电磁脉冲阀用膜片组件及含有其的电磁脉冲阀的制作方法

1.本发明涉及脉冲阀技术领域，尤其涉及一种电磁脉冲阀用膜片组件及含有其的电磁脉冲阀。

背景技术：

2.如图1所示，电磁脉冲阀100a是脉冲喷吹袋式除尘器清灰气源的发生装置，其与远端的脉冲喷吹控制仪组成清灰喷吹系统。电磁脉冲阀100a外侧套有分气箱200a，电磁脉冲阀100a与连接管的一端连接，连接管的另一端穿过分气箱200a与喷吹管400a的一端连接，喷吹管400a的另一端穿过除尘器箱体600a，喷吹管400a与除尘器箱体 600a之间通过箱壁连接器700a连接。喷吹管400a的底部设有多个喷嘴500a，每个喷嘴500a的正下方分别设有一个滤袋300a，图1中左侧的箭头为含尘气体的进入方向，右侧的箭头为净化气体的出去方向。电磁脉冲阀受远端的脉冲喷吹控制仪输出电信号控制，喷吹压缩气体对滤袋进行清灰，剥离滤袋迎尘面聚集的粉尘，使除尘器在设定的阻力范围内运行，使排放气体中的颗粒达到环境保护的标准。
3.现有电磁脉冲阀100a的结构如图2、图3所示，主要由阀盖119a、阀体118a、主膜片101a组成。阀盖119a、主膜片101a与阀体118a 用第一螺栓116a固定，并由阀体118a上的凸缘用第二螺栓117a与分气箱(气包)200a固定，出气口109a与阀体118a相连。主膜片 101a与阀体118a之间通过第三压缩弹簧115a连接，副膜片104a与阀体118a之间通过第二压缩弹簧114a连接，衔铁110a的外侧套有第一压缩弹簧113a。
4.电磁脉冲阀100a的工作原理如图2所示：主膜片101a把电磁脉冲阀的大气腔分为第一前气室102a和第一后气室103a，副膜片104a 把小气腔分为第二前气室105a和第二后气室106a，当电磁脉冲阀与分气箱200a连接后，压缩气体(图2、3中箭头方向为压缩气体的流动方向)通过第一节流孔107a和第二节流孔108a分别进入第一后气室103a和第二后气室106a，由于第二放气孔111a、第一放气孔112a 都被封堵，第一后气室103a的压力使主膜片101a紧贴出气口109a，电磁脉冲阀100a处于“关闭”状态。
5.远端的脉冲控制仪的电信号给线圈，使淹没式电磁脉冲阀的衔铁 110a移动，第二放气孔111a被打开，第二后气室106a迅速失压，副膜片104a后移，第一放气孔112a被打开，第一后气室103a迅速失压，第一前气室102a的压力使主膜片101a后移，压缩气体通过出气口109a喷吹，电磁脉冲阀100a处于“开启”状态，如图3所示。
6.脉冲喷吹控制仪的电信号消失，淹没式电磁脉冲阀的衔铁110a 复位，第二放气孔111a封堵，副膜片104a前移，第一放气孔112a 被封堵，第一后气室103a压力升高，使主膜片101a紧贴出气口109a，电磁脉冲阀100a处于“关闭”状态，如图2所示。
7.相关技术中，会通过在电磁脉冲内设置传感器等来获知电磁脉冲阀的实时运行状况。例如，专利cn111350864a中的智能电磁脉冲阀在进气口125a处设置湿度传感器，在进气口125a、出气口109a、第一后气室103a、第二后气室106a内设置压力传感器，在线圈上设置温度传感器，在线圈供电电路上设置电信号传感器，通过对各传感器采集的数据进行分析
处理，给出故障诊断结果及预警信号，从而实现对电磁脉冲阀运行状态的实时监控。
8.但本技术发明人在实现本发明技术方案的过程中发现：传统压力、温度等传感器测量精度及响应时间较差，同时，电磁脉冲阀运行状况的切换是由主膜片101a触发，而传统压力及温度等传感器的设置位置距离主膜片101a较远，进一步导致测量精度及响应时间较差。
9.因此，上述现有技术至少存在如下技术问题：现有技术中电磁脉冲阀通过设置传感器来获知运行状态，因传感器测量精度及响应时间较差，使得获取的电磁脉冲阀运行状况准确性不足。

技术实现要素：

