蓝宝石PSS制程技术

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PSS制程技术
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目录
ØPSS概述
ØPSS在LED中的应用
ØPSS在LED中的实现方式ØPSS制程难点及其解决方法Ø总结
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PSS概述
智能断句PSS是Patterned Sapphire Substrate的简称,即图形化蓝宝石基板,此技术可以有效的减少差排密度,还可提升光取出效率.
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PSS在LED中的应用
1.有效的减少差排密度,减少外延生长缺陷,提升外延片品质.
2.改变LED光学路线,提升LED外部量子效应.
PSS在LED中的实现方式
这项技术主要有wet etching和Dry etching 两种实现方式.

本文发布于:2024-09-23 01:25:19,感谢您对本站的认可!

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标签:提升   外延   减少   制程   生长   密度   方式
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