一、基本操作步骤：
1.块状样品尺寸不宜过大（形状不规则的样品应咨询管理老师如何测试，不能想当然），用铜导电胶；粉末样品，则需碳导电胶带，用牙签制样，尽可能少量，并用洗耳球吹掉粘结不牢的粉末样品；做好样品后，把导电胶带等放入抽屉，并收拾好桌面。 2.测样品时需换鞋，请同学们注意保持实验室卫生。实验完毕后将拖鞋放回鞋架。
3.观察屏幕右下角“Status”栏里的参数是否正常，尤其是Emission Current值是否正常。测试前应在SEM记录本上记录IGP1、IGP2和Emission Current的值。每次实验要在实验记录本上记录：时间，样品名称，数量，测试人姓名，仪器是否正常。 4.未测试前系统处于“Pump”状态（黄），按“Vent”键往样品室充高纯氮气（变黄），约2分钟后“Vent”键变灰可以轻轻缓慢的拉开样品室的门（如果打不开门，马上联系管理人员）。
5.将附有样品的铝台，用洗耳球吹洗干净，并放入。放置样品时切忌对着样品室说话，并且样品室的门不能开着太久，以保证样品室的清洁。（正常的操作：右手握住带有样品的镊子，左手轻轻拉开门，马上把样品放置在支架（Holder）上，并立刻用左手“轻推”，右手扶住门正上端边缘的中间部位，双手配合，以防止门和电镜系统接触时过大的撞击，一直到门和电镜完全接触）
6.放好样品后，轻轻将样品室门推入保证接触，将右手指放在门上接触边缘缝隙处，左手点击“Pump”，当右手指感觉到门缝渐渐变紧时说明泵抽气正常。鼠标左键选中左上窗口，按住鼠标中间滚轮往上拉，样品台会上升，视样品具体情况，控制样品台和极靴之间的距离（Work Distance, WD），Work Distance不能小于6mm。等待操作界面右下角“Chamber Presure”真空优于8*10-3 Pa时，设置好高压和Spot的值，方可点击“High Voltage”加上高压。 7.鼠标左键选择一个成像窗口，点击“||”钮去掉窗口锁定，点击方框钮，选定一个合适大小的区域聚焦和消像散。聚焦：按鼠标右键左右拖动至最清晰的位置。消像散：等聚焦好后，按住Shift键并按下鼠标右键上下左右调至图像最清晰。左手放在小键盘“-，+”键上，以
便及时的放大缩小图像。每次聚焦图像清晰后，都必须点击“Link Z to FWD”按钮，建立Z轴高度与焦距的关联（点击该键后，如果在CCD窗口拉动样品的高度，则在扫描窗口下端任务栏里的WD值随之变化，如果不点击该键，则WD值不懂，无法判断高度；每次聚焦后都必须点击该键）。按“Snapshot”钮拍照（根据需求加大或者减小拍照速度）。将照片存储在support机自己的文件夹下（刚开始点“Save as”时，可能相应很慢，需耐心等待）。F5键切换窗口最大/还原。
8.做完测试后，点击“Vent”等大约2分钟后该按钮从黄变灰，轻轻拉开门取出样品，并关闭门，按Ctrl+0键将Stage移至中心，点击“Pump”。最后做完测试的同志，务必使样品室处于“Pump”状态。 9.一周内至少打扫卫生（拖地、桌面清理、整理工具耗材）一次以上，望同志们主动。
10.实验过程遇到问题，应马上通知管理老师，切忌自行解决。
11.操作STEM：必须熟练使用SEM基础上方可使用。做完STEM后，务必将状态调节到SEM模式。首先，换成mode1，如果该模式是SEM模式，就可以关高压，放气，如果是S伦琴射线管
TEM模式，则先更换成SEM模式，并且确认探头是否为ETD探头（在Detectors 菜单更改）
二、注意事项：
1.制样品时，要保证被放入样品室的样品干燥、清洁，尤其不能附带油性物质，不能用手直接触摸样品或者镊子夹样品端。长时间使用，铝台较脏，则应用乙醇或丙酮超声处理清洗铝台。
2.保证手没有直接碰触放入SEM系统的任何样品、配件（手上油脂影响真空）。
3.灭火每次制样完毕，收拾制样桌面，并把工具和实验耗材放回原处。
4.进入SEM室时，随时关门。
