反应腔体门盖组件及镀膜设备的制作方法

1.本技术涉及机械设备技术领域，特别是涉及一种反应腔体门盖组件及镀膜设备。

背景技术：

2.目前的原子层沉积(atomic layer deposition，ald)反应腔体门盖中，连接轴设置在封闭门上，喷淋板设置在连接轴上。对喷淋板拆装时，需要封闭门先取下，再从喷淋板一侧工作，拆卸复杂。

技术实现要素：

3.有鉴于此，本技术主要解决的技术问题是提供一种反应腔体门盖组件及镀膜设备，能够简化对喷淋板的拆卸。
4.为解决上述技术问题，本技术采用的一个技术方案是：一种反应腔体门盖组件，包括盖体、喷淋板、连接轴。盖体上设置有通孔。连接轴用于装配喷淋板。连接轴的一端设置固定部。连接轴通过通孔可拆卸固定于盖体，且能够从盖体背对喷淋板一侧利用通孔进行拆卸。
5.本技术的一些实施例中，反应腔体门盖组件包括固定件。固定件从盖体的背对喷淋板的一侧穿过通孔，并与连接轴的固定部连接，以将连接轴固定于盖体。
6.本技术的一些实施例中，固定部为圆柱体凸台。
7.本技术的一些实施例中，固定件为螺栓。固定部的朝向盖体一端端面设置有螺纹孔。
8.本技术的一些实施例中，通孔的数量为四个，均匀分布于盖体上。
9.本技术的一些实施例中，盖体背对喷淋板的一侧的通孔区域设有凹槽，通孔位于凹槽底部。反应腔体门盖组件包括盖板，盖板用于遮盖凹槽。
10.本技术的一些实施例中，反应腔体门盖组件包括密封件。密封件围绕盖体边缘设置。
11.本技术的一些实施例中，密封件为多个，密封件围绕通孔并设置于凹槽内。
12.本技术的一些实施例中，喷淋板具有滑孔。连接轴穿过滑孔，与喷淋板滑动连接。反应腔体门盖组件包括弹性件。弹性件设置于盖体与喷淋板之间。
13.本技术的一些实施例中，反应腔体门盖组件包括隔热板。隔热板具有避让孔，连接轴穿过避让孔，隔热板设置于喷淋板与盖体之间。
14.为解决上述技术问题，本技术采用的一个技术方案是提供一种镀膜设备，包括上述任一实施例中反应腔体门盖组件和壳体。壳体的一端具有开口。盖体可选择地闭合壳体的开口，且喷淋板位于开口内侧。
15.本技术的有益效果是：反应腔体门盖组件包括盖体、喷淋板、连接轴。盖体上设置有通孔。连接轴用于装配喷淋板。连接轴的一端设置固定部。连接轴通过通孔可拆卸固定于盖体一侧，且能够从盖体背对喷淋板一侧利用通孔进行拆卸。本技术无需先取下盖体，可直
接从盖体背对喷淋板一侧进行拆卸，简化了对喷淋板的拆卸流程。
附图说明
16.为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。其中：
17.图1是本技术反应腔体门盖组件一实施例的主视图；
18.图2是本技术反应腔体门盖组件一实施例的左视图。
具体实施方式
19.为使本技术的上述目的、特征和优点能够更为明显易懂，下面结合附图，对本技术的具体实施方式做详细的说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅用于解释本技术，而非对本技术的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本技术相关的部分而非全部结构。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。
20.请参阅图1和图2。图1是本技术反应腔体门盖组件一实施例的主视图，图2是本技术反应腔体门盖组件一实施例的左视图。
21.在一些实施例中，反应腔体门盖组件包括盖体10、喷淋板20、连接轴30。盖体10上设置有通孔11。连接轴30用于装配喷淋板20。连接轴30的一端设置固定部45。连接轴30通过通孔11可拆卸固定于盖体10，且能够从盖体10背对喷淋板20一侧利用通孔11进行拆卸。
22.在一些实施例中，产品在反应腔体内进行加工，盖体10用于将反应腔体闭合，以使得反应腔体形成密闭的空间。喷淋板20上具有喷淋孔。喷淋板20与气体管路连通后，气体管路内的气体通过喷淋孔均匀地输入反应腔体内。
23.通孔11的形状与大小可以根据实际情况进行设置。示例性地，通孔11为圆孔。
24.在一些实施例中，连接轴30直接插入通孔11，并与盖体10固定。示例性地，连接轴30的固定部45与通孔11具有互相配合的螺纹。连接轴30的固定部45通过转动，与盖体10固定。连接轴30的另一端与喷淋板20固定，以使得喷淋板20固定于盖体10上。在固定部45背对喷淋板20一端的端面内具有内六角凹槽，用户可以在盖体10背对喷淋板20一侧，通过通孔11对固定部45进行拧松，使得连接轴30与盖体10分离。
25.在一些实施例中，反应腔体门盖组件包括固定件40。固定件40从盖体10的背对喷淋板20的一侧穿过通孔11，并与连接轴30的固定部45连接，以将连接轴30固定于盖体10。
26.示例性地，固定件40可以为螺钉。当连接轴30与喷淋板20连接，并将喷淋板20放置于盖体10的一侧后，固定件40从盖体10的另一侧穿过通孔11，与固定部45连接。在固定件40背对喷淋板20一端的端面内具有十字凹槽，用户可以在盖体10背对喷淋板20一侧，通过通孔11对固定件40进行拧松，使得连接轴30与盖体10分离，进而将喷淋板20与盖体10分离。
27.在一些实施例中，固定部45为圆柱体凸台。示例性地，圆柱体凸台的半径大于连接轴30的半径。固定部45与盖体10的接触面积较大，使得连接轴30与盖体10连接得更为稳固。
28.在一些实施例中，固定件40为螺栓。固定部45的朝向盖体10一端端面设置有螺纹
