一种应用于IGBT功率器件领域晶圆铝铜基材的化学镍金工艺[发明专利]

电动拖布专利名称:一种应用于IGBT功率器件领域晶圆铝铜基材的化学镍金工艺
专利类型:发明专利
发明人:姚吉豪,洪学平,刘可
申请号:CN202210154007.3
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申请日:20220220
公开号:CN114481106A
公开日:
20220513
专利内容由知识产权出版社提供手机镜片
摘要:本发明公开了一种应用于IGBT功率器件领域晶圆铝铜基材的化学镍金工艺,该发明包括工艺流程、活化液配方、化学镍配方和化学金配方等内容。工艺流程为除油、水洗、微蚀、水洗、预浸、活化、水洗、真空水洗、干冰喷洗、电镀薄铜、水洗、化学镀镍、水洗、化学镀金;活化液配方组分为钌盐、铂盐、浓硫酸、表面活性剂、稳定剂、络合剂、分散剂;镀镍配方组分为镍盐、络合剂、光亮剂、还原剂、稳定剂、桥联剂、载运剂;镀金配方组分为金盐、络合剂、稳定剂、欠电位剂、还原剂、成核剂。该发明可以实现优异的IGBT功率器件领域晶圆铝铜基材的化学镀镍金工艺,包括稳定性优异、光亮平整、无漏镀渗镀、抗氧化性能好且可焊性好等特性。
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本文发布于:2024-09-22 09:47:11,感谢您对本站的认可!

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