REV. 2.2
CS系列200-A,C,D型气体质量流量控制器/质量流量计 使 用 手 册
2012.07
目录
控制方式 (18)
1.1 声明...................................................1 3.3 调零 (18)
1.2使用须知............................................2 3.4 软启动.. (18) 1.3安全注意事项....................................2 3.5 延迟 (19)
1.4 概述...................................................3 3.6 阀控制.. (19)
1.5 技术指标...........................................4 3.7 阀类型.. (19)
1.6 标定...................................................5 3.8 多气体多量程.. (19)
1.6.1 标准状况........................................5 3.9 累积流量. (19)
1.6.2 制造环境........................................5 3.10 报警. (20)
1.6.3 精度调节........................................5 3.11 LED指示灯. (20)
第二部分安装第四部分维护
2.1 概述...................................................6 4.1 概述 (20)
翻模机
2.2 打开包装...........................................6 4.2 注意事项. (21)
2.3 机械安装...........................................6 4.2.1介质使用要求 (21)
2.3.1 概述................................................6 4.2.2 阀口密封问题.. (21)
2.3.2 安装................................................11第五部分故障诊断
2.3.2.1 1/4″VCR接头安装方法............11 5.1 初步检查. (21)
2.3.2.2 双卡套接头的安装方法.............12 5.2 故障检查. (21)
2.4 电气安装...........................................12第六部分保证和服务
2.4.1 概述................................................12 6.1 七星电子有限保证 (23)
2.4.2 连接................................................13 6.2 产品保证. (23)
2.4.3 电缆线选型表以及连接示例........15 6.3 服务 (24)
2.5 工作检查...........................................18 6.4 免责声明. (24)
压电陶瓷驱动器
第三部分功能介绍附录Ⅰ (25)
3.1 概述...................................................18附录Ⅱ (28)
MASS FLOW CONTROLLER & MASS FLOW METER
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气体质量流量控制器和质量流量计
使 用 手 册
第一部分 产品说明固态去耦合器
1.1声明
《气体质量流量控制器和质量流量计使用手册》版权属于北京七星华创电子股份有限公司(以下简称“
七星电子”)专有。如无七星电子的书面许可，不得部分或全部影印本使用手册。本手册已经严格审校，但不保证手册中不含错误与遗漏，出版商不承担任何由于错误或遗漏的责任，亦不承担由于使用本手册中的信息所导致的损失的任何责任。
北京七星华创电子股份有限公司
1.2使用须知
尊敬的用户，感谢您购买本公司生产的CS系列气体质量流量控制器/质量流量计产品。
本手册详细叙述了正确、安全使用该系列产品的必要事项。
产品使用者，请务必认真参阅本手册并理解后使用，在使用过程中，请注意带有标志的文字及注意事项中包含的所有内容。
对于未按照使用手册使用造成的财产损失或人身伤害，本公司有权不承担责任。
本手册在您安装、维护及故障维修时必不可少，请妥善留存保管。
1.3安全注意事项
下列注意事项请结合使用手册查看。未按照注意事项进行操作所产生的一切后果本公司不予承担。
a）请勿替换产品零部件或者改动产品
不要替换产品的任何零部件或者对仪器进行任何未授权的改动。在返厂进行重新标定或维修的时候必须保证安全标签完好无损。
b）请联络专业工作人员为您服务
使用时勿擅自更换零部件，任何技术支持都必须由本公司授权的专业技术人员来为您服务。
c）使用危险气体时请特别注意
如果使用危险气体，请做好预防措施，条件允许请完全吹洗仪器。如果危险气体潮湿，须确保潮湿的危险气体不会和仪器以及密封材料产生化学反应。
d）吹洗仪器时特别注意
在从气路上拆卸仪器之前和安装仪器后都要对整个系统进行吹洗，用干燥气体吹洗通道内剩余气体的
残渣。
e）请遵照合适的步骤吹洗
产品必须在通风保护罩下进行吹洗，并且操作人员必须带上手套进行保护。
f）请勿在爆炸性环境下使用本产品
为了避免产生爆炸，不要在爆炸性环境下使用本产品，除非本产品获得有效认证。
g）请使用合适的接头并按照相关的紧固规程来操作
所有仪器的接头都必须和产品说明书上的型号相符，且与仪器所使用的接头相一致且与仪器所使用的接头相配套。拧紧接头的时候请按照产品操作指导说明书来操作。
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h ）请检查产品接头处是否漏气
请仔细的检查所有的零部件接口以确保在安装过后没有漏气。 i ）请使产品在安全入口压力下工作旋流沉砂器
请勿使仪器的入口压力超出最大工作压力（请参阅产品说明书中的最大工作压力） j ）请使整个系统远离污染
系统在运行过程中，请勿使用含有污染物的气体。如气体中含有灰尘、污垢、纤维、玻璃碎片或者铁屑等。
k ）请预热仪器后再使用
印花交联剂请预热后再使用，尤其是危险气体，更加应该注意。请使用绝对关闭的阀以确保在预热过程中不会有错误的流量通过。
模胚1.4概述
气体质量流量控制器（MFC ）和气体质量流量计（MFM ）用于对气体的质量流量进行精密控制和测量。它们在半导体集成电路工艺、特种材料、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的应用场合包括: 集成电路工艺设备, 如外延炉、扩散炉、CVD
、等离子刻蚀机、溅射台、离子注入机; 以及镀膜设备、光纤熔炼设备、微反应装置、混气配气系统、气体取样装置、毛细管测量仪、气相谱仪及其它分析仪器。
CS200-A,C,D 型MFC/ MFM 是七星电子生产的数字型产品，为气体质量流量的控制、测量提供了高准确度及高可靠性。该型产品可同时支持数字信号，0～5V 模拟信号，4～20mA 或0~20mA 模拟信号，可以使用双电源（±8～±16 VDC ）或单电源（+14～+28 VDC ）。支持自动故障报警，多气体多量程等功能。标准开放的通讯协议为客户自行开发控制、采集软件提供便利。提供功能强大的免费客户端上位机软件Digital MFC 。CS200-C 与CS200-D 产品所有与气体接触的表面均为不锈钢金属，其中CS200-C 金属表面符合SEMI 标准的要求。
CS200-A,C,D MFC 默认配置为： MAC 地址：32；
RS485通信波特率:19200； 控制方式：0～5V 电压控制。
更多细节请参考产品附带光盘中的“CS 系列MFC 通讯协议”。
1.5 技术指标
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