一种真空吸附盘的制作方法

1.本实用新型涉及真空吸附装置技术领域，尤其涉及了一种真空吸附盘。

背景技术：

2.在芯片的加工制备过程中，对于芯片、晶圆等的移取、装配等，都不可或缺的用到机械手、真空吸附盘等，可以提高加工效率和移料精准度。
3.在芯片或晶圆的堆叠或加工过程中，如果被真空吸附盘吸附的产品的下方，堆叠产品正好与产品全面相对应，如图6所示，堆叠产品可以对被吸附的产品有个全面完整的向上的支撑力，当真空吸附盘将产品放置于堆叠产品上端面时，即使有真空吸附盘的下压力，也不会对产品造成影响；但如图7所示，当堆叠产片不能完全支撑产品时，即边侧有空隙，位于该部分的产品没有向上的支撑力，在真空吸附盘放置产品时的下压力有可能会导致产品在此处产生碎裂，影响产品的使用。

技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种真空吸附盘，活动式真空吸嘴不会产生过大的下压力，产品边侧不会有碎裂的风险，提高了产品的送料、组装的安全性。
5.为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种真空吸附盘，包括安装架和真空吸嘴，多个所述真空吸嘴呈矩阵状分布于安装架上，且位于最外侧的至少一列真空吸嘴上设有导柱，所述导柱可上下滑移的设置于安装架上的导套内，且多个所述真空吸嘴的下端位于同一水平面内。
6.作为进一步的优化，所述导柱的侧壁上设有至少一个导向条，所述导套的内壁上设有与导向条相匹配的导向槽，所述导向条嵌入导向槽内，保证竖直状态，防止导柱转动。
7.作为进一步的优化，所述导向条和导向槽各具有一对，一对所述导向槽对称的分布于导套的内壁上。
8.作为进一步的优化，所述导向槽的下端处设置有封头，防止导柱滑出导套。
9.作为进一步的优化，所述导柱为圆柱状。
10.作为进一步的优化，所述导柱包括锥头部和圆柱部，所述导套内形成相连通的锥形槽和圆柱槽，所述锥头部嵌入锥形槽内限位导柱下移，通过锥头部雨锥形槽的配合代替封头实现导柱限位。
11.作为进一步的优化，还包括限位组件，所述限位组件包括限位环和导杆，所述限位环设置于安装架上，所述导杆设置于导柱的上端，且向上穿过所述限位环；所述导杆上套设有弹簧，所述弹簧的两端分别与所述限位环的下端和所述导柱的上端相抵接。
12.与现有技术相比，本实用新型具有以下的有益效果：
13.由于活动式真空吸嘴可以在导套内向上滑移，通过活动式真空吸嘴作用的产品部分即便没有堆叠产品的支撑，该产品部分并不会由活动式真空吸嘴产生过大的下压力，不会有碎裂的风险，提高了产品的送料、组装的安全性。
附图说明
14.图1为本实用新型的结构图。
15.图2为本实用新型的导柱安装于活动式真空吸嘴上的结构图。
16.图3为本实用新型的导套的结构图。
17.图4为本实用新型的导套的底部视角的结构图。
18.图5为本实用新型的导柱和导套的另一种实施例的剖视示意图。
19.图6为被吸附产品放置于堆叠产品上时的一种状态图。
20.图7为被吸附产品放置于堆叠产品上时的另一种状态图。
具体实施方式
21.以下是本实用新型的具体实施例并结合附图，对本实用新型的技术方案作进一步的描述，但本实用新型并不限于这些实施例。
22.如图1至2所示，一种真空吸附盘，包括安装架1和真空吸嘴，多个真空吸嘴呈矩阵状分布于安装架上，且位于最外侧的至少一列真空吸嘴上设有导柱，具体为，真空吸嘴包括固定式真空吸嘴20和活动式真空吸嘴30，其中固定式真空吸嘴20上端可以设置固定柱21，安装架上固定有固定环22，将固定柱21安装于固定环22内，从而形成多排固定式真空吸嘴20定位于安装架上，另外，在安装架1的侧方的至少一排设置活动式真空吸嘴30，具体设置方法为，在安装架上设置至少一排（本实用新型中设置一排）导套32，导套32具有中腔320，活动式真空吸嘴30的上端固定有导柱31，导柱31可上下滑移的设置于导套32的中腔320内，即活动式真空吸嘴30并非位置固定的设置于安装架1上，当活动式真空吸嘴30和固定式真空吸嘴20处于非动作竖直状态时，其下端位于同一水平面内。
23.基于上述设置，安装架可以通过多轴机械手或多向运动模组进行转动，可以使得最外侧的活动式真空吸嘴处于产品边缘侧的上方，当真空吸附盘进行吸附动作时，固定式和活动式真空吸嘴抵接于产品上可进行正常吸附，在平稳运送状态下，且在产品重力作用下，活动式真空吸嘴并不会向上移动，当需要将产品放置于堆叠产品上时，此时真空吸附盘会有向下的下压力，被固定式真空吸嘴作用的产品部分，其下方由于有堆叠产品的支撑，可以经受真空吸附盘的下压力，被活动式真空吸嘴作用的产品部分，其下方没有堆叠产品的支撑，但活动式真空吸嘴可以在导套内向上滑移，因此，即便没有堆叠产品的支撑，该产品部分并不会由活动式真空吸嘴产生过大的下压力，不会有碎裂的风险，提高了产品的送料、组装的安全性，提高了产品品质。
24.如图3所示，导柱31为圆柱状，其侧壁上对称的设有一对导向条311，导套32的内壁上设有与导向条311相匹配的导向槽321，导向条311嵌入导向槽321内，可以保证导柱31在导套32内竖直滑移，防止导柱31带动活动式真空吸嘴30转动。
25.如图4所示，在本实用新型中，导向槽321的下端处设置有封头322，可以避免导柱31在导套32中滑出。
26.如图5所示，在本实用新型的另一种实施例中，导柱31包括锥头部3101和圆柱部3102，导套32的中腔320内形成相连通的锥形槽3201和圆柱槽3201，锥头部3101嵌入锥形槽3201内限位导柱31下移，本实施例中，不设置封头结构，而是利用锥头部与锥形槽的设置用于避免导柱在导套中滑出，与之请适应的，活动式真空吸嘴30的上端面会小于锥头部3101
的下端面，如此可允许活动式真空吸嘴向上进入导套内。
27.本实用新型中还包括限位组件，限位组件包括限位环42和导杆41，限位环42设置于安装架1的支架11上，导杆41设置于导柱31的上端，且向上穿过限位环42；导杆41上套设有弹簧43，弹簧43的两端分别与限位环42的下端和导柱31的上端相抵接。
28.在不动作时的竖直状态下，导柱被锥形槽支撑下嵌于导套内，活动式真空吸嘴与固定式真空吸嘴的下端面相平齐，此时的弹簧为不受拉不受压状态，当活动式真空吸嘴吸附产品后放置于堆叠产品上时，即使被活动式真空吸嘴作用的产品部分，其下方没有堆叠产品的支撑，该产品部分所受下压力依然小于固定式真空吸嘴的下压力，亦可以防止产品碎裂。另外，通过弹簧的设置可以保持活动式真空吸嘴的自动复位功能，例如，当机械手带动真空吸附盘不是进行平面内运动，而是多向动作，如反转时，弹簧可以更加有效个促使活动式真空吸嘴复位。
29.本文中所描述的具体实施例仅仅是对本实用新型精神作举例说明。本实用新型所属技术领域的技术人员可以对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，但并不会偏离本实用新型的精神或者超越所附权利要求书所定义的范围。

