板组11所构成的冷却板流通域101的层数与冷却板组11数量相等，假设冷却板组11的层数为n，并联支路
数a，内侧冷却板上111或外侧冷却板112与端部凹槽113同侧设置的连接凹槽114数量为m，则圆柱流通域102的数量通常为2*(n-1)，腰形流通域103的数量通常为m*(n-1)/2。此时冷却流域10可根据实际情况采用单侧双路流入、单侧双路流出的结构形式进行设置，在此不做限制。待冷却组件可分别设置在相邻冷却板组11的夹层中。
69.如图10至图11所示，以并联支路数a＝2为例，沿z轴方向进行拼接的冷却装置实施例，可拼接式冷却装置可沿z轴方向拼接成连通多组冷却板组11的结构，结构中冷却板组11的层数为n＝3，并联支路数a＝2，内侧冷却板上111或外侧冷却板112与端部凹槽113同侧设置的所述连接凹槽114数量为m＝6，则圆柱流通域102的数量通常为2*(n-1)＝4，腰形流通域103 的数量通常为m*(n-1)/2＝6。
70.作为示例，在真空应用环境中，侧冷却板111与外侧冷却板112的固定方式、连通组件 12沿z轴方向的两侧面分别与冷却板组11的内侧冷却板111的固定方式及连通组件12与连接端头13的固定方式均为焊接，以保证冷却流域的连通性和密封性。转接组件14与相邻连通组件12及连接端头13的固定方式也均采用焊接。所有接触区域皆采用焊接连接方式，以降低其放气指标，有利于满足在真空环境中作业的适用性。
71.除此之外，在非真空应用环境中，冷却板组11与连通组件12、连接组件12与连接端头 13的固定方式均为机械连接，即通过螺纹和密封圈实现冷却装置的密封；转接组件14与相邻连通组件12及连接端头13的固定方式也均采用机械连接。也可根据实际需要设置可封闭的固定方式。
72.作为示例，冷却板组11的材料为钛合金、铝合金或不锈钢，连通组件12的材料为钛合金或不锈钢，连接端头13的材料为不锈钢。本实用新型中的实施例所用到的组件优选采用不锈钢，不锈钢具有优良的不锈耐腐蚀性能和较好的抗晶间腐蚀性能。
73.本实用新型还提供一种可拼接式冷却系统，该可拼接式冷却系统包括上述的可拼接式冷却装置，冷却流域10中流通的冷却介质为净化后的流动空气或净水，用于降低待冷却组件的温升。
74.综上所述，本实用新型提供一种可拼接式冷却装置及冷却系统，该可拼接式冷却装置包括连通组件、连接端头及至少两个冷却板组，连通组件、连接端头及冷却板组构成的可拼接式冷却装置内部为一连通封闭冷却流域，冷却流域可通入冷却介质以降低待冷却组件的温升。本实用新型有效解决了真空腔内因作业产生的散热问题；冷却装置可沿不同方向拼接，可以满足不同作业需求，并且可设有多个冷却介质的入口及出口，可以加速待冷却组件的温升降低；此外，本实用新型的多重流道冷却流域结构和多组件拼接方式可以降低冷却流域的流阻，并提高与待冷却组件的接触面积，流速快，流量大，所需压力相对较小，充分提高冷却装置的冷却效率。所以，本实用新型有效克服了现有技术中的种种缺点而具高度产业利用价值。
75.上述实施例仅例示性说明本实用新型的原理及其功效，而非用于限制本实用新型。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本实用新型的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本实用新型所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本实用新型的权利要求所涵盖。

