光谱合束装置及方法

1.本发明涉及激光技术领域，尤其涉及一种光谱合束装置及方法。

背景技术：

2.光谱合束技术是当前实现高功率、高光束质量合束激光的最为可行技术之一。从1999年报道至今，该技术已经成功应用在全固态激光器、光纤激光器以及半导体激光器上面，大幅度提升了激光器性能。
3.当前应用在半导体激光领域的光谱合束结构主要为闭环式光谱合束结构，其实现结构为：激光单元的后腔面与外腔镜组成谐振腔，激光单元前腔面镀增透膜，在光谱合束方向排列，并沿着相同的方向出射，经过变换透镜的作用，共同入射到光栅上，再经过光栅衍射输出到外腔镜，只有垂直入射到外腔镜并能够反射回原激光单元的光能够谐振。由于光栅和外腔反馈等作用，使得激光单元谐振到不同的激光波长，经过光谱合束后的激光功率倍增，光束质量与激光单元保持一致，但是整体光谱变宽。
4.为了实现好的光谱合束效果，激光芯片的出光端面和光栅分别处于变换透镜的前后焦平面，即激光芯片到光栅的距离至少为二倍变换透镜焦距。另外，无论是基于反射光栅的光谱合束结构还是基于透射光栅的光谱合束结构，经过光栅衍射后输出光路不与入射光路重合，使得输出激光需要占用额外空间，进一步加大光谱合束结构尺寸。且外腔镜通常位于光谱合束光源的外围或者边缘。
5.为了在合适的光谱范围内实现有效的光谱合束，受限于光栅散能力，当前文献普遍报道的近红外波段的光谱合束光源所采用的变换透镜焦距长达数百毫米，有的为了压缩带宽，变换透镜焦距甚至达到米量级，导致外腔光谱光源的谐振腔普遍达到数百毫米甚至数米，整个光谱合束光源体积尺寸较大。
6.另外作为谐振腔镜的后腔镜总是处于光源的外围或者边缘位置，难以保证其结构稳定性，给整个光谱合束光源的结构稳定性和长期可靠性带来大的隐患，尤其是应用在对环境适应性要求高的场合。

技术实现要素：

7.本发明为解决上述问题，提供一种结构更加紧凑的光谱合束装置及方法。
8.本发明提供一种光谱合束装置，所述光谱合束装置包括激光单元、变换透镜、反射光栅、透射光栅以及外腔镜；所述光谱合束装置以所述透射光栅的法线的利特罗角为光轴，所述激光单元为两个或两个以上，两个或两个以上所述激光单元分别位于所述光轴的两侧；所述外腔镜与所述光轴垂直；
9.所述激光单元输出激光光束，所述激光光束经过所述变换透镜作用，以不同角度入射至所述透射光栅，经过所述透射光栅衍射后再入射至所述反射光栅；所述激光光束经过所述透射光栅和所述反射光栅衍射后，输出至所述外腔镜。
10.优选的，所述变换透镜包括通孔，所述通孔的直径小于等于经过所述透射光栅和
所述反射光栅衍射到所述外腔镜的激光光束的直径；所述通孔的中心与所述光轴重合。
11.优选的，所述激光单元的前腔面位于所述变换透镜的前焦面。
12.优选的，所述激光单元的前腔面位于所述变换透镜的一倍焦距范围内，所述光谱合束装置还包括补偿镜，所述补偿镜与所述变换透镜组合形成成像镜，将所述激光单元的前腔面成像到所述外腔镜。
13.优选的，所述反射光栅为一级衍射光栅，所述反射光栅一级衍射效率大于90％，所述反射光栅的衍射偏振方向与所述激光光束的偏振方向匹配。
14.优选的，所述透射光栅为负一级衍射光栅，所述透射光栅的负一级衍射效率大于90％，所述透射光栅的衍射偏振方向与所述激光光束的偏振方向匹配。
15.优选的，两个或两个以上所述激光单元分别输出不同波长的激光光束。
16.优选的，所述激光单元包括激光器件和光学元件，所述光学元件对所述激光器件输出的激光光束进行准直、整形或偏振方向调整中的至少一种，所述激光器件在输出激光光束的端面镀有增透膜；所述激光器件为半导体激光器、光纤激光器或者全固态激光器。
17.本发明还提供一种光谱合束方法，所述光谱合束方法通过上述的光谱合束装置实现，所述光谱合束方法包括步骤：
18.s1、所述光谱合束装置以所述透射光栅的法线的利特罗角为光轴；所述激光单元位于所述光轴两侧；所述激光单元输出激光光束；
19.s2、所述激光光束经过所述变换透镜作用，以不同角度入射至所述透射光栅，