10.本技术实施例通过提供一种电磁脉冲阀用膜片组件及含有其的电磁脉冲阀，解决了现有技术中电磁脉冲阀通过设置传感器来获知运行状态，因传感器测量精度及响应时间较差，使得获取的电磁脉冲阀运行状况准确性不足的技术问题。
11.为解决上述技术问题，第一方面，本技术实施例提供了一种电磁脉冲阀用膜片组件，所述膜片组件包括膜片，且所述膜片耦合连接有用于获取监测数据的柔性传感器，其中，所述监测数据用于获取电磁脉冲阀的运行状况。进一步的，所述膜片组件还包括分别设置在所述膜片上下两端面上的第一固定板和第二固定板，其中，所述柔性传感器设置在所述第一固定板或所述第二固定板上。
12.进一步的，所述第二固定板外包覆有软包层，且所述柔性传感器夹设在所述第二固定板与所述软包层之间。
13.进一步的，所述柔性传感器设置在所述第二固定板的下端面和所述软包层之间。
14.进一步的，所述软包层是橡胶在所述第二固定板上硫化形成的包覆层。
15.进一步的，所述第二固定板上开设有用于安装所述柔性传感器的安装槽，所述柔性传感器嵌设在所述安装槽内。
16.进一步的，所述柔性传感器呈环形，所述安装槽是与所述第二固定板同轴设置的环槽。
17.进一步的，所述柔性传感器连接有用于向所述膜片组件外输出所述监测数据的导线，且所述导线的一端与所述柔性传感器信号连接，另一端依次穿过所述第二固定板、所述软包层和所述膜片，并向所述膜片组件外延伸。
18.进一步的，所述第二固定板的下端面上设有用于安装所述导线的导线槽，所述导线槽与所述安装槽连通，且所述导线槽的槽底上开设有供所述导线穿过所述第二固定板的通孔；
19.所述导线嵌设在所述导线槽内，且所述导线的一端与所述柔性传感器相连，另一端穿过导线槽上的通孔、所述软包层和所述膜片并向所述第二固定板外延伸。
20.进一步的，所述监测数据是温度、压力和湿度中的一种或几种的组合，对应的，所述柔性传感器是温度、压力和湿度传感器中的一种或几种的组合。
21.第二方面，本技术实施例提供了一种电磁脉冲阀，所述电磁脉冲阀包括所述的膜片组件。
22.本技术实施例中提供的一个或多个技术方案，至少具有如下技术效果或优点：
23.(1)由于柔性传感器具有灵敏度高、响应快等优点，将柔性传感器用于测量与电磁脉冲阀的运行状况相关的监测数据，灵敏度高且响应快。同时，将柔性传感器耦接于膜片上，由于电磁脉冲阀运行状况的切换是由膜片触发，使得柔性传感器的响应更快、灵敏度更高，有效解决了现有技术中电磁脉冲阀通过设置传感器来获知运行状态，因传感器测量精度及响应时间较差，使得获取的电磁脉冲阀运行状况准确性不足的技术问题，实现了获取的电磁脉冲阀运行状况准确性高的有益效果。
24.(2)膜片容易老化，长期使用后，会出现弹性降低甚至产生龟裂的问题，而膜片是电磁脉冲阀的关键部件，直接影响电磁脉冲阀的性能，因此，及时掌握膜片自身的状态具有重要作用，本技术实施例通过将柔性传感器耦接于膜片上，柔性传感器检测到的压力数据的变化能反映膜片是否出现老化和损坏，柔性传感器检测到的压力、温度、湿度等数据能反映膜片附近的工作环境，从而有助于评估或预测膜片的状态和寿命。
25.(3)柔性传感器夹设在第二固定板与软包层之间，软包层是柔软的，容易因压力变化而形变，第二固定板是硬质的，在电磁脉冲阀内气体压力的变化过程中不易发生形变。柔性传感器一面与柔软的软包层抵触，另一面与坚硬的第二固定板抵触，便于准确测量出电磁脉冲阀内的气体压力，提高了测量的准确性。
26.(4)柔性传感器检测的数据通过导线向电磁脉阀外的远程终端连接，以便于把数据传输给该远程终端，远程终端可以对接收的数据进行分析处理，给出故障诊断结果及预警信号，从而可以实现对电磁脉冲阀运行状态的实时监控和智能排障。
附图说明
27.图1是现有技术中脉冲喷吹袋式除尘器的结构示意图；
28.图2是现有技术中淹没式电磁脉冲阀的结构示意图(关闭)；
29.图3是现有技术中淹没式电磁脉冲阀的结构示意图(开启)；