技术特征：

1.一种可拼接式冷却装置，其特征在于，包括：连通组件(12)、连接端头(13)及至少两个冷却板组(11)，所述连通组件(12)、所述连接端头(13)及所述冷却板组(11)构成的所述可拼接式冷却装置内部为一连通封闭区域；所述冷却板组(11)包括内侧冷却板(111)及外侧冷却板(112)，所述内侧冷却板(111)的一侧设有第一连通凹槽，所述外侧冷却板(112)的一侧设有第二连通凹槽，所述第一连通凹槽与所述第二连通凹槽相对设置，且所述第一连通凹槽与所述第二连通凹槽的投影重合，所述第一连通凹槽与所述第二连通凹槽组成所述冷却板组(11)内的冷却板流通域(101)；所述连通组件(12)位于相邻两个所述冷却板组(11)之间，所述连通组件(12)沿x轴方向的延伸长度与所述冷却板组(11)沿x轴方向的延伸长度相同，所述连通组件(12)沿z轴方向的两侧边分别与相邻两个所述冷却板组(11)内的所述冷却板流通域(101)连通；所述连接端头(13)位于所述连通组件(12)沿x轴方向的两端面上；所述可拼接式冷却装置沿x轴方向和/或z轴方向通过所述连接端头(13)进行拼接。2.根据权利要求1所述的一种可拼接式冷却装置，其特征在于：所述第一连通凹槽包括端部凹槽(113)、条状凹槽(115)及连接凹槽(114)，所述端部凹槽(113)设置于所述内侧冷却板(111)沿y轴方向的一侧边且位于沿x轴方向的两侧边，所述连接凹槽(114)设置于所述内侧冷却板(111)沿y轴方向的两侧边且沿x轴方向分布，沿y轴方向两侧的所述连接凹槽(114)相对交错设置且其顶端与所述内侧冷却板(111)的边缘留有间隙，所述条状凹槽(115)沿y轴方向延伸并沿x轴方向分布，且所述条状凹槽(115)与其对应的所述端部凹槽(113)及所述连接凹槽(114)连通；其中，所述内侧冷却板(111)上的所述端部凹槽(113)及与其同侧的所述连接凹槽(114)的顶部设置有槽内通孔(116)，所述内侧冷却板(111)上的所述端部凹槽(113)分别设置为所述冷却板组(11)的流入端及流出端。3.根据权利要求2所述的一种可拼接式冷却装置，其特征在于：所述第二连通凹槽与所述第一连通凹槽结构及尺寸基本相似，所述第二连通凹槽包括端部凹槽(113)、条状凹槽(115)及连接凹槽(114)，所述端部凹槽(113)设置于所述外侧冷却板(112)沿y轴方向的一侧边且位于沿x轴方向的两侧边，所述连接凹槽(114)设置于所述外侧冷却板(112)沿y轴方向的两侧边且沿x轴方向分布，沿y轴方向两侧的所述连接凹槽(114)相对交错设置且其顶端与所述外侧冷却板(112)的边缘留有间隙，所述条状凹槽(115)沿y轴方向延伸并沿x轴方向分布，且所述条状凹槽(115)与其对应的所述端部凹槽(113)及所述连接凹槽(114)连通。4.根据权利要求2所述的一种可拼接式冷却装置，其特征在于：所述冷却板流通域(101)包括至少一条并联支路，所述并联支路的数量a与所述内侧冷却板(111)上与所述端部凹槽(113)同侧设置的所述连接凹槽(114)的数量m有对应关系，其中，a≥1，所述内侧冷却板(111)上与所述端部凹槽(113)异侧的所述连接凹槽(114)的数量为m+1，所述端部凹槽(113)的数量与所述可拼接式冷却装置的输入端口和输出端口数量一致，所述条状凹槽(115)的数量为2a*(m+1)。5.根据权利要求2所述的一种可拼接式冷却装置，其特征在于：所述连通组件(12)距离沿x轴方向端部较近的位置设置有贯通孔(121)，所述贯通孔(121)与所述端部凹槽(113)上的槽内通孔(116)相对设置；所述连通组件(12)沿x轴方向中间位置设置有腰形通孔(122)，所述腰形通孔(122)与所述连接凹槽(114)上的槽内通孔(116)相对设置；所述连通组件
(12)沿x轴方向的两端面还分别设置有贯穿到所述贯通孔(121)的端部通孔(123)，所述连接端头(13)位于所述端部通孔(123)上。6.根据权利要求5所述的一种可拼接式冷却装置，其特征在于：所述贯通孔(121)包络的圆柱流通域(102)、所述腰形通孔(122)包络的腰形流通域(103)及所述冷却板流通域(101)构成所述可拼接式冷却装置的冷却流域(10)，所述冷却流域(10)至少包括一个所述腰形流通域(103)及两个所述圆柱流通域(102)。7.根据权利要求1所述的一种可拼接式冷却装置，其特征在于：所述内侧冷却板(111)与所述外侧冷却板(112)的厚度为1mm～2mm；相邻两个所述冷却板组(11)之间的距离为30mm～40mm。8.根据权利要求1所述的一种可拼接式冷却装置，其特征在于：当所述可拼接式冷却装置沿所述x轴方向进行拼接时，所述可拼接式冷却装置还包括转接组件(14)，所述转接组件(14)位于相邻两个所述连通组件(12)之间，所述转接组件(14)向外一侧设置有转接口，用于与所述连接端头(13)连接；所述冷却板组的数量至少为4，所述连通组件(12) 的数量至少为2，所述连接端头(13)的数量至少为3。9.根据权利要求1所述的一种可拼接式冷却装置，其特征在于：当所述可拼接式冷却装置沿所述z轴方向进行拼接时，所述冷却板组(11)与所述连通组件(12)沿所述z轴方向依次间隔设置，所述冷却板组(11)的数量至少为3，所述连通组件(12)的数量至少为2，所述连接端头(13)的数量至少为4。10.一种可拼接式冷却系统，其特征在于，包括：如权利要求1～9中任意一项所述的可拼接式冷却装置。

技术总结

本实用新型提供一种可拼接式冷却装置及冷却系统，所述可拼接式冷却装置包括连通组件、连接端头及至少两个冷却板组，连通组件、连接端头及冷却板组构成的可拼接式冷却装置内部为一连通封闭的冷却流域，所述冷却流域可通入冷却介质以降低待冷却组件的温升。本实用新型有效解决了真空腔内因作业产生的散热问题；冷却装置可沿不同方向拼接，可以满足不同作业需求，并且可设有多个冷却介质的入口及出口，可以加速待冷却组件的温升降低；此外，本实用新型的多重流道冷却流域结构和多组件拼接方式可以降低冷却流域的流阻，并提高与待冷却组件的接触面积，流速快，流量大，所需压力相对较小，充分提高冷却装置的冷却效率。充分提高冷却装置的冷却效率。充分提高冷却装置的冷却效率。