抽真空→热蒸发/电子操作→
抽真空
1.关闭进气阀，开冷却水，打开总电源（仪器柜后面与前面） 2.将抽气管子放窗外，打开冷却水报警（鸣叫表示分子泵冷却水未开） 3.开机械泵，电磁阀1，开角阀（先慢后快）
4.开真空计，当真空度高于10帕时，关闭角阀
5.电磁阀2，开插板阀（双手操作），开分子泵
6.当运行分子泵后，真空示数正常下降，关闭真空计
电子系统操作
1.（当真空计读数低于6.7某10-3Pa),开内5开关
2.按扫描键（柜门灯亮，开电子冷却水，水流灯亮，某电流0.8A，Y电流0A）
3.灯丝电源（0.4A，电压60V，预热3至5分钟）
4.束流控制调为手动，打开高压8Kv
5.检查束流是否最小，按手控仪上高压键，稳定2分钟
6.慢慢增加束流（顺时针旋增大，不同金属蒸发束流参数不同，需保存）公交门
7.调节光斑位置（某顺时针向下，Y顺时针向右）
8.打开膜厚仪冷却水，打开膜厚仪，打开样品台挡板
自动扶梯装饰
关闭电子系统过程
1.束流慢慢调到最小，关闭手控仪上高压，关闭8KV开关
2.灯丝电流关闭，关闭扫描键，关闭内5开关
510自动发卡关闭真空系统过程（电子束做完应等待半小时或更长时间才关闭真空）
1.停止分子泵，关闭插板阀，分子泵转速为0，电磁阀中间
2.分子泵停止半小时后，停止机械泵，关闭真空计，关闭总电源（柜门前后），关冷却水
膜厚仪操作（先打开膜厚仪冷却水）
Setting:进入参数设置→移动光标到参数类型（etting只按一次，若多按请继续按etting直到回到“层次”）；↑，↓：更改参数（层次，材料，方式），厚度，密度，声阻抗按数字直接输入；begin:按两次测膜厚；operating：停止镀膜；delete：镀膜结束；再按operating回到基本显示状态热蒸发操作
压缩机操作
1.电源（红把）竖直→关闭；水平→打开
2.气路（0.25MPa）平直→打开；垂直→关闭
旋钮：控制气压大小
注意事项局部镀锡
1.真空度低于0.1Pa，机械泵不能直接打开连通，会造成回油，电离规不能打开
2.电子束结束，束流旋到最小；某/Y振幅最小，某/Y位置不要变化
3.真空计，膜厚仪不需要显示时，及时关闭；真空腔及时关闭，不要让腔体长时间暴露大气
4.分子泵，电子束停止操作后，冷却水继续冷却20分钟左右
5.打开气路，要慢慢操作；电子器件要预热
6.不要把东西丢在真空腔内
7.定期清洁真空室
8.戴口罩，手套，穿实验服操作
紧急断电事项
1.关闭高压部分：关闭手控仪上高压键，关柜8KV，束流调到自动，关灯丝电源，关扫描键
2.关真空系统部分：电磁阀中间，关闭插板阀，关闭分子泵电源，关闭机械泵，关前后总电源
3.学习灭火器灭火
特别提醒
定期检查分子泵，机械泵的油，注意声音水，电，气，门，窗关闭了吗？
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