20.s3、所述激光光栅经过所述透射光栅衍射后，再入射至所述反射光栅进行衍射；
21.s4、所述激光光束经过所述透射光栅和所述反射光栅多次衍射后，输出至所述外腔镜；所述外腔镜与所述光轴垂直。
22.本发明提出的光谱合束装置及方法具有以下的突出效果：
23.(1)更高的光谱合束效率。光栅作为光谱合束的关键元件，光栅衍射效率的高低直接决定光谱合束的效率，本发明的光谱合束装置结构中，所有的光栅均在利特罗衍射角下实现衍射，是该光栅所能达到的最高衍射效率，使得本发明的光谱合束结构具有更高的光谱合束效率；
24.(2)更加紧凑的结构。通过复用透射光栅和反射光栅，散元件的散能力倍数增加，采用短焦的变换透镜即可实现相同的光谱合束带宽，对应所形成的光谱合束谐振腔便大幅度缩短，从而降低光谱合束光源整体尺寸，同时经过光栅衍射后的光路和外腔镜与入射光路重叠，使其不需要占据额外的空间，进一步减小光源尺寸，从而实现更加紧凑的结构；
25.(3)更高的环境适应性和稳定性。高的光谱合束效率使其具有更高的有效外腔反馈率，即使谐振腔出现小的失配上也更容易谐振；整个光源的紧凑结构也更利于光源整体的稳定性；最关键点在于，本发明将外腔镜设计到谐振腔内部，具有更高的结构稳定性，提升光谱合束光源的可靠性和稳定性。
附图说明
26.图1是本发明第一种实施方式的光谱合束装置结构示意图。
27.图2是本发明第二种实施方式的光谱合束装置结构示意图。
28.图3是本发明具体实施方式的光谱合束装置中透射光栅结构示意图。
29.图4是现有技术中第一种对比例的光谱合束装置结构示意图。
30.图5是现有技术中第二种对比例的光谱合束装置结构示意图。
31.附图标记
32.1001、光轴，100、激光单元阵列，101、第一激光单元，102、第二激光单元，2001、一级衍射方向，20、变换透镜，30、透射光栅， 301、第一片透射光栅，302、第二片透射光栅，303、第三片透射光栅，30n、第n片透射光栅40、反射光栅，50、外腔镜，60、补偿镜， 70、准直镜。
具体实施方式
33.为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及具体实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本发明，而不构成对本发明的限制。
34.如图1所示，为本发明第一种实施例的光谱合束装置结构示意图，该实施例的光谱合束装置包括激光单元、变换透镜20、反射光栅40、透射光栅30以及外腔镜50；所述光谱合束装置以所述透射光栅的法线的利特罗角为光轴1001，所述激光单元为两个，即第一激光单元 101和第二激光单元102，光轴1001的位置不放置激光单元，两个所述激光单元分别位于所述光轴1011的两侧；优选的实施方式中，两个所述激光单元对称排列于所述光轴1011的两侧，沿着相同方向z 输出激光光束；所述外腔镜50与所述光轴1001垂直；需要说明的是，为了更好的介绍本发明的方案引入了光轴1001，但是光轴1001并不是实际存在的，只是一种类似于坐标轴的用于示意的方向轴。
35.所述激光单元输出激光光束，所述激光光束经过所述变换透镜20 作用，以不同角度入射至所述透射光栅30，经过所述透射光栅30衍射后再入射至所述反射光栅40；所述激光光束经过所述透射光栅30 和所述反射光栅40衍射后，输出至所述外腔镜；具体的，激第一激光单元101和第二激光单元102输出的激光光束以不同的角度入射到透射光栅30的不同位置，再以不同的角度衍射，其入射角和衍射角均满足该片透射光栅30的光栅方程。经过多次衍射后，最后一次衍射时，激光光束入射到透射光栅30上的同一位置，然后以相同的方向衍射出去。光轴1001在透射光栅30的入射角度为利特罗角，经过透射光栅30衍射后，进一步以利特罗角入射到反射光栅40上，经过反射光栅40衍射后，沿着原路返回以利特罗角入射到透射光栅30，并且，第一激光单元101和第二激光单元102输出的激光光束在透射光栅30上发生重合，最后经过透射光栅30沿着相同方向衍射出去，该衍射方向与光轴1001重合，并入射到与光轴垂直的外腔镜50上。第一激光单元101和第二激光单元102可以输出不同波长的激光光束；经过外腔镜50的反馈和透射光栅30与反射光栅40的散作用，使每个激光单元谐振到不同的波长，经过外腔镜50输出的光斑和发散角与单元光束保持一致，功率为所有激光单元的功率之和。
