1、设备组成、布置方式及用途说明微调电容
1.1 设备名称：热发射扫描电镜
1.2 数量：一套
1.3 场发射扫描电镜主要由以下部分组成：
①主机：热场发射扫描电镜
②附件：电制冷能谱(EDS)与EBSD一体化系统；离子束镀膜仪；精密切
割机；半自动研磨/抛光机；振动抛光机。
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1.4 推荐布置方式：开放式布置。
1.5. 电镜主要用于材料的微观形貌观察，要求该设备可以直接对导电（金属材料、半导体材料）和不导电的材料（陶瓷、塑料、玻璃等）进行观察，以满足研究近似原始状态下相关样品的观察和分析需求；配上能谱仪，可对材料的微区成分进行定性和定量分析及元素线扫描和面分布分析；配上EBSD，可通 过实时采集背散射电子以及标定背散射电子衍射花样，快速获取逐点的晶体学结构信息，分析研究材料的晶体取向、微观织构及其相关的材料性能等。
1.6. 能通过程序控制实现自动化检测。
2、技术指标要求
2.1. 场发射扫描电镜FESEM
场发射扫描电镜作为最关键部件，要求选用国际知名品牌产品。投标文件应对所选用场发射显微镜品牌、特及技术指标给予详细描述。
2.2．附件：电制冷能谱(EDS)与EBSD一体化系统
该附件为场发射扫描电镜关键附属设备，用于材料的微区结构分析。
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2.3．附件：离子束镀膜仪
功能：适用于不同材质的试样表面喷镀导电层。
主要技术指标：
1. 样品能够快速镀膜，只产生极小的热量；
2. 控制样品旋转和摇摆速率，确保样品镀膜均一；
3. 样品载台适用于各种SEM样品；
4. 配有测膜厚度装置（FTM），能够连续测量沉积速率；
5. 提供多种材质（C、Pt、Au、Cr）的靶材；
6. 隐藏在腔体内的耙材完全与溅射污染物隔离；
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7. 可选配第二个耙材交换仪器即可再增加两个耙材，可在保持真空的情况下极短时间内选择两个可用耙材中任意一个。
2.4．附件：精密切割机
毛刷制作功能：适用于不同材质的试样取样，包括陶瓷，金属，稀土材料，复合材料，生物材料等；能自动完成试样的切割，并有良好的切割效果，试样损伤小；对于失效分析的试样能精确定
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