一种锁紧机构及光刻机的制作方法

1.本发明涉及光刻机技术领域，具体为一种锁紧机构及光刻机。

背景技术：

2.光刻机中的曝光机就是利用紫外线通过模版去除晶圆表面的保护膜的设备。
3.现有的光刻机在运行流水线运行过程中，大多采用传送带或导轨进行流水线运输，而光刻机中的曝光机的加工需要隔绝外界的光线，因此通常需要升降装置驱动防护框达到密封覆盖，达到隔绝光线的目的。
4.然而现有的升降驱动装置升降密封后，其位置固定强度较低，在机器的振动和加工过程中极容易出现晃动，从而造成密封防光环境被破坏，进而影响加工的精度要求。

技术实现要素：

5.本发明的目的在于提供一种锁紧机构及光刻机，以解决光刻机中升降驱动的位置锁紧问题。
6.为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：
7.一种锁紧机构，所述锁紧机构包括：
8.导轨，所述导轨上滑动安装有治具板，导轨的两侧对称设置有一对延伸板；
9.防护框，所述防护框滑动插接在治具板的上端，防护框上设置有控制箱，防护框的下端设置有控制箱驱动的加工装置，防护框的上端设置有竖直安装的一对左右对称的直角架，防护框的两侧外壁设置有转动安装的一对转杆，所述转杆的下端设置有压合在延伸板上的挤压辊；
10.驱动组件，所述驱动组件包括气泵、伸缩柱和伸缩套管，所述气泵安装在连接横梁上，连接横梁固定安装在光刻机的内壁上，气泵的两端端口分别连通伸缩柱和伸缩套管的内腔，伸缩柱的伸缩端上端连接直角架的上端横板，伸缩套管的下端插接安装有螺杆组件，螺杆组件的下端转动安装有限位辊，限位辊插接在挤压辊的上端外壁上。
11.优选的，所述导轨的上端面中间设置有纵向滑槽，所述治具板的上端固定贴合有光刻加工板，治具板的下端滑动插接在纵向滑槽中。
12.优选的，所述导轨的上端面左右两侧对称设置有向上凸起的密封条，所述防护框的下端设置有密封槽，所述密封槽插接在密封条上。
13.优选的，所述连接横梁的端部内壁设置有限位插槽，所述直角架的侧壁上设置有竖直设置的侧条，所述侧条滑动插接在限位插槽上。
14.优选的，所述伸缩柱的下端内腔通过连通管连接气泵，所述伸缩套管内滑动安装有活塞，伸缩套管下端端口设置有螺钉安装的限位端盖。
15.优选的，所述螺杆组件包括上螺杆、下螺杆和螺管，所述上螺杆贯穿限位端盖并固定在活塞的下端，上螺杆的下端转动连接螺管，下螺杆的下端设置有转动架，限位辊转动安装在转动架上，下螺杆的上端转动安装在螺管的下端。
16.优选的，所述延伸板的上端中间横向设置有向下凹陷的横向滑槽，所述横向滑槽内滑动插接有锁紧架，所述锁紧架的下端设置有与横向滑槽对应的滑块，锁紧架的上端设置有与下螺杆配合插接的插孔，锁紧架的下端贴合延伸板的上端面，所述挤压辊压合在锁紧架的内壁上。
17.优选的，所述延伸板的上端面前后两侧对称设置有一对上下贯穿的贯穿槽，延伸板上设置有与贯穿槽对应的安装孔，所述安装孔内插接安装有固定螺栓。
18.优选的，所述防护框的外壁上设置有铰座，所述转杆的一端转动安装在铰座上，转杆的另一端转动连接挤压辊。
19.一种光刻机，包括上述的锁紧机构。
20.与现有技术相比，本发明的有益效果是：
21.本发明通过设置切换运气的气泵，从而实现在压紧治具板实现防光的同时，使得限位辊下降，达到进一步固定防护框高度的目的，达到锁紧的目的，同时利用气泵的反向进气，在实现限位辊上升的同时，解除锁紧，使得直角架驱动上升，达到工位切换的目的，适配于流水线式的生产，大大提高了生产加工的精度。
附图说明
22.图1为本发明的结构示意图；
23.图2为本发明的防护框立体结构示意图；
24.图3为本发明的防护框主视图；
25.图4为本发明的导轨立体结构示意图；
26.图5为本发明的锁紧架立体结构示意图；
27.图6为本发明的限位辊立体结构示意图。
28.图中：1、导轨；2、防护框；3、加工装置；4、伸缩套管；5、直角架；6、控制箱；7、侧条；8、伸缩柱；9、连接横梁；10、限位插槽；11、连通管；12、气泵；13、活塞；14、治具板；15、限位端盖；16、延伸板；17、锁紧架；18、横向滑槽；19、限位辊；20、上螺杆；21、下螺杆；22、转动架；23、螺管；24、挤压辊；25、密封槽；26、密封条；27、转杆；28、固定螺栓；29、滑块；30、铰座；31、插孔；32、安装孔；33、贯穿槽；34、纵向滑槽。
具体实施方式
29.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
30.请参阅图1至图6，本发明提供一种技术方案：
