20150701-阻焊直接成像曝光机(Screen)验收报告V1.0

阻焊直接成像曝光机(Screen)验收报告

一、验收目的：

检验设备的各项指标是否达到规格书要求，并评估设备工艺能力及产品品质是否达到我司要求。

二、验收信息：

序号	项目	信息说明	备注
1	型号	Screen LI-5F-M曝光机与威志传送设备
2	供应商	Screen(网屏)、威志
3	用途	阻焊曝光
4	验收数量	1
5	使用厂区/部门/工序	ICS/工艺部/阻焊
6	设备负责人	甘斌、曾祥敏
7	验收人	王锋锋、刘成勇
8	验收时间	2015.6.22—2015.7.3

三、验收项目及结果：

项目 Item		验收标准 Aceeptance Standard	汽车水箱除垢剂结果	备注
机体结构	机体完整性	机体完整，表面无划痕，损伤，各部件可正常运行	OK	传送设备不锈钢表面未抛光处理
	基本规格	1.Passline:960±30mm 2.设备尺寸：符合规格书设计要求 3.运行方向（以操作面看）：从右到左 4.传送尺寸：415×510mm标准	OK
	传送系统	1.各马达符合类型、数量和规格符合规格书要求 2.马达运行平稳 3.马达皮带(链条)转动正常 4.与板接触部位材质符合要求 5.各搬送部运行稳定，夹持无异常，无异常噪声	待改善	翻板机为皮带；传送滚轮间距较大；收放板机吸板不平整；放板后吸嘴会粘板（7/25）
	电气系统	1.马达电流正确 2.接线正确无误,并标示正确 3.接线柱稳定无松动 4.线槽稳固良好 5.控制箱清洁良好 6.入板电眼调试正常 7.电源规格符合我司要求 8.电控柜需要有调温装置	OK
	控制系统	1.运行正常，软件系统至少包括中文 2.电脑设有断电缓冲（UPS）装置 3.各控制项目符合要求 4.参数有分级修改权限设定 5.预留收放板机自动控制端口	待改善	转换文件软件CU-9000无设置页为英文，无中文;曝光机无分级修改权限设定；NG产品暂存机无NG暂存功能（7/25）
	机台运行	1.曝光机，冷却机，温调机等各部运行正常，无异常噪声或者故障 2.开机试运行，抽真空后观察真空度数值是否达标	待确认	验收期间“主机冷却”常出现黄警报，未知原因；目前正常产品在High模式下真空值约-5kpa。（7/25）
	机体温、湿度控制	1. 温度控制精度：±1℃ 2. 湿度控制精度：±5%	OK	曝光机内部温度约25℃
	机体灰尘控制	尼龙电线洁净度≤100级		洁净度按1000级控制
	警报指示	1.故障报警正常 2.报警指示灯正确 3.各种保护、报警、急停等辅助装置可以正常使用 4.做各种违规等操作验证报警功能是否有效 5.按急停键验证能否实现急停功能 6.设备，控制箱，线路等标牌粘贴正确 7.异常情况、生产记录等自动存储功能，保存期限≥6个月	待改善	曝光主机无报警指示灯；抓板手臂在非指定区域可下降；
	其他项目	此表中未涉及的项目依设备规格书逐项检查	待确认
能力与品质	传送能力	1.卡板，掉板，板折等导致的过板失败率＜0.3% 2.出板产品无损伤、无杂物、无褶皱、无迹印、无翘曲	待确认	有吸嘴印迹
	防翘曲能力	水平放置前后翘曲≤6mm情况的板能顺利运行，未出现掉板、折板、卡板等，产品生产时不会出现曝光不良现象	待改善	板边翘曲情况下无法正常对位（7/25）
	产能	产能满足：≥5000m2/month
	最小开窗	1.最小SRO能力：50±5um 2.铜上及基材上阻焊undercut or foot：≤5um 3.开窗形态良好	OK
	能量均匀性	1.开窗大小：250±5um (245~255um) 2.均匀性≥95%	OK
	阻焊桥	1.≥50um 2.无发白、桥弯、掉桥等	OK
	台面印记	无台面印记、凹坑、吸盘印等	待改善	产品图形内有吸盘印
	曝光条纹	无明显曝光过度线条、曝光不良条纹等（依据Taiyo datasheet中能级要求，最高曝光能量均可满足要求）	OK	有轻微曝光条纹
	位置精度	要求3σ≤10um，cpk≥1.33 1.玻璃底片检查测试，1年/次--提供测试报告给FP,OK 2.定期校准检查，每季度/次--提供校准报告给FP 3.实际图形测试结果满足验收标准（铜面阻焊厚度25±10um，SRO以200um，300um为考察对象，测量位置：45Points/Panel）	待确认	尚未提供校准报告
	重复精度	要求3σ≤5um，cpk≥1.33 1.玻璃底片检查测试，1年/次--提供测试报告给FP 2.定期校准检查，每季度/次--提供校准报告给FP 3.实际图形测试方法及结果满足验收标准（铜面阻焊厚度25±10um，SRO以200um，300um为考察对象，测量位置：45Points/Panel）	待确认	尚未提供校准报告
	Offset区域	要求重合部分≤2um,肉眼观察无明显曝光过度线条	待确认
	油墨适应性	至少可以对应taiyo所有IC载板类型油墨（包括湿膜和干膜阻焊）	OK	评估测试AUS308、AUS320、AUS410、EG23、AQ4086，与ORC设备相比，更容易出现台面印迹问题（通过堵部分吸气孔改善）
	文件格式兼容性	至少可以支持Gerber和ODB++格式的文件	OK	支持gerber、ODB++格式文件，但目前板边设计需作变更

