stripper化学品系统的保护装置的制作方法

1.本实用新型涉及化学品stripper供应系统技术领域，更具体的说，尤其涉及一种stripper化学品系统的保护装置。

背景技术：

2.化学品stripper供应系统定义：是指能够将液晶及半导体制程所需要的化学品(stripper)输送到使用点的系统。主要由supply unit、supply tank、pump、filter、valve、vmb及若干管道组成；主要用于array-wet科室的tstr机台去除玻璃基板上的光刻胶使用。
3.工艺原理：化学品(stripper)药液通过药液桶或槽车抽至supply tank存储；系统将自动通过pump低速循环以保证药液浓度均匀；当pou发出“request信号”时，系统将自动关闭循环，通过pump、filter把药液供给至需求机台。
4.但是系统现有的不足包括：
5.1、化学品(stripper)系统的供应单元和桶充单元是两个箱体分开的设备。此种做法造成制作成本不必要的浪费，同时，化学品管道及管件较多，增加化学品泄漏的风险；
6.2、化学品(stripper)系统的配电单元与供应单元一体。stripper属于易燃性液体容易引起火灾风险，此种做法增加火灾的风险；
7.3、化学品(stripper)系统的桶充单元和槽车充填单元无安装火焰探测器；供应单元和转送单元内安装火焰探测器数量不足，无法覆盖整个机台；出现异常无法及时检测报警；
8.4、化学品(stripper)系统的供应单元无硬件手动控制盘。系统出现异常时，无法及时恢复药液供应。
9.有鉴于此，针对现有的问题予以研究改良，提供一种stripper化学品系统的保护装置，旨在通过该技术，达到解决问题与提高实用价值性的目的。

技术实现要素：

10.本实用新型的目的在于提供stripper化学品系统的保护装置，以解决上述背景技术中提出的问题和不足。
11.为实现上述目的，本实用新型提供了stripper化学品系统的保护装置，由以下具体技术手段所达成：
12.stripper化学品系统的保护装置，包括：箱体、桶充单元、供应单元、火焰探测器、溶剂室、二氧化碳气瓶间、配电柜、操作盘、操作开关、手柄；所述箱体为矩形状箱体结构，且桶充单元、供应单元设置在箱体内；所述火焰探测器固定安装在桶充单元、供应单元的内壁上；所述二氧化碳气瓶间位于溶剂室的一侧，且配电柜固定安装在二氧化碳气瓶间内；所述操作盘安装在供应单元内；所述操作开关镶嵌安装在操作盘的上方，且手柄固定安装在操作盘的一侧。
13.作为本技术方案的进一步优化，本实用新型stripper化学品系统的保护装置所述
桶充单元位于箱体的正面、供应单元位于箱体的反面。
14.作为本技术方案的进一步优化，本实用新型stripper化学品系统的保护装置所述火焰探测器采用三波长红外火焰探测器。
15.作为本技术方案的进一步优化，本实用新型stripper化学品系统的保护装置所述操作盘与供应单元通过电连接。
16.由于上述技术方案的运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：
17.1、本实用新型桶充单元位于箱体的正面、供应单元位于箱体的反面的设置，对化学品(stripper)系统的供应单元进行空间优化，将桶充单元融入供应单元，节省设备的制造成本，减少管道管件的数量，降低化学品泄漏的风险。
18.2、本实用新型二氧化碳气瓶间位于溶剂室的一侧，且配电柜固定安装在二氧化碳气瓶间内的设置，将配电柜移出溶剂室，从而降低化学品引发火灾的风险。
19.3、本实用新型火焰探测器固定安装在桶充单元、供应单元的内壁上，火焰探测器采用三波长红外火焰探测器的设置，保证机台内全面覆盖时时检测，及时发现火灾异常及时报警并联动灭火系统进行灭火，降低火灾风险，保证设备安全，且采用三波长红外火焰探测器探测灵敏度高。
20.4、本实用新型操作盘与供应单元通过电连接的设置，当供应单元内设备屏幕损坏、系统崩溃及plc死机等异常情况下，可以通过操作盘手动控制功能快速恢复系统供液，避免影响工厂设备生产。
21.5、本实用新型通过对stripper化学品系统的保护装置的改进，具有结构设计合理，对空间进行优化、节省设备的制造成本，减少管道管件的数量，降低化学品泄漏的风险，降低化学品引发火灾的风险，探测灵敏度高，可以通过硬件手动控制功能快速恢复系统供液，避免影响工厂设备生产的优点，从而有效的解决了现有装置中出现的问题和不足。
附图说明
22.构成本技术的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：
23.图1为本实用新型的结构示意图；
24.图2为本实用新型的溶剂室结构示意图；
25.图3为本实用新型的操作盘结构示意图。
26.图中：箱体1、桶充单元2、供应单元3、火焰探测器4、溶剂室5、二氧化碳气瓶间6、配电柜7、操作盘8、操作开关9、手柄10。
具体实施方式
27.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
28.需要说明的是，在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上；术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”、“前端”、“后端”、“头部”、“尾部”等指示的
方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
29.此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
30.同时，在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电性连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
31.请参见图1至图3，本实用新型提供stripper化学品系统的保护装置的具体技术实施方案：
32.stripper化学品系统的保护装置，包括：箱体1、桶充单元2、供应单元3、火焰探测器4、溶剂室5、二氧化碳气瓶间6、配电柜7、操作盘8、操作开关9、手柄10；箱体1为矩形状箱体结构，且桶充单元2、供应单元3设置在箱体1内；火焰探测器4固定安装在桶充单元2、供应单元3的内壁上；二氧化碳气瓶间6位于溶剂室5的一侧，且配电柜7固定安装在二氧化碳气瓶间6内；操作盘8安装在供应单元3内；操作开关9镶嵌安装在操作盘8的上方，且手柄10固定安装在操作盘8的一侧。
33.具体的，如图1所示，桶充单元2位于箱体1的正面、供应单元3位于箱体1的反面，对化学品(stripper)系统的供应单元3进行空间优化，将桶充单元2融入供应单元3，节省设备的制造成本，减少管道管件的数量，降低化学品泄漏的风险。
34.具体的，如图1所示，火焰探测器4采用三波长红外火焰探测器，保证机台内全面覆盖时时检测，及时发现火灾异常及时报警并联动灭火系统进行灭火，降低火灾风险，保证设备安全，且采用三波长红外火焰探测器探测4灵敏度高。
35.具体的，如图3所示，操作盘8与供应单元3通过电连接，当供应单元3内设备屏幕损坏、系统崩溃及plc死机等异常情况下，可以通过操作盘手动控制功能快速恢复系统供液，避免影响工厂设备生产。
36.具体实施步骤：
37.首先对化学品(stripper)系统的供应单元进行空间优化，将桶充单元2融入供应单元3，节省设备的制造成本，减少管道管件的数量，降低化学品泄漏的风险。设备空间布局可参考ito等设备，设备正面为桶充单元2，设备背面为供应单元3；
38.然后将化学品(stripper)系统的配电单元与供应单元3进行拆分，将配电单元单单独做一个配电柜7，并将配电柜7移出溶剂室5，可考虑放置在溶剂室隔壁的二氧化碳气瓶间6,从而降低化学品引发火灾的风险；
39.为了保证机台内全面覆盖时时检测，在槽车充填单元(图中未涉及)安装火焰探测器4，在桶充单元2、供应单元3和转送单元(图中未涉及)内的背面或正面安装火焰探测器4，及时发现火灾异常及时报警并联动灭火系统进行灭火，降低火灾风险，保证设备安全；
40.另外，给化学品系统的供应单元3增加硬件手动控制功能，并配备手动控制操作盘8，当设备屏幕损坏、系统崩溃及plc死机等异常情况下，可以通过操作盘8手动控制功能快速恢复系统供液，避免影响工厂设备生产。
41.综上所述：该stripper化学品系统的保护装置，通过桶充单元位于箱体的正面、供应单元位于箱体的反面的设置，对化学品(stripper)系统的供应单元进行空间优化，将桶充单元融入供应单元，节省设备的制造成本，减少管道管件的数量，降低化学品泄漏的风险；通过二氧化碳气瓶间位于溶剂室的一侧，且配电柜固定安装在二氧化碳气瓶间内的设置，将配电柜移出溶剂室，从而降低化学品引发火灾的风险；通过火焰探测器固定安装在桶充单元、供应单元的内壁上，火焰探测器采用三波长红外火焰探测器的设置，保证机台内全面覆盖时时检测，及时发现火灾异常及时报警并联动灭火系统进行灭火，降低火灾风险，保证设备安全，且采用三波长红外火焰探测器探测灵敏度高；通过操作盘与供应单元通过电连接的设置，当供应单元内设备屏幕损坏、系统崩溃及plc死机等异常情况下，可以通过操作盘手动控制功能快速恢复系统供液，避免影响工厂设备生产；通过对stripper化学品系统的保护装置的改进，具有结构设计合理，对空间进行优化、节省设备的制造成本，减少管道管件的数量，降低化学品泄漏的风险，降低化学品引发火灾的风险，探测灵敏度高，可以通过硬件手动控制功能快速恢复系统供液，避免影响工厂设备生产的优点，从而有效的解决了现有装置中出现的问题和不足。
42.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