30.图4是本技术一实施例中一种电磁脉冲阀用膜片组件的结构示意图；
31.图5是本技术一实施例中一种电磁脉冲阀用膜片组件的剖视图。
32.图6是本技术一实施例中一种电磁脉冲阀用膜片组件的安装有柔性传感器的第二固定板的结构示意图；
33.图7是本技术一实施例中一种电磁脉冲阀用膜片组件的第二固定板的结构示意图；
34.图8是本技术一实施例中一种电磁脉冲阀用膜片组件的柔性传感器的结构示意图；
35.图9是本技术一实施例中一种电磁脉冲阀用膜片组件的柔性传感器与第二固定板配合的结构示意图一；
36.图10是本技术一实施例中一种电磁脉冲阀用膜片组件的柔性传感器与第二固定板配合的结构示意图二。
具体实施方式
37.本技术实施例通过提供一种电磁脉冲阀用膜片组件及含有其的电磁脉冲阀，解决了现有技术中电磁脉冲阀通过设置传感器来获知运行状态，因传感器测量精度及响应时间
较差，使得获取的电磁脉冲阀运行状况准确性不足的技术问题。
38.为了解决上述技术问题，本技术提供的技术方案总体思路如下：
39.柔性传感器具有灵敏度高、响应快等优点，将柔性传感器用于测量与电磁脉冲阀的运行状况相关的监测数据，灵敏度高且响应快。同时，将柔性传感器耦接于膜片，由于电磁脉冲阀运行状况的切换是由膜片触发，使得柔性传感器的响应更快、灵敏度更高，有效解决了现有技术中电磁脉冲阀通过设置传感器来获知运行状态，因传感器测量精度及响应时间较差，使得获取的电磁脉冲阀运行状况准确性不足的技术问题，实现了获取的电磁脉冲阀运行状况准确性高的有益效果。
40.另外，所述的膜片为软质材质制作，例如由橡胶材质制作，容易老化，长期使用后，会出现弹性降低甚至产生龟裂的问题，而膜片是电磁脉冲阀的关键部件，直接影响电磁脉冲阀的性能，因此，及时掌握膜片自身的状态具有重要作用。本技术实施例通过将柔性传感器耦接于膜片上，柔性传感器检测到的压力数据的变化能反映膜片是否出现老化和损坏，柔性传感器检测到的压力、温度、湿度等数据能反映膜片附近的工作环境，从而有助于评估或预测膜片的状态和寿命。
41.为了更好的理解上述技术方案，下面将结合说明书附图以及具体的实施方式对上述技术方案进行详细的说明。
42.本技术实施例中的膜片组件用于构建电磁脉冲阀，且用于电磁脉冲阀中进气口与出气口之间的密闭隔离作用，从而使脉冲阀实现开关动作，且本技术实施例中的膜片组件指的是主膜片101。
43.图4是本技术一实施例中一种电磁脉冲阀用膜片组件的结构示意图，图5是本技术一实施例中一种电磁脉冲阀用膜片组件的剖视图。如图4、5所示，所述膜片组件包括膜片212，所述膜片212耦合连接有用于获取监测数据的柔性传感器311，其中，所述监测数据用于获取所述电磁脉冲阀的运行状况。
44.具体的，柔性传感器311是指采用柔性材料制成的传感器，具有良好的柔韧性、延展性、弯折性等，由于材料和结构灵活，柔性传感器311可以根据应用场景任意布置。从感知机理来区分的话，柔性传感器311可以分为柔性电阻式传感器、柔性电容式传感器、柔性压电式传感器和柔性电感式传感器等。
45.在具体的实现上，柔性电阻式传感器一般是在基板上放置电阻层、短路层、柔性触点，以及可采集传感信息的电极，比如柔性电阻式压力传感器一般是在压力的作用下让短路层和电阻层叠合，改变系统电路的阻值，进而得出压力值。和柔性电阻式传感器通过接触面的大小改变阻值进而得出测量数据不同，柔性电容式传感器一般采用基于平行板电容原理的装置，通过改变平板电容器之间的距离来改变传感器的电容。还是以压力传感器为例，通过外界施加压力，平板电容器之间的距离变小，进而得出测量数据。柔性电感式传感器是利用线圈自感或互感系数的变化来实现数据测量。柔性压电式传感器是介电材料沿某一特定方向上受到外界的作用力时，其内部就会发生极化，导致在它的两个相反的表面上会出现相反的电荷，这种差异表现便能够用于测量。
