硅芯拉制操作规程10-0531

文件编号：XX-XX-XX.00

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ReneSola Ltd

硅芯拉制岗位操作规程

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编制：	鲜洪
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内控部审核：
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本管理文件修订历史信息：

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最新更新日期:	2010-6-6
最新更新作者:	鲜洪
原始编撰人	鲜洪
批准人

历史版本	更新日期	修订者	批准人	主要修订摘要






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1 目的 4

2 适用范围 4

3 名词解释 4

3.1 硅芯料 4

3.2 硅芯 4

3.3 硅芯大头 4

3.4 籽晶 4

4 基本资源 4

4.1 人力资源 4

4.2 设备资源及控制参数 4

5 质量指标 5

5.1 生产材料质量指标 5

5.2 晶粒度检测产成品质量指标 6

6 生产原理及工艺流程方框图 6

6.1 生产原理 6

6.2 工艺流程方框图 6

6.3 工艺流程说明 6

7 拉制过程控制 6

7.1 装炉前的准备 6

7.2 装炉 7

7.3 拉制 7

8 停炉取硅芯 9

9 停车 9

10 拉制硅芯的一般事故处理 9

10.1 停电 9

10.2 停循环冷却水 9

10.3 停氩气 10

11 引用资料 10

12 生产报表样式 10

1
目的

指导四川瑞能硅材料责任有限公司后处理车间硅芯拉制岗位硅芯炉的使用说明以及硅芯生产的工艺流程。

2 适用范围

本操作规程适用于四川瑞能硅材料责任有限公司后处理车间硅芯拉制岗位基座区熔拉制法制备三氯氢硅氢气还原用多晶硅硅芯种子。

3 名词解释

3.1 硅芯料

硅芯料：本公司还原炉生长出来的直径均匀在29~47之间表面平整的硅棒，经加工、腐蚀清洗后用于区熔拉制硅芯的原材料。

3.2 硅芯

硅芯：直径均匀在8-10mm之间长度为2600mm一端有“大头”的圆柱状多晶硅晶体，用于三氯氢硅氢气还原法生产多晶硅时还原炉内沉积多晶硅的载体。

3.3 硅芯大头

硅芯大头：直径大于16mm长度在20~25mm之间生长于硅芯一端的圆柱状多晶硅晶体，成品时加工成“U”型，用于还原炉内搭接“П”型桥架时放置硅芯横梁。

3.4 籽晶

籽晶：取至于硅芯的一段长度分两类，一类长度在80mm左右，在硅芯拉制的开始阶段用于硅芯料预热和硅芯的引晶。另一类长度在50mm左右，为拉制一炉硅芯的第二至第四根

硅芯引晶用。

4 基本资源

4.1 人力资源

上岗操作人员应具有高中或中专及以上学历，经公司安全和专业技能培训并经考试合格方可上岗。

4.2 设备资源及控制参数

4.2.1 设备资源

设备资源：GX31E型硅芯炉30台

4.2.2 设备主要参数

设备主要控制参数

上轴有效行程	3100mm
上轴快速升/降	0∽600mm/min,1200mm/min 两档
上轴慢速升/降	0∽30mm/min
下轴有效行程	550mm
下轴慢速升/降	0.2∽5mm/min
下轴快速升/降	0∽50mm/min,200mm/min 两档
下轴转速	30rpm

设备主要技术参数

加热电源电压	3相380V
高频感应加热振荡频率	双合金螺杆2.2±0.2MHZ
最大振荡功率	60KV
生产能力	4根/炉次
开炉真空度	≤3Pa
循环冷却水压力	0.13∽0.18MPa
循环冷却水流量	8T/h
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5 质量指标

5.1 生产材料质量指标

5.1.1 硅芯料质量指标

主要电学参数Ω.cm	以本公司分析检测中心实际检测、分类结果为准
直径mm	29∽47	还原炉号硅棒批号
长度mm	见附件2	还原炉号硅棒批号

说明：

1 把同N型号的籽晶按电阻率高低分类，拉低阻硅芯时用低阻籽晶，拉高阻硅芯时用高阻籽晶

2 硅芯料选用无氧化夹层和孔洞，直径均匀，表面平整的多晶硅棒。

3 电学参数以本公司分析检测中心实际检测、分类结果为准。

5.1.2 氩气质量指标

氩气：纯度≥99.999% 总碳含量≦2ppm 氢含量≦1ppm 氧及氧化物含量≦2ppm 氮含量≦50ppm 水含量≦4ppm

5.1.3 炉膛檫洗试剂

无水乙醇（优级纯及更高）丙酮（优级纯及更高）

5.2 产成品质量指标

5.2.1 硅芯质量指标

主要电学参数Ω.cm	以本公司分析检测中心实际检测、分类结果为准
直径mm	119b8∽10	硅芯料批号生产拉制编号
长度mm	2600	硅芯料批号生产拉制编号