设备与服务	拆箱	1.机台外观无损坏； 2.设备无明显划伤；	OK
	部品点收	依清单内容，点收各部件，各部件规格以及物品与清单内容相符；	OK
	常规漏电检查	无漏电；	OK
	易耗品清单以及寿命	提供说明书（中文1本、原版2本无尘纸、英文1本）	待确认
	软件要求	随机的PC内用的软件必须正版	OK
	设备安装	提供设备安装计划书	OK
设备可靠性	MTBF	MTBF(Mean Time Between Failures)≥1000hrs； (一个月后稳定生产）	待确认
设备可靠性	石蜡乳液MTTR	MTTR（Mean Time To Repair）≤2hrs； (一个月后稳定生产）	待确认

四、验收结论：

目前（7/27）确认主要存在问题：

1.传送装置的导轨、丝杠位于曝光台面正上方，导轨上油与灰尘易掉落污染产品；

2.吸嘴排气在曝光机内部，易导致异物增多；对于薄板，吸板板面不平。

3.传送设备运转过程中停止时，需重新启动时操作步骤繁琐，需打开安全门手取板出来。

4.气源停止时，手臂会自动下降，存在损坏产品与设备的可能。

5.滚轮传送速度无数值显示。

6.暂存机感应器不稳定。

7.放板时，吸嘴会有粘板，导致板有移动，最终无法正常对位；

8.板边翘曲时，对位图像模糊，无法正常对位；

9.暂存机在“NG暂存”模式下不能实现NG暂存功能；干衣柜

10.曝光主机警报清除需消耗很长时间；

11.设置曝光N块板时，第N块板在台面上不会被自动移走。

12.自动运行模式下，无法手动对曝光数据进行强制结束，必须需要等到出现“是否等待”提示框后，才能将数据停止。

13.定位查询模式时，顺时针调节角度过大，会在曝光过程中出现警报。

14.需要调整板尺寸才能让对位点进入CCD镜头区域。

在问题改善前，无法用于生产。

五、附件：

5.1、机体温、湿度控制

5.1.1、验收标准：

(1)温度控制精度：±1℃

(2)湿度控制精度：±5%

5.1.2、验收方法：

(1)利用空气温度计测量机体内部温度数值，在一天内，间隔测量30次

(2)利用湿度计测量机体内部湿度数值，在一天内，间隔测量30次

5.1.3、测试条件

曝光机外部温度：22±2℃；湿度：50±5%

5.1.4、测试结果：

5.2、机体灰尘控制

5.2.1、验收标准

洁净度≤100级

5.2.2、验收方法

启动机器，利用洁净度测试仪测量机体内部尘埃粒子数量

5.2.3、测试条件

5.2.4、测试结果

5.3、传送能力测试

5.3.1、验收标准

(1).卡板，掉板，板折等导致的过板失败率＜0.3%

(2).出板产品无损伤、无杂物、无褶皱、无迹印、无翘曲

5.3.2、验收方法

(1)CCL（0.040mm基材+2μm*2铜）连续过板；

（2）图形板（0.040mm基材+10μm*2铜）连续过板。

板尺寸：415mm*510mm

5.3.3、测试条件

感应门制作5.3.4、测试结果

图形板测试OK，CCL尚未确认。

5.4、防翘曲能力测试

5.4.1、验收标准

水平放置前后翘曲≤6mm情况的板能顺利运行，未出现掉板、折板、卡板等，产品生产时不会出现曝光不良现象

5.4.2、验收方法

尺寸415×510mm，板厚0.044mm-2.0mm，用不同翘曲程度的板，进行过板测试。

5.4.3、测试条件

5.4.4、测试结果

5.5、设备产能

5.5.1、验收标准

产能满足：≥5000m2/month

5.5.2、验收方法

计算方法：产能（m2/月）=3600（sec/小时）×22（小时/天）×26（天/月）×0.21（m2/pnl）÷tact time(sec/pnl)

5.5.3、测试条件

在设定的曝光能量条件下正常进行4点对位曝光。

5.5.4、测试结果

油墨/干膜型号	曝光能量	Tact time(sec/pnl)	产能
AUS308	260mj/cm²	81sec
AUS320 空调架	300mj/cm²	82sec
AUS410	220 mj/cm²	74sec
EG23	220mj/cm²	74sec
AQ4086	30mj/cm²	41sec