IC设计、制造、封测,看这篇就够了……

IC设计制造、封测,看这篇就够了……
先来看段视频⼤概了解下整个晶圆的制造。
看完了视频我相信⼤家已经初步了解了,接下来就是各个细节的剖析了。
回转顶尖复杂繁琐的芯⽚设计流程
芯⽚制造的过程就如同⽤乐⾼盖房⼦⼀样,先有晶圆作为地基,再层层往上叠的芯⽚制造流程后,就可产出必要的IC芯⽚(这些会在后⾯介绍)。然⽽,没有设计图,拥有再强制造能⼒都没有⽤,因此,建筑师的⾓⾊相当重要。但是IC设计中的建筑师究竟是谁呢?本⽂接下来要针对IC设计做介绍。
在IC⽣产流程中,IC多由专业IC设计公司进⾏规划、设计,像是联发科、⾼通、Intel等知名⼤⼚,都⾃⾏设计各⾃的IC 芯⽚,提供不同规格、效能的芯⽚给下游⼚商选择。因为IC是由各⼚⾃⾏设计,所以IC设计⼗分仰赖⼯程师的技术,⼯程师的素质影响着⼀间企业的价值。然⽽,⼯程师们在设计⼀颗IC芯⽚时,究竟有那些步骤?设计流程可以简单分成如下。
☞设计第⼀步,订定⽬标
在IC设计中,最重要的步骤就是规格制定。这个步骤就像是在设计建筑前,先决定要⼏间房间、浴室,
有什么建筑法规需要遵守,在确定好所有的功能之后在进⾏设计,这样才不⽤再花额外的时间进⾏后续修改。IC设计也需要经过类似的步骤,才能确保设计出来的芯⽚不会有任何差错。
规格制定的第⼀步便是确定IC的⽬的、效能为何,对⼤⽅向做设定。接着是察看有哪些协定要符合,像⽆线⽹卡的芯⽚就需要符合IEEE 802.11等规範,不然,这芯⽚将⽆法和市⾯上的产品相容,使它⽆法和其他设备连线。最后则是确⽴这颗IC的实作⽅法,将不同功能分配成不同的单元,并确⽴不同单元间连结的⽅法,如此便完成规格的制定。
设计完规格后,接着就是设计芯⽚的细节了。这个步骤就像初步记下建筑的规画,将整体轮廓描绘出来,⽅便后续制图。在IC芯⽚中,便是使⽤硬体描述语⾔(HDL)将电路描写出来。常使⽤的HDL有Verilog、VHDL等,藉由程式码便可轻易地将⼀颗IC地功能表达出来。接着就是检查程式功能的正确性并持续修改,直到它满⾜期望的功能为⽌。
▲32 bits加法器的Verilog范例。
☞有了电脑,事情都变得容易
有了完整规画后,接下来便是画出平⾯的设计蓝图。在IC设计中,逻辑合成这个步骤便是将确定⽆误的HDL code,放⼊电⼦设计⾃动化⼯具(EDA tool),让电脑将HDL code转换成逻辑电路,产⽣如下的电路图。之后,反覆的确定此逻辑闸设计图是否符合规格并修改,直到功能正确为⽌。
超微电极
▲控制单元合成后的结果。
最后,将合成完的程式码再放⼊另⼀套EDA tool,进⾏电路布局与绕线(Place And Route)。在经过不断的检测后,便会形成如下的电路图。图中可以看到蓝、红、绿、黄等不同颜⾊,每种不同的颜⾊就代表着⼀张光罩。⾄于光罩究竟要如何运⽤呢?
