各种镀膜机工作原理介绍

跨栏架各种镀膜机⼯作原理介绍

1．空⼼阴极离⼦镀原理

在本底真空为⾼真空的条件下，由阴极中通⼊氩器⽓（1-10-2）

在阴极与辅助阳极之间加上引弧电压，使氩⽓发⽣辉光放电，在空⼼阴极内产⽣低压等离⼦体放电，阴极温度升⾼到2300-2400K时，由冷阴极放电转为热阴极放电，开始热电⼦发射，放电转为稳定状态。通⼊反应⽓体，可以制化合膜。

2.测控溅射⼯作原理

指路器

先将真空室预抽⾄10-3Pa，然后通⼊⽓体（如氩⽓），⽓压为1-10 Pa时，给靶加负电压，产⽣辉光放电，电⼦在电场正作⽤下加速飞向基⽚时，与氩原⼦碰撞，电离出Ar和另⼀个电⼦；

水帘喷漆房轰击靶材，由⼆次电⼦电离的越来越多，不断轰击靶材；磁场改变电⼦的运动⽅向，以电磁场束缚和延长电⼦的运动轨迹，从⽽提⾼电⼦对⼯作⽓体的电离⼏率。

3.多弧离⼦镀⼯作原理

BLK222

其⼯作原理为冷阴极⾃持弧光放电，其物理基础为场致发射。

被镀材料接阴极，真空室接阳极，真空室抽为⾼真空时，引发电极启动器，接触拉开，此时，阴极与阳极之间形成稳定的电弧放电，阴极表⾯布满飞速游动的阴极斑，部分离⼦对阴极斑的轰击使其变成点蒸发源，以若⼲个电弧蒸发源为核⼼的为多弧离⼦镀。

4.电阻蒸发式镀膜机

膜材即要镀的材料放于蒸发⾈中，置于真空室中，抽到⼀定真空时，通过电阻加热膜材，使其蒸发，当蒸发分⼦的平均⾃由程⼤于蒸发源⾄基⽚的线性尺⼨时，原⼦和分⼦从蒸发源中逸出后，到达基⽚形成膜。为了使膜厚均匀，可以利⽤电机带动基⽚旋转，并⽤膜厚仪控制膜厚，制出优质膜。

5.E型⼯作原理

阴极灯丝加热后发射具有0.3 EV初动能的热电⼦，这些热电⼦在灯丝阴极与阳极之间的电场作⽤下加速并会聚成束状。在电磁线圈的磁场中，电⼦束沿E x B的⽅向偏转，通过阴极时，电⼦的能量提⾼到10KV，通过阳极电⼦偏转270度⾓⽽⼊射坩埚内的膜材表⾯上，轰击膜材使其蒸发。

6.PCVD镀膜⼯作原理

压铸机料筒的设计

将被镀件放在低压辉光放电的阴极上，通⼊适当⽓体，在⼀定温度下，利⽤化学反应和离⼦轰击相结合的过程，在⼯件表⾯获得涂层。

高炉喷煤

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本文发布于:2024-09-23 06:35:08，感谢您对本站的认可！

标签：阴极放电轰击

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