31.实施例1：
32.一种锁紧机构，锁紧机构包括导轨1、防护框2和驱动组件。
33.导轨1上滑动安装有治具板14，导轨1的两侧对称设置有一对延伸板16，防护框2滑动插接在治具板14的上端，防护框2上设置有控制箱6，防护框2的下端设置有控制箱6驱动的加工装置3，通过控制箱6驱动的加工装置3达到密封加工的目的，利用防护框2与导轨1的
配合插接，达到覆盖治具板14的目的。
34.防护框2的上端设置有竖直安装的一对左右对称的直角架5，防护框2的两侧外壁设置有转动安装的一对转杆27，转杆27的下端设置有压合在延伸板16上的挤压辊24，驱动组件包括气泵12、伸缩柱8和伸缩套管4，气泵12安装在连接横梁9上，连接横梁9固定安装在光刻机的内壁上，气泵12的两端端口分别连通伸缩柱8和伸缩套管4的内腔，伸缩柱8的伸缩端上端连接直角架5的上端横板，伸缩套管4的下端插接安装有螺杆组件，螺杆组件的下端转动安装有限位辊19，限位辊19插接在挤压辊24的上端外壁上。
35.下降覆盖过程中，通过气泵12向伸缩套管4进气，使得伸缩柱8的伸缩杆下降，带动直角架5下端的防护框2压合在导轨1的上端面，形成覆盖式防护遮光，同时驱动限位辊19下降，在防护框2下降过程中，确定挤压辊24横向延伸滑动，利用限位辊19达到限定挤压辊24位置的目的，达到锁紧的目的。
36.上升复位过程中，通过气泵12向伸缩柱8内进气，使得伸缩套管4内压减小，驱动限位辊19上升，解除对挤压辊24的位置限定，同时使得伸缩柱8内压增大，使得直角架5上升，使得防护框2上升，实现治具板14的工位切换，适配于流水线式的生产加工。
37.实施例2：
38.在实施例1的基础上，为了提高遮光密封效果，还具有在导轨1的上端面中间设置有纵向滑槽34，治具板14的上端固定贴合有光刻加工板，治具板14的下端滑动插接在纵向滑槽34中，导轨1的上端面左右两侧对称设置有向上凸起的密封条26，防护框2的下端设置有密封槽25，密封槽25插接在密封条26上。
39.通过纵向滑槽34实现对治具板14的位置进行限定，通过设置密封条26和密封槽25的配合，实现防护框2下端面的紧密压合，提高遮光防护效果。
40.实施例3：
41.在实施例2的基础上，为了提高升降运动的稳定性，还具有在连接横梁9的端部内壁设置有限位插槽10，直角架5的侧壁上设置有竖直设置的侧条7，侧条7滑动插接在限位插槽10上。
42.通过设置侧条7和限位插槽10的配合，保证直角架5的竖直升降运动。
43.实施例4：
44.在实施例3的基础上，为了防止活塞13掉落，还具有在伸缩柱8的下端内腔通过连通管11连接气泵12，伸缩套管4内滑动安装有活塞13，伸缩套管4下端端口设置有螺钉安装的限位端盖15。
45.通过设置限位端盖15达到封闭伸缩套管4下端端口的目的，防止活塞13脱落。
46.实施例5：
47.在实施例1的基础上，为了适配不同高度的治具板14，还具有在螺杆组件包括上螺杆20、下螺杆21和螺管23，上螺杆20贯穿限位端盖15并固定在活塞13的下端，上螺杆20的下端转动连接螺管23，下螺杆21的下端设置有转动架22，限位辊19转动安装在转动架22上，下螺杆21的上端转动安装在螺管23的下端。
48.通过设置螺管23、上螺杆20和下落杠21的配合，达到调节螺杆组件长的目的。
49.实施例6：
50.在实施例5的基础上，为了适配高度的调节，还具有在延伸板16的上端中间横向设
置有向下凹陷的横向滑槽18，横向滑槽18内滑动插接有锁紧架17，锁紧架17的下端设置有与横向滑槽18对应的滑块29，锁紧架17的上端设置有与下螺杆21配合插接的插孔31，锁紧架17的下端贴合延伸板16的上端面，挤压辊24压合在锁紧架17的内壁上。
51.通过设置锁紧架17实现对挤压辊24的位置进行进一步的位置限。
52.延伸板16的上端面前后两侧对称设置有一对上下贯穿的贯穿槽33，延伸板16上设置有与贯穿槽33对应的安装孔32，安装孔32内插接安装有固定螺栓28。
53.通过设置固定螺栓28和安装孔32的配合，达到固定锁紧架17的目的。
54.防护框2的外壁上设置有铰座30，转杆27的一端转动安装在铰座30上，转杆27的另一端转动连接挤压辊24。
55.通过设置铰座30和转杆27的转动连接，实现挤压辊24的挤压转动延伸，使得挤压辊24转动压合在延伸板16上，实现两侧对称式的位置限定，提高装置的稳定性。
56.一种光刻机，包括上述的锁紧机构。
57.尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