技术特征：

1.一种真空吸附盘，其特征在于，包括安装架和真空吸嘴，多个所述真空吸嘴呈矩阵状分布于安装架上，且位于最外侧的至少一列真空吸嘴上设有导柱，所述导柱可上下滑移的设置于安装架上的导套内，且多个所述真空吸嘴的下端位于同一水平面内。2.根据权利要求1所述的真空吸附盘，其特征在于，所述导柱的侧壁上设有至少一个导向条，所述导套的内壁上设有与导向条相匹配的导向槽，所述导向条嵌入导向槽内。3.根据权利要求2所述的真空吸附盘，其特征在于，所述导向条和导向槽各具有一对，一对所述导向槽对称的分布于导套的内壁上。4.根据权利要求3所述的真空吸附盘，其特征在于，所述导向槽的下端处设置有封头。5.根据权利要求1至4任意一项所述的真空吸附盘，其特征在于，所述导柱为圆柱状。6.根据权利要求1至3任意一项所述的真空吸附盘，其特征在于，所述导柱包括锥头部和圆柱部，所述导套内形成相连通的锥形槽和圆柱槽，所述锥头部嵌入锥形槽内限位导柱下移。7.根据权利要求6所述的真空吸附盘，其特征在于，还包括限位组件，所述限位组件包括限位环和导杆，所述限位环设置于安装架上，所述导杆设置于导柱的上端，且向上穿过所述限位环；所述导杆上套设有弹簧，所述弹簧的两端分别与所述限位环的下端和所述导柱的上端相抵接。

技术总结

本实用新型公开了一种真空吸附盘，包括安装架和真空吸嘴，多个真空吸嘴呈矩阵状分布于安装架上，且位于最外侧的至少一列真空吸嘴上设有导柱，导柱可上下滑移的设置于安装架上的导套内，且多个真空吸嘴的下端位于同一水平面内。本实用新型活动式真空吸嘴不会产生过大的下压力，产品边侧不会有碎裂的风险，提高了产品的送料、组装的安全性。组装的安全性。组装的安全性。