金屬氧化物透明導電材料的基本原理
一、透明導電薄膜簡介
如果一種薄膜材料在可見光範圍內(波長380-760 nm)具有80%以上的透光率，而且導電性高，其比電阻值低於1×10-3 ·cm，則可稱為透明導電薄膜。Au, Ag, Pt, Cu, Rh, Pd, A1, Cr等金屬，在形成3-15 nm 厚的薄膜時，都有某種程度的可見光透光性，因此在歷史上都曾被當成透明電極來使用。但金屬薄膜對光的吸收太大，硬度低而且穩定性差，因此人們開始研究氧化物、氮化物、氟化物等透明導電薄膜的形成方法及物性。其中，由金屬氧化物構成的透明導電材料(transparent conducting oxide, 以下簡稱為TCO)，已經成為透明導電膜的主角，而且近年來的應用領域及需求量不斷地擴大。首先，隨著3C產業的蓬勃發展，以LCD為首的平面顯示器(FPD)產量逐年增加，目前在全球顯示器市場已佔有重要的地位，其中氧化銦錫(In2O3:Sn, 意指摻雜錫的氧化銦，以下簡稱為ITO)是FPD的透明電極材料。另外，利用SnO2等製成建築物上可反射紅外線的低放射玻璃(low-e window)，早已成為透明導電膜的最大應用領域。未來，隨著功能要求增加與節約能源的全球趨勢，兼具調光性與節約能源效果的electrochromic (EC) window (一種透光性可隨施加的電壓而變化的玻璃)等也可望成為極重要的建築、汽車及多種日用品的材料，而且未來對於可適用於多種場合之透明導電膜的需求也會越來越多。
二、常用的透明導電膜
一些目前常用的透明導電膜如表1所示，我們可看出TCO佔了其
中絕大部分。這是因為TCO具備離子性與適當的能隙(energy gap)，在
化學上也相當穩定，所以成為透明導電膜的重要材料。
表1 一些常用的透明導電膜
材料用途性質需求
SnO2:F寒帶建築物低放射(low-E)玻璃電漿波長≈ 2 μm (增加陽光紅外區穿透) Ag、TiN熱帶建築物低放射玻璃電漿波長≤ 1 μm (反射陽光紅外區) SnO2:F太陽電池外表面熱穩定性、低成本
SnO2:F EC windows化學穩定性、高透光率、低成本
电暖手套ITO平面顯示器用電極易蝕刻性、低成膜溫度、低電阻
纳米除臭装置ITO、Ag、
Ag-Cu alloy 除霧玻璃(冰箱、飛機、汽車)低成本、耐久性、低電阻
ome 103
SnO2烤箱玻璃高溫穩定性、化學及機械耐久性、低成本SnO2除靜電玻璃化學及機械耐久性
SnO2觸控螢幕低成本、耐久性
Ag、ITO電磁屏蔽(電腦、通訊設備)低電阻
三、代表性的TCO材料
代表性的TCO材料有In2O3，SnO2，ZnO，CdO，CdIn2O4，Cd2SnO4，Zn2SnO4和In2O3-ZnO等。這些氧化物半導體的能隙都在3 eV以上，所以可見光(約1.6-3.3 eV)的能量不足以將價帶(valence band)
的電子激發到導帶(conduction band)，只有波長在350-400nm(紫外線)
以下的光才可以。因此，由電子在能帶間遷移而產生的光吸收，在可見
光範圍中不會發生，TCO對可見光為透明。
减压蒸馏這些材料的比電阻約為10-1~10-3 ⋅Ωcm。如果進一步地在In2O3中加入Sn(成為ITO)，在SnO2中加入Sb、F，或在ZnO中加入In、Ga(成為GZO)或A1(成為AZO)等摻雜物，可將載子(carrier)的濃度增加到
1020-1021cm-3，使比電阻降低到10-3~10-4 ⋅Ωcm。這些摻雜物，例如在ITO 中為4價的Sn置換了3價的In位置，GZO或AZO中則是3價的Ga 或A1置換了2價的Zn，因此一個摻雜物原子可以提供一個載子。然而現實中並非所有摻雜物都是這種置換型固溶，它們有可能以中性原子存在於晶格間，成為散射中心，或偏析在晶界或表面上。要如何有效地形成置換型固溶，提昇摻雜的效率，對於低電阻透明導電膜的製作是非常重要的。
In2O3、SnO2與ZnO是目前三種最為人所注意的TCO材料，其中的In2O3:Sn(ITO)因為是FPD上的透明電極材料，近年來隨著FPD的普及成為非常重要的TCO材料。FPD上的透明電極材料之所以使用ITO，是因為它具有以下的優良性質：
(1) 比電阻低，約為1.5510-4Ω·cm
(2) 對玻璃基板的附著力強，接近TiO2或金屬chrome膜
(3) 透明度高且在可見光中央區域(人眼最敏感區域)透光率比SnO2好
差分编码器
(4) 適當的耐藥品性，對強酸、強鹼抵抗力佳
(5) 電及化學的穩定性佳
SnO2膜由於導電性較ITO差，1975年以後幾乎沒有甚麼用途，但因為化學穩定性優良，1990年左右起又開始成為非晶
车载影院矽太陽電池用之透明導電基板。非晶矽太陽電池是以電漿CVD 成膜，而電漿是由SiH4氣體與氫氣形成，成為很強的還原性氣氛，這會使ITO之透光率由85%降到20%，而SnO2仍會保持在70%。因此在非晶矽太陽電池上不使用ITO膜，而使用SnO2膜。
近年來ZnO也是備受矚目的TCO材料，其中尤其是摻雜鋁的氧化鋅(ZnO:Al, 簡稱為AZO)被認為最具有成為ITO代用品的潛力。由於製程的改善，實驗室中製出的ZnO薄膜物性已經接近於ITO，但在生產成本及毒性方面，鋅則優於銦；尤其鋅的價格低廉，對於材料的普及是一大利點。In2O3、SnO2與ZnO的性質如表2所示。TCO的導電及透光原理和表2中的一些性質，在後面有較詳細的說明。
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