46.柔性传感器311包括基底和导电材料，柔性传感器311采用的都是柔性基底，一般要求材料具备轻薄、透明、可拉伸、可弯曲、耐腐蚀等特点，聚二甲基硅氧烷(pdms)是较为常见的柔性基底材料，不仅具有上述的特点，而且容易获得，且化学性质稳定。
47.柔性传感器311的导电材料，也就是金属材料，主要用于制造电极和导线，一般柔性传感器311不使用普通的金属，而是采用金属的纳米粒子或者纳米线，这种材质具有更好的导电性，且容易实现成薄膜。
48.从用途来区分柔性传感器311，可以分为压力柔性传感器、气体柔性传感器、湿度柔性传感器、温度柔性传感器、应变柔性传感器、磁阻抗柔性传感器和热流量柔性传感器等，当然，用途也可以组合。
49.也就是说，可以根据所需监测数据的种类选择具有对应功能的柔性传感器311，对于本技术实施例来说，所述监测数据是温度、压力、湿度中的一种或几种的组合。例如，在一实施例中，需要压力数据，则采用柔性压力传感器，通过柔性压力传感器测量压力数据的变化反映膜片212动作时的“开度”，从而获取电磁脉冲的运行状态。在另一实施例中，需要压力数据和温度数据，则采用压力、温度柔性传感器测量的压力数据、温度数据反映电磁脉冲的运行状态。
50.需要说明的是，柔性传感器311的相关技术已被广泛的公开，对于柔性传感器311的工作原理以及柔性传感器311的相关设置方式请参考现有技术，这里不再一一赘述。
51.由于柔性传感器311具有灵敏度高、响应快等优点，将柔性传感器311用于测量与电磁脉冲阀的运行状况相关的监测数据，灵敏度高且响应快。同时，将柔性传感器311耦接于膜片212上，由于电磁脉冲阀运行状况的切换是由膜片212触发，使得柔性传感器311的响应更快、灵敏度更高，有效解决了现有技术中电磁脉冲阀通过设置传感器来获知运行状态，因传感器测量精度及响应时间较差，使得获取的电磁脉冲阀运行状况准确性不足的技术问题，实现了获取的电磁脉冲阀运行状况准确性高的有益效果。
52.另外，所述的膜片212为软质材质制作，例如由橡胶材质制作，容易老化，长期使用后，会出现弹性降低甚至产生龟裂的问题，而膜片212是电磁脉冲阀的关键部件，直接影响电磁脉冲阀的性能，因此，及时掌握膜片212自身的状态具有重要作用。本技术实施例通过将柔性传感器311耦接于膜片212上，柔性传感器311检测到的压力数据的变化能反映膜片212是否出现老化和损坏，柔性传感器311检测到的压力、温度、湿度等数据能反映膜片212附近的工作环境，从而有助于评估或预测膜片212的状态和寿命。
53.需要说明的是，根据柔性传感器311采集的监测数据获取电磁脉冲阀的运行状态的方法属于现有技术，也不属于本技术实施例要求保护的范围，在此不再赘叙。
54.在本技术一实施例中，如图4、5所示，所述膜片组件还包括分别设置在所述膜片212上下两端面上的第一固定板211和第二固定板 213，所述柔性传感器311可以设置在所述第一固定板211或所述第二固定板213上。如图2～3所示，电磁脉冲阀处于“开启”时，压缩气体通过出气口109a喷吹，压力很大；电磁脉冲阀处于“关闭”状态，出气口109a断开，压力小。由于所述第二固定板213面向出气口109a，所述柔性传感器311设置在所述第二固定板213上，能及时、准确地获取出气口109a的压力变化，从而准确判断电磁脉冲阀的运行状态，所以，所述柔性传感器311优选设置在所述第二固定板213 上。
55.在本技术一实施例中，所述第二固定板213外包覆有软包层214，且所述柔性传感器311夹设在所述第二固定板213与所述软包层214 之间。
56.具体的，第一固定板211和第二固定板213均为金属板，例如，不锈钢板。所述软包层214是橡胶在所述第二固定板213上硫化形成的包覆层。硫化又称交联、熟化。在橡胶中加