技术特征：

1.stripper化学品系统的保护装置，包括：箱体(1)、桶充单元(2)、供应单元(3)、火焰探测器(4)、溶剂室(5)、二氧化碳气瓶间(6)、配电柜(7)、操作盘(8)、操作开关(9)、手柄(10)；其特征在于：所述箱体(1)为矩形状箱体结构，且桶充单元(2)、供应单元(3)设置在箱体(1)内；所述火焰探测器(4)固定安装在桶充单元(2)、供应单元(3)的内壁上；所述二氧化碳气瓶间(6)位于溶剂室(5)的一侧，且配电柜(7)固定安装在二氧化碳气瓶间(6)内；所述操作盘(8)安装在供应单元(3)内；所述操作开关(9)镶嵌安装在操作盘(8)的上方，且手柄(10)固定安装在操作盘(8)的一侧。2.根据权利要求1所述的stripper化学品系统的保护装置，其特征在于：所述桶充单元(2)位于箱体(1)的正面、供应单元(3)位于箱体(1)的反面。3.根据权利要求1所述的stripper化学品系统的保护装置，其特征在于：所述火焰探测器(4)采用三波长红外火焰探测器。4.根据权利要求1所述的stripper化学品系统的保护装置，其特征在于：所述操作盘(8)与供应单元(3)通过电连接。

技术总结

本实用新型提供了stripper化学品系统的保护装置，包括：箱体、桶充单元、供应单元；所述箱体为矩形状箱体结构，且桶充单元、供应单元设置在箱体内；所述火焰探测器固定安装在桶充单元、供应单元的内壁上；所述二氧化碳气瓶间位于溶剂室的一侧，且配电柜固定安装在二氧化碳气瓶间内；所述操作盘安装在供应单元内；本实用新型通过对stripper化学品系统的保护装置的改进，具有结构设计合理，对空间进行优化、节省设备的制造成本，减少管道管件的数量，降低化学品泄漏的风险，降低化学品引发火灾的风险，探测灵敏度高，可以通过硬件手动控制功能快速恢复系统供液，避免影响工厂设备生产的优点，从而有效的解决了现有装置中出现的问题和不足。不足。不足。