36.具体的实施方式中，激光单元输出的激光光束包括主光线，主光线具体是指从各个激光单元输出的与所述光轴1001平行的光线；各个激光单元输出的主光线均对称分布在透射光栅30和反射光栅40的光栅利特罗角方向的两侧，激光光束在经过透射光栅30和反射光栅 40衍射后，在最后一次发生衍射时，所有激光单元输出的主光线均与最后一片光栅的
利特罗角方向重合。
37.所述主光线与所述透射光栅的入射角和衍射角均为利特罗角；所述主光线与所述反射光栅的入射角和衍射角均为利特罗角。在其他的实施方式中，所述激光单元还可以为其他数量，比如三个、四个、五个、六个等，这些激光单元均分布在光轴1001的两侧，光轴1001所在的位置不设置激光单元，优选的实施方式中，不同激光单元对称排列在光轴1001的两侧，以实现最高的衍射效率；不同位置的激光单元可以输出不同波长的激光光束。
38.具体的实施方式中，所述变换透镜20包括通孔，所述通孔的直径小于等于经过所述透射光栅30和所述反射光栅40衍射到所述外腔镜50的激光光束的直径，对超出通孔孔径的激光光束进行散射滤波；所述通孔的中心与所述光轴1001重合；即所述通孔可以直接透过从所述透射光栅30和所述反射光栅40衍射到外腔镜50的激光光束。
39.具体的实施方式中，所述激光单元的前腔面位于所述变换透镜20 的前焦面。另一种具体实施方式中，所述激光单元的前腔面位于所述变换透镜20的一倍焦距范围内，所述光谱合束装置还包括补偿镜60，所述补偿镜60与所述变换透镜20组合形成成像镜，将所述激光单元的前腔面成像到所述外腔镜50；所述补偿镜60可以为正透镜也可以为负透镜。
40.具体如图2所示，在该实施方式中，相对于图1所示的实施方式，激光单元的前腔面不处于变换透镜20的前焦平面，而是在一倍焦距内，此时经过透射光栅30和反射光栅40衍射后的激光光束不是准直光，由变换透镜20和补偿镜60的组合，将激光单元的端面成像到外腔镜50上，在实现谐振时，可以进一步减小光谱合束光源的整体尺寸。
41.具体的实施方式中，所述反射光栅40为一级衍射光栅，反射光栅40的一级衍射效率均大于90％，反射光栅40的光栅高效衍射偏振方向与激光光束的偏振方向匹配。所述透射光栅30为负一级衍射光栅，透射光栅30的负一级衍射效率大于90％，透射光栅30的光栅高效衍射偏振方向与激光光束的偏振方向匹配。透射光栅30与反射光栅40可以具有相同的光栅常数或者不同的光栅常数，只需要满足对应光栅的利特罗角入射和衍射即可，激光光束的光路则可以沿着光轴方向返回输出。
42.在其他的实施方式中，所述透射光栅30为两个或两个以上，即多片透射光栅的组合，具体如图3所示，所述透射光栅30为多片，即为多片负一级衍射光栅的组合，包括第一片透射光栅301、第二片透射光栅302、第三片透射光栅303
…
以及第n片透射光栅30n，每片透射光栅的负一级衍射效率均大于90％，相邻的透射光栅之间互不平行。在多片透射光栅的组合方案中，每一片透射光栅可以具有相同的光栅常数或者不同的光栅常数，光栅常数相同的时候，入射角和衍射角的角度均相同，光栅常数不同的时候，每片透射光栅自己的入射角和衍射角相同；每一片透射光栅都处于变换透镜20的一倍焦距范围内，第(n-1)片透射光栅与第n片透射光栅30n的夹角为(θ
l(n-1)
+ θ
ln
)，其中，θ
l(n-1)
为第(n-1)片透射光栅的利特罗角，θ
ln
为第n 片透射光栅30n的利特罗角。