入硫化剂和促进剂等交联助剂，在一定的温度、压力条件下，使线型大分子转变为三维网状结构的过程。由于最早是采用硫磺实现天然橡胶的交联的，故称硫化。需要说明的是，硫化的相关技术已被广泛的公开，对于硫化的相关工艺请参考现有技术，这里不再一一赘述。
57.所述软包层214是柔软的，容易因压力变化而形变。所述第二固定板213是硬质的，在电磁脉冲阀内气体压力的变化过程中不易发生形变。所述柔性传感器311一面与柔软的软包层214抵触，另一面与坚硬的第二固定板213抵触，便于准确测量出电磁脉冲阀内的气体压力，提高了测量的准确性。因此，将柔性传感器311夹设在所述第二固定板213与所述软包层214之间，灵敏度更高、准确性高。
58.在本技术另一实施例中，所述柔性传感器311设置在所述第二固定板213的下端面和所述软包层214之间，所述第二固定板213的下端面直接面向出气口109a，从而能更及时、更准确地获取出气口109a 的压力变化，以更加准确判断电磁脉冲阀的运行状态。
59.进一步的，所述柔性传感器311通过无线连接或有线连接的方式与远程终端通信连接，以向所述远程终端发送所述监测数据。
60.例如，在本技术一实施中，所述柔性传感器311通过微波传输或网络传输实现与远程终端的无线连接。
61.又例如，在本技术另一实施中，所述柔性传感器311通过有线连接的方式与远程终端相连，具体如下：如图8所示，所述柔性传感器 311连接有用于向远程终端发送所述监测数据的导线312。所述导线 312的一端与所述柔性传感器311信号连接，所述导线312的另一端依次穿过所述第二固定板213、软包层214和膜片212，并向所述膜片组件外延伸，以用于与所述远程终端相连，从而所述柔性传感器 311通过导线312向所述远程终端发送所述监测数据。
62.在某些实施方式中，所述柔性传感器311与所述远程终端之间还连接有转接器，该转接器用于对所述监测数据进行模数转换和调理等处理，则柔性传感器311通过导线312直接与转接器连接。此时，柔性传感器311将检测的数据先发送给转换器，然后经转换器处理后再发送给远程终端。远程终端设置在电磁脉冲阀外，转接器可以设置在电磁脉冲阀内，也可以设置在电磁脉冲阀外。需要说明的是，对监测数据进行模数转换和调理等处理的转换器的相关技术已被广泛的公开，对于转换器的工作原理以及相关设置方式请参考现有技术，这里不再一一赘述另外，该远程终端可以是工控机(例如嵌入式系统)、个人计算机、笔记本电脑、智能手机、平板电脑、物联网设备和便携式可穿戴设备，其中：物联网设备可为智能音箱、智能电视、智能空调、智能车载设备等；便携式可穿戴设备可为智能手表、智能手环、头戴设备等。
63.进一步的，如图7所示，所述第二固定板213上开设有用于安装所述柔性传感器311的安装槽217，且所述第二固定板213的下端面上设有安装所述导线312的导线槽215，且所述导线槽215的槽底设有供导线312穿过的通孔216。所述柔性传感器311设置在所述安装槽217内，所述导线312的一端与所述柔性传感器311相连，另一端穿过导线槽215上的通孔216，并向所述第二固定板213外延伸，如图5、6、9、10。
64.具体的，所述柔性传感器311嵌设在所述安装槽217内，一侧的导线312沿着所述导线槽延伸并穿过所述导线槽215。例如，在本技术一实施例，所述第一固定板211、所述第二固定板213是与所述膜片212同轴设置的圆形板，所述安装槽217是同轴开设在所述第二固
定板213上的环槽，所述柔性传感器311是与所述环槽相配合的环形状。所述导线槽215沿所述第二固定板213的其中一虚拟直径方向延伸，且所述导线槽215槽底靠近所述第二固定板213中心的一端设有所述通孔216，导线312沿着所述导线槽215延伸并穿过所述导线槽 215上的通孔216，从而穿过所述第二固定板213。
