隐框窗
一、设置
1.连接真空泵电源到插座。
2.连接等离子清洗机电源到插座。
二、排除空气
3.将样品放入舱室内。
4.检查针阀和三通阀是关闭的。（处于垂直位置，如下图）
6.打开真空泵开关。大概几分钟后，舱室处于负压状态，真空状态会让舱门自动关闭。
7.打开气体钢瓶上的阀门，将压力调节在5~10PSI。 二、通入气体
8.打开通向工艺气体的三通阀（针阀为水平位置，如下图）
9.轻轻地打开针阀让气体通入30-60秒。
三、产生等离子体
10.打开清洗机前面板的电源开关。
11.将射频发生器功率开关调至合适的功率。氮封装置
光模块安装
12.通过舱门的玻璃窗观察舱内，当产生辉光放电现象时，证明等离子体已激发。
13.调节针阀直到等离子体明显最大，这大概相当于最佳等离子生成的条件
14.样品处理一定时间，处理结束后，将RF电源旋至OFF。
15.关闭清洗机开关。
车载厨房16.关闭气体钢瓶阀门。
17.用1-3分钟的真空泵抽出残余的工艺气体从舱室。
18.关闭针形阀。
19.关闭真空泵。
无机抗菌剂20.按住等离子清洗机舱门门并慢慢将三通阀打开至排气状态（水平指向排气，如下图）。
21.当舱室排气时，继续按住舱门。当达到常压后，离开舱门。
22.过店客流统计分析关闭三通阀。
23.取出样品
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