▲常⽤的演算芯⽚- FFT芯⽚,完成电路布局与绕线的结果。
☞层层光罩,叠起⼀颗芯⽚
⾸先,⽬前已经知道⼀颗IC会产⽣多张的光罩,这些光罩有上下层的分别,每层有各⾃的任务。下图为简单的光罩例⼦,以积体电路中最基本的元件CMOS为範例,CMOS全名为互补式⾦属氧化物半导体(Complementary metal–oxide–semiconductor),也就是将NMOS和PMOS两者做结合,形成CMOS。⾄于什么是⾦属氧化物半导体
oxide–semiconductor),也就是将NMOS和PMOS两者做结合,形成CMOS。⾄于什么是⾦属氧化物半导体(MOS)?这种在芯⽚中⼴泛使⽤的元件⽐较难说明,⼀般读者也较难弄清,在这裡就不多加细究。
下图中,左边就是经过电路布局与绕线后形成的电路图,在前⾯已经知道每种颜⾊便代表⼀张光罩。
右边则是将每张光罩摊开的样⼦。制作是,便由底层开始,依循上⼀篇IC芯⽚的制造中所提的⽅法,逐层制作,最后便会产⽣期望的芯⽚了。
⾄此,对于IC设计应该有初步的了解,整体看来就很清楚IC设计是⼀门⾮常复杂的专业,也多亏了电脑辅助软体的成熟,让IC设计得以加速。IC设计⼚⼗分依赖⼯程师的智慧,这裡所述的每个步骤都有其专门的知识,皆可独⽴成多门专业的课程,像是撰写硬体描述语⾔就不单纯的只需要熟悉程式语⾔,还需要了解逻辑电路是如何运作、如何将所需的演算法转换成程式、合成软体是如何将程式转换成逻辑闸等问题。
其中主要半导体设计公司有英特尔、⾼通、博通、英伟达、美满、赛灵思、Altera、联发科、海思、展讯、中兴微电⼦、华⼤、⼤唐、智芯、敦泰、⼠兰、中星、格科等。
什么是晶圆?
在半导体的新闻中,总是会提到以尺⼨标⽰的晶圆⼚,如8⼨或是12⼨晶圆⼚,然⽽,所谓的晶圆到底是什么东西?其中8⼨指的是什么部分?要产出⼤尺⼨的晶圆制造⼜有什么难度呢?以下将逐步介绍半导体最重要的基础——「晶圆」到底是什么。
晶圆(wafer),是制造各式电脑芯⽚的基础。我们可以将芯⽚制造⽐拟成⽤乐⾼积⽊盖房⼦,藉由⼀
层⼜⼀层的堆叠,完成⾃⼰期望的造型(也就是各式芯⽚)。然⽽,如果没有良好的地基,盖出来的房⼦就会歪来歪去,不合⾃⼰所意,为了做出完美的房⼦,便需要⼀个平稳的基板。对芯⽚制造来说,这个基板就是接下来将描述的晶圆。
(Souse:Flickr/Jonathan Stewart CC BY 2.0)
⾸先,先回想⼀下⼩时候在玩乐⾼积⽊时,积⽊的表⾯都会有⼀个⼀个⼩⼩圆型的凸出物,藉由这个构造,我们可将两块积⽊稳固的叠在⼀起,且不需使⽤胶⽔。芯⽚制造,也是以类似这样的⽅式,将后续添加的原⼦和基板固定在⼀起。因此,我们需要寻表⾯整齐的基板,以满⾜后续制造所需的条件。编织袋颗粒