43.具体的实施方式中，所述激光单元包括激光器件和光学元件，所述光学元件对所述激光器件输出的激光光束进行准直、整形或偏振方向调整中的至少一种，所述激光器件在输出激光光束的端面镀有增透膜；所述激光器件为半导体激光器、光纤激光器或者全固态激光器。
44.本发明具体实施方式中还提供一种光谱合束方法，所述光谱合束方法包括步骤：
45.s1、所述光谱合束装置以所述透射光栅的法线的利特罗角为光轴；所述激光单元
位于所述光轴两侧；所述激光单元输出激光光束；
46.s2、所述激光光束经过所述变换透镜作用，以不同角度入射至所述透射光栅，
47.s3、所述激光光栅经过所述透射光栅衍射后，再入射至所述反射光栅进行衍射；
48.s4、所述激光光束经过所述透射光栅和所述反射光栅多次衍射后，输出至所述外腔镜；所述外腔镜与所述光轴垂直。
49.本发明提出的紧凑型、高可靠性光谱合束装置及方法，首先通过复用透射光栅和反射光栅，提高散元件的散能力，在不改变激光单元数量和光谱合束带宽条件下，可以数倍减小变换透镜焦距，从而减小整个光谱合束光源的谐振腔和外形尺寸。同时，无论是透射光栅还是反射光栅，均采用利特罗角作为入射角和衍射角，便于实现光栅效率的最大化，有助于提升有效反馈量，建立稳定的外腔谐振，提升光谱合束光源的谐振稳定性。另外，通过光路设计，将光栅衍射输出光与入射激光光路实现重叠，并使外腔镜位于光路中间，易于保持外腔镜的结构稳定性，不易受外界环境影响，提升了光谱合束光源的可靠性，以满足特殊环境应用需求。
50.以下结合具体对比例和实施例进一步说明。
51.对比例1
52.参考文献(b.chann,r.k.huang,l.j.missaggia,et al. near-diffraction-limited diode laser arrays by wavelength beamcombining[j].optics letters,2005,30(16):2104-2106)报道了一种基于反射光栅进行光谱合束的结构，外腔镜50与激光单元阵列100的后腔面构成谐振腔，激光单元阵列100的前腔面和反射光栅40分别位于变换透镜20的前后焦平面上。激光单元经过焦距为f的变换透镜20 作用后，以不同角度入射到反射光栅40上，再由反射光栅40衍射，衍射激光光束输出到外腔镜50，只有垂直入射到外腔镜50的光能够返回到原激光单元形成谐振。反射光栅40的入射激光光束和衍射激光光束分离，为了实现高的光栅衍射效率，两者的分离角度小(《10
°
)，且分别接近光栅的利特罗角。经过外腔镜50的反馈和光栅散作用，使每个激光单元谐振到不同的波长，经过外腔镜50输出的光斑和发散角与单元光束保持一致，功率为所有激光单元的功率之和。具体如图3所述，采用焦距200mm的变换透镜20对100个前腔面增透(r《1％) 的915nm激光单元进行光束变换，采用光栅周期为1800线/mm的反射式光栅40进行衍射，然后由10％反射率的外腔镜50进行反馈实现光谱合束，合束后的输出光谱为17nm。从图中可以看出，激光芯片的出光腔面距离光栅的距离至少为400mm。该文献的内容中明确提到“for best efficiency the incidence angle on the grating is limited toseveral degrees around the littrow angle”，即反射光栅40的入射角和衍射角均偏离光栅的利特罗角，为了实现好的效率，该角度尽量限制到几度，具体值没有报道，同时从文中可以知道，经过反射光栅40 衍射的光传输方向与入射光不重合，在x方向增加物理尺寸，且外腔镜50不包含在光谱合束结构的内部。
[0053]
实施例1
[0054]
基于图4所示的原理，采用本发明的光谱合束装置结构，具体采用2片透射光栅30和1片反射光栅40组合，透射光栅30和反射光栅40的光栅线数均为1800线/mm，保持同样的17nm合束光谱带宽，可以将变换透镜20的焦距f减小至67mm，不考虑透射光栅30与反射光栅40对光路的折叠效果，则激光芯片到最后一次透射光栅的物理距离直接降至134mm，叠加上