孔46。在一些实施例中，固定部45上有多个螺纹孔46，且螺纹孔46的大小相同，均匀分布于固定部45上。螺纹孔46的数量和大小可以根据实际情况进行设置，如喷淋板20的重量较大，为使得连接轴30与盖体10连接地更加稳固，可以增加螺纹孔46的数量和大小。螺栓上的螺纹与固定部45上的螺纹相配合。在一些实施例中，固定部45上设置有五个螺纹孔46。其中一个螺纹孔46与连接轴30同轴，且此螺纹孔46的直径大于其余四个螺纹孔46。其余四个螺纹孔46的孔径相同，并均匀围绕孔径最大的螺纹孔46。不同大小的螺纹孔46分别对应不同大小的固定件40。四个较小的固定件40穿过通孔11与四个较小的螺纹孔46配合，辅助最大的螺纹孔46与最大的固定件40，将连接轴30与盖体10连接得更为稳固。
29.在一些实施例中，通孔11的数量为四个，均匀分布于盖体10上。示例性地，连接轴30的数量也为四个。一个连接轴30分别对应一个通孔11设置，以使得喷淋板20更好地固定于盖体10。连接轴30的数量与通孔11的数量相同。通孔11的数量也可以为五个、六个等。连接轴30的数量越多，单个连接轴30承受的重量也就越小，连接轴30就更不容易弯折与断裂，能更稳定地将喷淋板20固定在盖体10上。
30.在一些实施例中，盖体10背对喷淋板20的一侧的通孔11区域设有凹槽12，通孔11位于凹槽12底部。反应腔体门盖组件包括盖板80，盖板80用于遮盖凹槽12。
31.在一些实施例中，为了更提高反应腔体门盖组件的美观性，盖板80的大小与凹槽12的大小相同。盖板80将凹槽12盖住的同时，将通孔11也完全覆盖。盖板80盖住通孔11后，还进一步提高了反应腔体门盖组件，避免了反应腔体内的气体通过通孔11流出。在一些实施例中，盖板80通过螺丝与盖体10固定连接。
32.在一些实施例中，反应腔体门盖组件包括密封件50。密封件50围绕盖体10边缘设置。在一些实施例中，反应腔体内进行原子层沉积(atomic layer deposition，ald)反应，对产品进行镀膜。原子层沉积反应是通过将两种以上的化学气体前驱物分开导入反应腔，使得每一种前驱物在基地表面分别发生充分饱和的表面化学反应。原子层沉积反应可以将物质以单原子膜形式镀在基底表面，并对所沉积的薄膜的厚度及均匀度精确控制在原子层厚度范围内。为避免反应腔内的气体溢出，密封件50围绕盖体10边缘设置，提高盖体10将反应腔的开口闭合的密封性。密封件50可以为橡胶密封圈。
33.在一些实施例中，密封件50为多个，密封件50围绕通孔11并设置于凹槽12内。示例性地，密封件50有五个。其中，四个密封件50设置于四个凹槽12内，并将通孔11包围。盖板80遮盖凹槽12时，盖板80与密封件50配合，将通孔11密封，以避免反应腔内的气体通过通孔11溢出。另外一个密封件50设置于盖体边缘，提高盖体10将反应腔的开口闭合的密封性。
34.在一些实施例中，喷淋板20具有滑孔。连接轴30穿过滑孔，与喷淋板20滑动连接。反应腔体门盖组件包括弹性件60。弹性件60设置于盖体10与喷淋板20之间。示例性地，弹性件60为弹簧。
35.在一些实施例中，喷淋板20用来将反应腔的开口闭合。具体地，反应腔体具有外腔体和内腔体。外腔体和内腔体都具有开口，且开口位于同一侧。盖体10闭合外腔体开口时，喷淋板20闭合内腔体的开口。连接轴30通过滑动，调节喷淋板20与盖体10之间的间距。当盖体10关闭后，喷淋板20与盖体10之间的间距变小，喷淋板20和盖体10之间的弹性件60挤压喷淋板20，使得喷淋板20与内腔体的开口端面贴合的更加紧密，保障密封效果。
36.在一些实施例中，连接轴30具有伸缩性，弹性件60设置于盖体10与喷淋板20之间。
当盖体10关闭后，连接轴30收缩，盖体10与喷淋板20间的距离缩短。弹性件60挤压喷淋板20，使得喷淋板20与内腔体的开口端面贴合的更加紧密。
37.在一些实施例中，反应腔体内具有载具，产品放置于载具上。当盖体10闭合反应腔体后，喷淋板20的喷淋孔向载具输出气体，且气体的流动方向平行于产品。
38.在一些实施例中，反应腔体门盖组件包括隔热板70。隔热板70具有避让孔，连接轴30穿过避让孔，隔热板70设置于喷淋板20与盖体10之间。在一些实施例中，反应腔内发生原子层沉积反应需要达到预定的温度。因此会有加热件对反应腔体进行加热。为避免反应腔体的热量传递到盖体10上，导致用户烫伤，在喷淋板20与盖体10之间设置隔热板70，以阻挡热量传递至盖板80。当然，隔热板70也可以通过其它结构与连接轴30固定，设置于盖体10和喷淋板20之间。
39.在一些实施例中，固定件40、连接轴30与弹性件60都为耐高温材料制成，以在高温下仍然能将喷淋板20固定在盖体10上。
40.为解决上述技术问题，本技术采用的一个技术方案是提供一种镀膜设备，包括上述任一实施例中反应腔体门盖组件和壳体。壳体的一端具有开口。盖体10可选择地闭合壳体的开口，且喷淋板20位于开口内侧。
41.在一些实施例中，产品从壳体的开口进入，并在壳体内进行反应。盖体10将壳体的开口闭合，以使得壳体内密封。当产品加工完成后，再打开盖体10，将产品取出。当加工不同的产品，需要更换不同的喷淋板20时，用户可以从盖体10背对喷淋板20一侧利用通孔11进行拆卸。具体地，用户可以取下盖板80，将螺栓拧松。由于喷淋板20较重，可以采用吊装的方式，将喷淋板20从盖体10上取出。
42.以上所述仅为本技术的实施方式，并非因此限制本技术的专利范围，凡是利用本技术说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本技术的专利保护范围内。