在固体材料中,有⼀种特殊的晶体结构──单晶(Monocrystalline)。它具有原⼦⼀个接着⼀个紧密排列在⼀起的特性,可以形成⼀个平整的原⼦表层。因此,采⽤单晶做成晶圆,便可以满⾜以上的需求。然⽽,该如何产⽣这样的材料呢,主要有⼆个步骤,分别为纯化以及拉晶,之后便能完成这样的材料。
☞如何制造单晶的晶圆
纯化分成两个阶段,第⼀步是冶⾦级纯化,此⼀过程主要是加⼊碳,以氧化还原的⽅式,将氧化硅转
换成98%以上纯度的硅。⼤部份的⾦属提炼,像是铁或铜等⾦属,皆是采⽤这样的⽅式获得⾜够纯度的⾦属。但是,98%对于芯⽚制造来说依旧不够,仍需要进⼀步提升。因此,将再进⼀步采⽤西门⼦制程(Siemens process)作纯化,如此,将获得半导体制程所需的⾼纯度多晶硅。
▲硅柱制造流程(Source:Wikipedia)
接着,就是拉晶的步骤。⾸先,将前⾯所获得的⾼纯度多晶硅融化,形成液态的硅。之后,以单晶的硅种(seed)和液体表⾯接触,⼀边旋转⼀边缓慢的向上拉起。⾄于为何需要单晶的硅种,是因为硅原⼦排列就和⼈排队⼀样,会需要排头让后来的⼈该如何正确的排列,硅种便是重要的排头,让后来的原⼦知道该如何排队。最后,待离开液⾯的硅原⼦凝固后,排列整齐的单晶硅柱便完成了。
▲单晶硅柱(Souse:Wikipedia)
然⽽,8⼨、12⼨⼜代表什么东西呢?他指的是我们产⽣的晶柱,长得像铅笔笔桿的部分,表⾯经过处理并切成薄圆⽚后的直径。⾄于制造⼤尺⼨晶圆⼜有什么难度呢?如前⾯所说,晶柱的制作过程就像是在做棉花糖⼀样,⼀边旋转⼀边成型。有制作过棉花糖的话,应该都知道要做出⼤⽽且扎实的棉花糖是相当困难的,⽽拉晶的过程也是⼀样,旋转拉起
成型。有制作过棉花糖的话,应该都知道要做出⼤⽽且扎实的棉花糖是相当困难的,⽽拉晶的过程也
是⼀样,旋转拉起的速度以及温度的控制都会影响到晶柱的品质。也因此,尺⼨愈⼤时,拉晶对速度与温度的要求就更⾼,因此要做出⾼品质12⼨晶圆的难度就⽐8⼨晶圆还来得⾼。
只是,⼀整条的硅柱并⽆法做成芯⽚制造的基板,为了产⽣⼀⽚⼀⽚的硅晶圆,接着需要以钻⽯⼑将硅晶柱横向切成圆⽚,圆⽚再经由抛光便可形成芯⽚制造所需的硅晶圆。经过这么多步骤,芯⽚基板的制造便⼤功告成,下⼀步便是堆叠房⼦的步骤,也就是芯⽚制造。⾄于该如何制作芯⽚呢?
车载多媒体☞层层堆叠打造的芯⽚
在介绍过硅晶圆是什么东西后,同时,也知道制造IC芯⽚就像是⽤乐⾼积⽊盖房⼦⼀样,藉由⼀层⼜⼀层的堆叠,创造⾃⼰所期望的造型。然⽽,盖房⼦有相当多的步骤,IC制造也是⼀样,制造IC究竟有哪些步骤?本⽂将将就IC芯⽚制造的流程做介绍。
在开始前,我们要先认识IC芯⽚是什么。IC,全名积体电路(Integrated Circuit),由它的命名可知它是将设计好的电路,以堆叠的⽅式组合起来。藉由这个⽅法,我们可以减少连接电路时所需耗费的⾯积。下图为IC电路的3D图,从图中可以看出它的结构就像房⼦的樑和柱,⼀层⼀层堆叠,这也就是为何会将IC制造⽐拟成盖房⼦。
▲IC芯⽚的3D剖⾯图。(Source:Wikipedia)
