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氧化镓-氧化锌系溅射靶、透明导电膜的形成方法及透明导电膜[发明专利]

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纸张阻燃剂专利名称：氧化镓－氧化锌系溅射靶、透明导电膜的形成方法及透明导电膜

专利类型：发明专利

双人雨披发明人：长田幸三

食品可追溯系统申请号：CN200680023378.7

路径规划申请日：20060606

公开号：CN101208452A

公开日：

20080625

专利内容由知识产权出版社提供

摘要：本发明提供一种用于形成透明导电膜的高密度氧化镓－氧化锌系烧结体溅射靶，其特征在于，其含有20～2000质量ppm的氧化锆。在氧化镓(GaO)－氧化锌(ZnO)系溅射靶(GZO系靶)中添加微量的规定元素，可改善其导电性和靶的体积密度，即改善成分组成，可提高烧结密度，抑制结核的形成，防止异常放电及颗粒的发生，在得到这样的靶的同时，本发明还提供一种使用该靶形成透明导电膜的方法及由此形成的透明导电膜。

申请人：日矿金属株式会社

地址：日本东京都

国籍：JP

代理机构：中原信达知识产权代理有限责任公司

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本文发布于:2024-09-22 19:22:34，感谢您对本站的认可！

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