技术特征：

1.一种锁紧机构，其特征在于：所述锁紧机构包括：导轨(1)，所述导轨(1)上滑动安装有治具板(14)，导轨(1)的两侧对称设置有一对延伸板(16)；防护框(2)，所述防护框(2)滑动插接在治具板(14)的上端，防护框(2)上设置有控制箱(6)，防护框(2)的下端设置有控制箱(6)驱动的加工装置(3)，防护框(2)的上端设置有竖直安装的一对左右对称的直角架(5)，防护框(2)的两侧外壁设置有转动安装的一对转杆(27)，所述转杆(27)的下端设置有压合在延伸板(16)上的挤压辊(24)；驱动组件，所述驱动组件包括气泵(12)、伸缩柱(8)和伸缩套管(4)，所述气泵(12)安装在连接横梁(9)上，连接横梁(9)固定安装在光刻机的内壁上，气泵(12)的两端端口分别连通伸缩柱(8)和伸缩套管(4)的内腔，伸缩柱(8)的伸缩端上端连接直角架(5)的上端横板，伸缩套管(4)的下端插接安装有螺杆组件，螺杆组件的下端转动安装有限位辊(19)，限位辊(19)插接在挤压辊(24)的上端外壁上。2.根据权利要求1所述的一种锁紧机构，其特征在于：所述导轨(1)的上端面中间设置有纵向滑槽(34)，所述治具板(14)的上端固定贴合有光刻加工板，治具板(14)的下端滑动插接在纵向滑槽(34)中。3.根据权利要求1所述的一种锁紧机构，其特征在于：所述导轨(1)的上端面左右两侧对称设置有向上凸起的密封条(26)，所述防护框(2)的下端设置有密封槽(25)，所述密封槽(25)插接在密封条(26)上。4.根据权利要求2所述的一种锁紧机构，其特征在于：所述连接横梁(9)的端部内壁设置有限位插槽(10)，所述直角架(5)的侧壁上设置有竖直设置的侧条(7)，所述侧条(7)滑动插接在限位插槽(10)上。5.根据权利要求1所述的一种锁紧机构，其特征在于：所述伸缩柱(8)的下端内腔通过连通管(11)连接气泵(12)，所述伸缩套管(4)内滑动安装有活塞(13)，伸缩套管(4)下端端口设置有螺钉安装的限位端盖(15)。6.根据权利要求5所述的一种锁紧机构，其特征在于：所述螺杆组件包括上螺杆(20)、下螺杆(21)和螺管(23)，所述上螺杆(20)贯穿限位端盖(15)并固定在活塞(13)的下端，上螺杆(20)的下端转动连接螺管(23)，下螺杆(21)的下端设置有转动架(22)，限位辊(19)转动安装在转动架(22)上，下螺杆(21)的上端转动安装在螺管(23)的下端。7.根据权利要求1所述的一种锁紧机构，其特征在于：所述延伸板(16)的上端中间横向设置有向下凹陷的横向滑槽(18)，所述横向滑槽(18)内滑动插接有锁紧架(17)，所述锁紧架(17)的下端设置有与横向滑槽(18)对应的滑块(29)，锁紧架(17)的上端设置有与下螺杆(21)配合插接的插孔(31)，锁紧架(17)的下端贴合延伸板(16)的上端面，所述挤压辊(24)压合在锁紧架(17)的内壁上。8.根据权利要求7所述的一种锁紧机构，其特征在于：所述延伸板(16)的上端面前后两侧对称设置有一对上下贯穿的贯穿槽(33)，延伸板(16)上设置有与贯穿槽(33)对应的安装孔(32)，所述安装孔(32)内插接安装有固定螺栓(28)。9.根据权利要求8所述的一种锁紧机构，其特征在于：所述防护框(2)的外壁上设置有铰座(30)，所述转杆(27)的一端转动安装在铰座(30)上，转杆(27)的另一端转动连接挤压辊(24)。
10.一种光刻机，其特征在于：包括权利要求1-9中任意一项所述的锁紧机构。

技术总结

本发明涉及光刻机技术领域，具体为一种锁紧机构及光刻机，防护框的上端设置有竖直安装的一对左右对称的直角架，防护框的两侧外壁设置有转动安装的一对转杆，所述转杆的下端设置有压合在延伸板上的挤压辊，有益效果为：通过设置切换运气的气泵，从而实现在压紧治具板实现防光的同时，使得限位辊下降，达到进一步固定防护框高度的目的，达到锁紧的目的，同时利用气泵的反向进气，在实现限位辊上升的同时，解除锁紧，使得直角架驱动上升，达到工位切换的目的，适配于流水线式的生产，大大提高了生产加工的精度。产加工的精度。产加工的精度。