从上图中IC芯⽚的3D剖⾯图来看,底部深蓝⾊的部分就是上⼀篇介绍的晶圆,从这张图可以更明确的知道,晶圆基板在芯⽚中扮演的⾓⾊是何等重要。⾄于红⾊以及⼟黄⾊的部分,则是于IC制作时要完成的地⽅。
⾸先,在这裡可以将红⾊的部分⽐拟成⾼楼中的⼀楼⼤厅。⼀楼⼤厅,是⼀栋房⼦的门户,出⼊都由这裡,在掌握交通下通常会有较多的机能性。因此,和其他楼层相⽐,在兴建时会⽐较复杂,需要较多的步骤。在IC电路中,这个⼤厅就是逻辑闸层,它是整颗IC中最重要的部分,藉由将多种逻辑闸组合在⼀起,完成功能齐全的IC芯⽚。
黄⾊的部分,则像是⼀般的楼层。和⼀楼相⽐,不会有太复杂的构造,⽽且每层楼在兴建时也不会有太多变化。这⼀层的⽬的,是将红⾊部分的逻辑闸相连在⼀起。之所以需要这么多层,是因为有太多线路要连结在⼀起,在单层⽆法容纳所有的线路下,就要多叠⼏层来达成这个⽬标了。在这之中,不同层的线路会上下相连以满⾜接线的需求。
☞分层施⼯,逐层架构
知道IC的构造后,接下来要介绍该如何制作。试想⼀下,如果要以油漆喷罐做精细作图时,我们需先割出图形的遮盖板,盖在纸上。接着再将油漆均匀地喷在纸上,待油漆乾后,再将遮板拿开。不断的重复这个步骤后,便可完成整齐且复杂的图形。制造IC就是以类似的⽅式,藉由遮盖的⽅式⼀层⼀层
的堆叠起来。
制作IC时,可以简单分成以上4种步骤。虽然实际制造时,制造的步骤会有差异,使⽤的材料也有所不同,但是⼤体上皆采⽤类似的原理。这个流程和油漆作画有些许不同,IC制造是先涂料再加做遮盖,油漆作画则是先遮盖再作画。以下将介绍各流程。
⾦属溅镀:将欲使⽤的⾦属材料均匀洒在晶圆⽚上,形成⼀薄膜。
涂布光阻:先将光阻材料放在晶圆⽚上,透过光罩(光罩原理留待下次说明),将光束打在不要的部分上,破坏光阻材料结构。接着,再以化学药剂将被破坏的材料洗去。
蚀刻技术:将没有受光阻保护的硅晶圆,以离⼦束蚀刻。
光阻去除:使⽤去光阻液皆剩下的光阻溶解掉,如此便完成⼀次流程。
最后便会在⼀整⽚晶圆上完成很多IC芯⽚,接下来只要将完成的⽅形IC芯⽚剪下,便可送到封装⼚做封装,⾄于封装⼚是什么东西?就要待之后再做说明啰。
▲各种尺⼨晶圆的⽐较。(Source:Wikipedia)
光学增强器守卫
▲各种尺⼨晶圆的⽐较。(Source:Wikipedia)
其中,主要晶圆代⼯⼚有格罗⽅德、三星电⼦、Tower Jazz、Dongbu、美格纳、IBM、富⼠通、英特尔、海⼒⼠、台积电、联电、中芯国际、⼒晶、华虹、德茂、武汉新芯、华微、华⽴、⼒芯
纳⽶制程是什么?
地源热泵系统三星以及台积电在先进半导体制程打得相当⽕热,彼此都想要在晶圆代⼯中抢得先机以争取订单,⼏乎成了14纳⽶与16纳⽶之争,然⽽14纳⽶与16纳⽶这两个数字的究竟意义为何,指的⼜是哪个部位?⽽在缩⼩制程后⼜将来带来什么好处与难题?以下我们将就纳⽶制程做简单的说明。
☞纳⽶到底有多细微?