技术特征：

1.一种反应腔体门盖组件，其特征在于，包括：盖体，所述盖体上设置有通孔；喷淋板；连接轴，用于装配所述喷淋板，所述连接轴的一端设置固定部，所述连接轴通过所述通孔可拆卸固定于所述盖体，且能够从所述盖体背对所述喷淋板一侧利用所述通孔进行拆卸。2.根据权利要求1所述反应腔体门盖组件，其特征在于，包括：固定件，所述固定件从所述盖体的背对所述喷淋板的一侧穿过所述通孔，并与所述连接轴的所述固定部连接，以将所述连接轴固定于盖体。3.根据权利要求2所述反应腔体门盖组件，其特征在于，所述固定部为圆柱体凸台。4.根据权利要求3所述反应腔体门盖组件，其特征在于，所述固定件为螺栓；所述固定部的朝向所述盖体一端端面设置有螺纹孔。5.根据权利要求4所述反应腔体门盖组件，其特征在于，所述通孔的数量为四个，均匀分布于所述盖体上。6.根据权利要求1所述反应腔体门盖组件，其特征在于，所述盖体背对所述喷淋板的一侧的所述通孔区域设有凹槽，所述通孔位于所述凹槽底部；所述反应腔体门盖组件包括盖板，所述盖板用于遮盖所述凹槽。7.根据权利要求6所述反应腔体门盖组件，其特征在于，包括：密封件，所述密封件围绕所述盖体边缘设置。8.根据权利要求7所述反应腔体门盖组件，其特征在于，所述密封件为多个，所述密封件围绕所述通孔并设置于所述凹槽内。9.根据权利要求1所述反应腔体门盖组件，其特征在于，所述喷淋板具有滑孔，所述连接轴穿过所述滑孔，与所述喷淋板滑动连接；所述反应腔体门盖组件包括：弹性件，所述弹性件设置于所述盖体与所述喷淋板之间。10.根据权利要求1所述反应腔体门盖组件，其特征在于，包括：隔热板，所述隔热板具有避让孔，所述连接轴穿过所述避让孔，所述隔热板设置于所述喷淋板与所述盖体之间。11.一种镀膜设备，其特征在于，包括：权利要求1至10任一所述反应腔体门盖组件；壳体，所述壳体的一端具有开口，所述盖体可选择地闭合所述壳体的开口，且所述喷淋板位于所述开口内侧。

技术总结

本申请涉及机械设备技术领域，提供一种反应腔体门盖组件及镀膜设备。反应腔体门盖组件包括盖体、喷淋板、连接轴。盖体上设置有通孔。连接轴用于装配喷淋板。连接轴的一端设置固定部。连接轴通过通孔可拆卸固定于盖体，且能够从盖体背对喷淋板一侧利用通孔进行拆卸，以简化对喷淋板的拆卸。化对喷淋板的拆卸。化对喷淋板的拆卸。