作者：苗广志 马玉通 赵文华
来源：《科技资讯》2014年第26期
摘 要：在多线切割工艺中，镀铜金属线对硅单晶切割片的质量有着重要影响，成为多线切割工艺需要控制的重要辅料。断线问题一直是困扰多线切割工艺人员的主要问题之一，一直得不到有效的解决，本文从材料、设备、工艺以及人员等多个视角对断线问题进行了分析，并给出相应的解决措施。 关键词：硅 钢线断线 多线切割 钢线破断力
中图分类号：TH132 文献标识码：A 文章编号：1672-3791（2014）09（b）-0073-01
多线切割工艺的基本原理是通过镀铜金属线携带砂浆按一定的速度对硅单晶进行切割。在切割过程中，断线问题是困扰多线切割工艺技术人员的主要问题之一，该问题的解决对硅片的质量和成品率有着非常重要的意义[1-3]。随着硅单晶尺寸逐步增大以及硅片向越来越薄
工艺钟表的方向发展，断线问题对设备有效运行时间以及成本控制等带来的影响日趋显著，因此断线问题成为多线切割工艺丞待解决的主要技术问题之一。在多线切割工艺领域，鲜有关于断线问题的文献报道。
本文从材料、设备、工艺以及人员等多个视角对断线问题进行了分析，以期给出相应的解决措施，为多线切割工艺人员解决断线问题提供一些解决方案。
1 断线问题的原因分析及解决措施夹网布
断线问题是多线切割工艺中的常见问题之一，本文从材料、设备、工艺以及操作人员等角度进行了分析，具体如下。
火筒式加热炉 1.1 镀铜金属线质量缺陷导致的断线问题及解决措施
火炬点火装置>二氯烟酸 在多线切割工艺中，镀铜金属线是在一定的张力条件下以一定的速度与硅单晶之间相互作用，从而实现对硅单晶的切割。在切割过程中，镀铜金属线需要承受一定的拉力，从而镀铜金属线需要具有一定的强度，并且表面应无瑕疵、无杂质。镀铜金属线的质量缺陷是造成断线问题的一个主要因素，可以从镀铜金属线的质量控制入手，严格控制镀铜金属
线的强度值、外观质量，必要时可以采取复验强度、外观检验等措施，以防止镀铜金属线在多线切割过程中出现断线问题。
>多功能开瓶器
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