在开始之前,要先了解纳⽶究竟是什么意思。在数学上,纳⽶是0.000000001公尺,但这是个相当差的例⼦,毕竟我们只看得到⼩数点后有很多个零,却没有实际的感觉。如果以指甲厚度做⽐较的话,或许会⽐较明显。
⽤尺规实际测量的话可以得知指甲的厚度约为0.0001公尺(0.1毫⽶),也就是说试着把⼀⽚指甲的侧⾯切成10万条线,每条线就约等同于1纳⽶,由此可略为想像得到1纳⽶是何等的微⼩了。
知道纳⽶有多⼩之后,还要理解缩⼩制程的⽤意,缩⼩电晶体的最主要⽬的,就是可以在更⼩的芯⽚中塞⼊更多的电晶体,让芯⽚不会因技术提升⽽变得更⼤;其次,可以增加处理器的运算效率;再者,
减少体积也可以降低耗电量;最后,芯⽚体积缩⼩后,更容易塞⼊⾏动装置中,满⾜未来轻薄化的需求。
再回来探究纳⽶制程是什么,以14纳⽶为例,其制程是指在芯⽚中,线最⼩可以做到14纳⽶的尺⼨,下图为传统电晶体的长相,以此作为例⼦。缩⼩电晶体的最主要⽬的就是为了要减少耗电量,然⽽要缩⼩哪个部分才能达到这个⽬的?左下图中的L就是我们期望缩⼩的部分。藉由缩⼩闸极长度,电流可以⽤更短的路径从Drain端到Source端(有兴趣的话可以利⽤Google以MOSFET搜寻,会有更详细的解释)。
(Source:www.slideshare)
此外,电脑是以0和1作运算,要如何以电晶体满⾜这个⽬的呢?做法就是判断电晶体是否有电流流通。当在Gate端(绿⾊的⽅块)做电压供给,电流就会从Drain端到Source端,如果没有供给电压,电流就不会流动,这样就可以表⽰1和0。(⾄于为什么要⽤0和1作判断,有兴趣的话可以去查布林代数,我们是使⽤这个⽅法作成电脑的)
☞尺⼨缩⼩有其物理限制
不过,制程并不能⽆限制的缩⼩,当我们将电晶体缩⼩到20纳⽶左右时,就会遇到量⼦物理中的问题,
让电晶体有漏电的现象,抵销缩⼩L时获得的效益。作为改善⽅式,就是导⼊FinFET(Tri-Gate)这个概念,如右上图。在Intel以前所做的解释中,可以知道藉由导⼊这个技术,能减少因物理现象所导致的漏电现象。
(Source:www.slideshare)
更重要的是,藉由这个⽅法可以增加Gate端和下层的接触⾯积。在传统的做法中(左上图),接触⾯只有⼀个平⾯,但是采⽤FinFET(Tri-Gate)这个技术后,接触⾯将变成⽴体,可以轻易的增加接触⾯积,这样就可以在保持⼀样的接触⾯积下让Source-Drain端变得更⼩,对缩⼩尺⼨有相当⼤的帮助。
最后,则是为什么会有⼈说各⼤⼚进⼊10纳⽶制程将⾯临相当严峻的挑战,主因是1颗原⼦的⼤⼩⼤约为0.1纳⽶,在10纳⽶的情况下,⼀条线只有不到100颗原⼦,在制作上相当困难,⽽且只要有⼀个原⼦的缺陷,像是在制作过程中有原⼦掉出或是有杂质,就会产⽣不知名的现象,影响产品的良率。
如果⽆法想像这个难度,可以做个⼩实验。在桌上⽤100个⼩珠⼦排成⼀个10×10的正⽅形,并且剪裁⼀张纸盖在珠⼦上,接着⽤⼩刷⼦把旁边的的珠⼦刷掉,最后使他形成⼀个10×5的长⽅形。这样就可以知道各⼤⼚所⾯临到的困境,以及达成这个⽬标究竟是多么艰巨。
随着三星以及台积电在近期将完成14纳⽶、16纳⽶FinFET的量产,两者都想争夺Apple下⼀代的iPhone芯⽚代⼯,我
随着三星以及台积电在近期将完成14纳⽶、16纳⽶FinFET的量产,两者都想争夺Apple下⼀代的iPhone芯⽚代⼯,我们将看到相当精彩的商业竞争,同时也将获得更加省电、轻薄的⼿机,要感谢摩尔定律所带来的好处呢。
告诉你什么是封装
经过漫长的流程,从设计到制造,终于获得⼀颗IC芯⽚了。然⽽⼀颗芯⽚相当⼩且薄,如果不在外施加保护,会被轻易的刮伤损坏。此外,因为芯⽚的尺⼨微⼩,如果不⽤⼀个较⼤尺⼨的外壳,将不易以⼈⼯安置在电路板上。因此,本⽂接下来要针对封装加以描述介绍。