透射光栅30与反射光栅40的折叠效果，该物理距离则更短，即在z方向上的空间尺寸至少变为原来的 1/3。同时衍射后的光路与入射激光光束形成叠加，并将反射光栅40 与透射光栅20紧挨着放置，则无需考虑在x方向空间增加，因此无论从x或者z方向，合束光源的尺寸都变得更小。如果采用3片透射光栅和1片反射光栅组合，则变换透镜焦距可以降低至40mm。另外，在该实施例中，外腔镜50能够直接设计到光路内部，明显增强了光谱合束的结构稳定性。
[0055]
对比例2
[0056]
参考文献(jun zhang,hangyu peng,xihong fu,et al.cw 50w/m2 ＝10.9diode laser source by spectral beam combining based on atransmission grating[j].optics express,2013,21(3):3627-3632)报道了一种基于透射光栅进行光谱合束的结构，外腔镜50与激光单元阵列 100的后腔面构成谐振腔，激光单元阵列100的前腔面和透射光栅30 分别位于变换透镜20的前后焦平面上。激光单元阵列100输出的激光光束经过焦距ff和fs的准直镜70，再经过焦距f
t
的变换透镜20作用后，以不同角度入射到透射光栅30上，其中激光单元阵列100的中间位置的激光单元输出的激光光束的入射角度与透射光栅的利特罗角度相同，具体如图中一级衍射方向2001所示，再由透射光栅30 衍射，衍射光束与透射光栅的利特罗角度方向重合，衍射光输出到外腔镜50，只有垂直入射到外腔镜50的激光光束能够返回到原激光单元形成谐振。透射光栅30的入射激光光束和衍射激光光束分离，为了实现高的光栅衍射效率，透射光栅30的入射角和衍射角均为光栅的利特罗角(θlittrow)，则入射激光光束和衍射激光光束的夹角为 180-2*θlittrow，在该文献中中θlittrow为50.6
°
，则入射激光光束和衍射激光光束的夹角达到78.8
°
。
[0057]
具体如图5所示，采用焦距150mm的变换透镜20对19个前腔面增透(r《0.5％)的970nm激光单元进行光束变换，采用光栅周期为1600线/mm的透射光栅30进行衍射，然后由20％反射率的外腔镜 50进行反馈实现光谱合束，合束后的输出光谱为24.1nm。从图中可以看出，激光芯片的出光腔面距离透射光栅30的距离至少为300mm。尽管入射激光光束和衍射激光光束与透射光栅30的角度为利特罗角，可以获得高的衍射效率，但是入射激光光束和衍射激光光束的夹角达到78.8
°
，几乎成直角，导致整个光源结构占用空间大，如外腔镜50 距离透射光栅30的距离为100mm，则直接在x方向增大近100mm 的尺寸，且外腔镜50完全处于光谱合束结构的远端，不易实现稳定结构。
[0058]
实施例2
[0059]
基于图5所示的原理，采用本发明的光谱合束装置结构，具体参考图1所示的结构，采用单片透射光栅30和单片反射光栅40组合，透射光栅30和反射光栅40的光栅线数均为1600线/mm，保持同样的24.1nm合束光谱带宽，可以将变换透镜20的焦距减小至50mm，不考虑透射光栅30与反射光栅40对光路的折叠效果，则激光芯片到最后一次透射光栅30的物理距离直接降至100mm，叠加上透射光栅 30与反射光栅40的折叠效果，该物理距离更短，即在z方向上的空间尺寸至少变为原来的1/3。同时衍射后的光路与入射激光形成叠加，并将反射光栅40与透射光栅30紧挨着放置，则无需考虑在x方向空间增加，大大减小了该方向的尺寸，因此无论从x或者z方向，合束光源的尺寸变得更小。如果采用更多的透射光栅30，比如多片透射光栅的组合，整个光谱合束结构的尺寸可以进一步缩小。另外，该实施例中，外腔镜50能够直接设计到激光光束的光路内部，相对于图5 所示结构，其稳定性大幅度提升，明