65.应当理解的是，虽然在这里可能使用量术语“第一”、“第二”等等来描述各个单元，但是这些单元不应当受这些术语限制。使用这些术语仅仅是为了将一个单元与另一个单元进行区分。举例来说，在不背离示例性实施例的范围的情况下，第一单元可以被称为第二单元，并且类似地第二单元可以被称为第一单元。
66.在本说明书中提到或者可能提到的外、中间、内等方位用语是相对于各附图中所示的构造进行定义的，它们是相对的概念，因此有可能会根据其所处不同位置、不同使用状态而进行相应地变化。所以，也不应当将这些或者其他的方位用语解释为限制性用语。
67.以上所述，仅为本技术的较佳实施例，并非对本技术任何形式上和实质上的限制，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员，在不脱离本技术方法的前提下，还将可以做出若干改进和补充，这些改进和补充也应视为本发明的保护范围。凡熟悉本专业的技术人员，在不脱离本技术的精神和范围的情况下，当可利用以上所揭示的技术内容而做出的些许更动、修饰与演变的等同变化，均为本技术的等效实施例；同时，凡依据本技术的实质技术对上述实施例所作的任何等同变化的更动、修饰与演变，均仍属于本技术的技术方案的范围内。

技术特征：

1.一种电磁脉冲阀用膜片组件，其特征在于，所述膜片组件包括膜片，且所述膜片耦合连接有用于获取监测数据的柔性传感器，其中，所述监测数据用于获取电磁脉冲阀的运行状况。2.如权利要求1所述的一种电磁脉冲阀用膜片组件，其特征在于，所述膜片组件还包括分别设置在所述膜片上下两端面上的第一固定板和第二固定板，其中，所述柔性传感器设置在所述第一固定板或所述第二固定板上。3.如权利要求2所述的一种电磁脉冲阀用膜片组件，其特征在于，所述第二固定板外包覆有软包层，且所述柔性传感器夹设在所述第二固定板与所述软包层之间。4.如权利要求3所述的一种电磁脉冲阀用膜片组件，其特征在于，所述柔性传感器设置在所述第二固定板的下端面和所述软包层之间。5.如权利要求3或4所述的一种电磁脉冲阀用膜片组件，其特征在于，所述软包层是橡胶在所述第二固定板上硫化形成的包覆层。6.如权利要求5所述的一种电磁脉冲阀用膜片组件，其特征在于，所述第二固定板上开设有用于安装所述柔性传感器的安装槽，所述柔性传感器嵌设在所述安装槽内。7.如权利要求6所述的一种电磁脉冲阀用膜片组件，其特征在于，所述柔性传感器呈环形，所述安装槽是与所述第二固定板同轴设置的环槽。8.如权利要求6所述的一种电磁脉冲阀用膜片组件，其特征在于，所述柔性传感器连接有用于向所述膜片组件外输出所述监测数据的导线，且所述导线的一端与所述柔性传感器信号连接，另一端依次穿过所述第二固定板、所述软包层和所述膜片，并向所述膜片组件外延伸。9.如权利要求8所述的一种电磁脉冲阀用膜片组件，其特征在于，所述第二固定板的下端面上设有用于安装所述导线的导线槽，所述导线槽与所述安装槽连通，且所述导线槽的槽底上开设有供所述导线穿过所述第二固定板的通孔；所述导线嵌设在所述导线槽内，且所述导线的一端与所述柔性传感器相连，另一端穿过导线槽上的通孔、所述软包层和所述膜片并向所述第二固定板外延伸。10.一种电磁脉冲阀，其特征在于，所述电磁脉冲阀包括如权利要求1～9任一项所述的膜片组件。

技术总结

本发明公开了一种电磁脉冲阀用膜片组件及含有其的电磁脉冲阀，所述膜片组件包括膜片，所述膜片耦合连接有用于获取监测数据的柔性传感器，其中，所述监测数据用于获取电磁脉冲阀的运行状况。由于柔性传感器具有灵敏度高、响应快等优点，将柔性传感器用于测量与电磁脉冲阀的运行状况相关的监测数据，灵敏度高且响应快。同时，将柔性传感器耦接于膜片上，由于电磁脉冲阀运行状况的切换是由膜片触发，使得柔性传感器的响应更快、灵敏度更高，有效解决了现有技术中电磁脉冲阀通过设置传感器来获知运行状态，因传感器测量精度及响应时间较差，使得获取的电磁脉冲阀运行状况准确性不足的技术问题，实现了获取的电磁脉冲阀运行状况准确性高的有益效果。准确性高的有益效果。准确性高的有益效果。