⽬前常见的封装有两种,⼀种是电动玩具内常见的,⿊⾊长得像蜈蚣的DIP封装,另⼀为购买盒装CPU时常见的BGA封装。⾄于其他的封装法,还有早期CPU使⽤的PGA(Pin Grid Array;Pin Grid Array)或是DIP的改良版QFP(塑料⽅形扁平封装)等。因为有太多种封装法,以下将对DIP以及BGA封装做介绍。
☞传统封装,历久不衰
⾸先要介绍的是双排直⽴式封装(Dual Inline Package;DIP),从下图可以看到采⽤此封装的IC芯⽚在双排接脚下,看起来会像条⿊⾊蜈蚣,让⼈印象深刻,此封装法为最早采⽤的IC封装技术,具有成本低廉的优势,适合⼩型且不需接太多线的芯⽚。但是,因为⼤多采⽤的是塑料,散热效果较差,⽆法满⾜现⾏⾼速芯⽚的要求。因此,使⽤此封装的,⼤多是历久不衰的芯⽚,如下图中的OP741,或是对运作速度没那么要求且芯⽚较⼩、接孔较少的IC芯⽚。
▲左图的IC芯⽚为OP741,是常见的电压放⼤器。右图为它的剖⾯图,这个封装是以⾦线将芯⽚接到⾦属接脚(Leadframe)。(Source:左图Wikipedia、右图Wikipedia)
⾄于球格阵列(Ball Grid Array,BGA)封装,和DIP相⽐封装体积较⼩,可轻易的放⼊体积较⼩的装置中。此外,因为接脚位在芯⽚下⽅,和DIP相⽐,可容纳更多的⾦属接脚
相当适合需要较多接点的芯⽚。然⽽,采⽤这种封装法成本较⾼且连接的⽅法较复杂,因此⼤多⽤在⾼单价的产品上。 
▲左图为采⽤BGA封装的芯⽚。右图为使⽤覆晶封装的BGA⽰意图。(Source:左图Wikipedia)
☞⾏动装置兴起,新技术跃上舞台
然⽽,使⽤以上这些封装法,会耗费掉相当⼤的体积。像现在的⾏动装置、穿戴装置等,需要相当多
种元件,如果各个元件都独⽴封装,组合起来将耗费⾮常⼤的空间,因此⽬前有两种⽅法,可满⾜缩⼩体积的要求,分别为
SoC(System On Chip)以及SiP(System In Packet)。
在智慧型⼿机刚兴起时,在各⼤财经杂誌上皆可发现SoC这个名词,然⽽SoC究竟是什么东西?简单来说,就是将原本不同功能的IC,整合在⼀颗芯⽚中。藉由这个⽅法,不单可以缩⼩体积,还可以缩⼩不同IC间的距离,提升芯⽚的计算速度。⾄于制作⽅法,便是在IC设计阶段时,将各个不同的IC放在⼀起,再透过先前介绍的设计流程,制作成⼀张光罩。
然⽽,SoC并⾮只有优点,要设计⼀颗SoC需要相当多的技术配合。IC芯⽚各⾃封装时,各有封装外部保护,且IC与IC 间的距离较远,⽐较不会发⽣交互⼲扰的情形。但是,当将所有IC都包装在⼀起时,就是噩梦的开始。IC设计⼚要从原先的单纯设计IC,变成了解并整合各个功能的IC,增加⼯程师的⼯作量。此外,也会遇到很多的状况,像是通讯芯⽚的⾼频讯号可能会影响其他功能的IC等情形。
此外,SoC还需要获得其他⼚商的IP(intellectual property)授权,才能将别⼈设计好的元件放到SoC中。因为制作SoC需要获得整颗IC的设计细节,才能做成完整的光罩,这同时也增加了SoC的设计成本。或许会有⼈质疑何不⾃⼰设计⼀颗就好了呢?因为设计各种IC需要⼤量和该IC相关的知识,只有像Apple这样多⾦的企业,才有预算能从各知名企业挖⾓顶尖⼯程师,以设计⼀颗全新的IC,透过合
作授权还是⽐⾃⾏研发划算多了。
☞折衷⽅案,SiP现⾝
作为替代⽅案,SiP跃上整合芯⽚的舞台。和SoC不同,它是购买各家的IC,在最后⼀次封装这些IC,如此便少了IP授

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