显增强光谱合束的结构稳定性。
[0060]
尽管上面已经示出和描述了本发明的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本发明的限制。本领域的普通技术人员在本发明的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型。
[0061]
以上本发明的具体实施方式，并不构成对本发明保护范围的限定。任何根据本发明的技术构思所做出的各种其他相应的改变与变形，均应包含在本发明权利要求的保护范围内。

技术特征：

1.一种光谱合束装置，其特征在于，所述光谱合束装置包括激光单元、变换透镜、反射光栅、透射光栅以及外腔镜；所述光谱合束装置以所述透射光栅的法线的利特罗角为光轴，所述激光单元为两个或两个以上，两个或两个以上所述激光单元分别位于所述光轴的两侧；所述外腔镜与所述光轴垂直；所述激光单元输出激光光束，所述激光光束经过所述变换透镜作用，以不同角度入射至所述透射光栅，经过所述透射光栅衍射后再入射至所述反射光栅；所述激光光束经过所述透射光栅和所述反射光栅衍射后，输出至所述外腔镜。2.如权利要求1所述的光谱合束装置，其特征在于，所述变换透镜包括通孔，所述通孔的直径小于等于经过所述透射光栅和所述反射光栅衍射到所述外腔镜的激光光束的直径；所述通孔的中心与所述光轴重合。3.如权利要求1所述的光谱合束装置，其特征在于，所述激光单元的前腔面位于所述变换透镜的前焦面。4.如权利要求1所述的光谱合束装置，其特征在于，所述激光单元的前腔面位于所述变换透镜的一倍焦距范围内，所述光谱合束装置还包括补偿镜，所述补偿镜与所述变换透镜组合形成成像镜，将所述激光单元的前腔面成像到所述外腔镜。5.如权利要求1所述的光谱合束装置，其特征在于，所述反射光栅为一级衍射光栅，所述反射光栅一级衍射效率大于90％，所述反射光栅的衍射偏振方向与所述激光光束的偏振方向匹配。6.如权利要求1所述的光谱合束装置，其特征在于，所述透射光栅为负一级衍射光栅，所述透射光栅的负一级衍射效率大于90％，所述透射光栅的衍射偏振方向与所述激光光束的偏振方向匹配。7.如权利要求1所述的光谱合束装置，其特征在于，两个或两个以上所述激光单元分别输出不同波长的激光光束。8.如权利要求1所述的光谱合束装置，其特征在于，所述激光单元包括激光器件和光学元件，所述光学元件对所述激光器件输出的激光光束进行准直、整形或偏振方向调整中的至少一种，所述激光器件在输出激光光束的端面镀有增透膜；所述激光器件为半导体激光器、光纤激光器或者全固态激光器。9.一种光谱合束方法，其特征在于，所述光谱合束方法通过权利要求1～8任意一项所述的光谱合束装置实现，所述光谱合束方法包括步骤：s1、所述光谱合束装置以所述透射光栅的法线的利特罗角为光轴；所述激光单元为两个或两个以上，所述激光单元位于所述光轴两侧；所述激光单元输出激光光束；s2、所述激光光束经过所述变换透镜作用，以不同角度入射至所述透射光栅，s3、所述激光光栅经过所述透射光栅衍射后，再入射至所述反射光栅进行衍射；s4、所述激光光束经过所述透射光栅和所述反射光栅多次衍射后，输出至所述外腔镜；所述外腔镜与所述光轴垂直。

技术总结

本发明涉及激光技术领域，具体提供一种光谱合束装置及方法，所述光谱合束装置包括激光单元、变换透镜、反射光栅、透射光栅以及外腔镜；所述光谱合束装置以所述透射光栅的法线的利特罗角为光轴，所述激光单元为两个或两个以上，两个或两个以上所述激光单元分别位于所述光轴的两侧；所述外腔镜与所述光轴垂直。本发明的光谱合束装置在不劣化光谱合束光源的前提下，减小光谱合束光源的外形尺寸，使其结构更加紧凑并于实际应用，同时通过结构特点，将外腔镜设计到光谱合束光源中心位置，增加外腔镜的稳定性，进而提升光谱合束光源的可靠性和稳定性。稳定性。稳定性。