5.拒绝测试磁性样品，如组里必须，则应与管理老师联系，只能使用第一个模式，切忌用第二个模式（该模式下，磁场很强，容易把样品吸到样品的镜筒里面）；且磁性样品制作时，要尽可能的让其粘结牢固，比如粉末样品，用氮吹掉粘结不牢的粉末。
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6.外课题组组成员不能独立使用电镜，如要测试，让其组里成员代测。
7.每个小课题组有SEM操作经验的同学负责培训本课题组新加盟的成员，直到新成员能独立使用SEM，并经过管理人员的考核（如果不合格，管理者应指导学生，直到该学生具备独立操作能力），才可让其独立操作。
8.为了电镜室更加洁净，进电镜室请更换拖鞋。
9.“Vent”后，如果打不开”Chamber”的门，切忌用力拉，应确认是否还有足够的氮气。如果氮气压力不够，联系管理人员，切忌自己操作减压阀。
10.做STEM时，务必带一次性手套，需要适当的固定样品，注意销钉不要太紧，取出样品时，要先松开销钉，再取样品。
11.样品放入chamber后，轻轻推门至接触，应将手指放在接触的缝隙，确保chamber密闭，方可点击“pump”。
12.做好样品，vent后，取出样品，再抽真空（Pump），并把Stage移到正中间，务必确认抽上真空方可离开（点击Pump后，观察无异常后方可离开）。
13.离开前，务必检查水、电、门、窗。
三、特殊情况的处理：
1．电镜控制器（Controller）死机：
a.关闭高压（如果无法控制则进行下一步）；
b.样品室放气（如果无法控制则进行下一步）；
c.关闭Column Control（注意不得在Server界面中左键单击“Shut Down”），退出XT Microscope Server，然后重新进入（如果无法控制则进行下一步）；
d.关闭所有应用软件的窗口后，重新启动电镜控制器（主机）（如果无法控制则进行下一步）；
竖流沉淀池 e.关闭电镜控制器（Controller）并拔下它的电源线，等待10分钟后重新启动电镜控制器并进入Server及UI。
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2．电镜控制器（Controller）硬件故障：
a.按照前述步骤逐步将电镜控制器退出系统；
b.联系报修。
3．误操作致使样品台（或样品）撞上极靴：
a.在SED模式下，手动降下样品台，确认高压已关闭，IGP及Emission Current正常，放气后拉出样品台清洁相关部位，然后重新工作；
b.在STEM或LVD模式下，还要检查探头是否损坏；
c.必要时重新设置全部的Map Point。
4．供电线路有计划停电：
a.短时停电：关闭高压，样品室放气，关闭主显示器，关闭Support PC及其显示器；
b.长时停电：使系统进入Standby状态。
5．工作时突然停电：
a.关闭高压，样品室放气，存储已经得到的图像，关闭Support PC及其显示器，取出样品，关闭主显示器；
b.了解停电情况以决定是否使系统进入Standby状态。
6．Emission Current意外变为零值：
a.注意观看随之出现的相关信息；
b.尽快将灯丝重新点燃。古代蹴鞠用什么做的
四、惩罚措施
1．因不合理操作导致电镜配件或整机故障，则停止该生使用电镜半年（从SEM正常使用开始）。
2．不合理操作SEM，但未直接导致电镜故障，则停止该生使用电镜两周（从不合理操作开始算起，样品由课题组老师代测）或者写“致歉书”，在组会上与该文件一起宣读一遍，态度认真方可通过。
3．其它如最后离开时忘记关灯、忘记关门、或损害喷金设备，如造成损失，视情节轻重给予相应的惩罚（至少严于第2条惩罚措施）。
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