gmr传感器
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扫描电子显微镜的优势为可以直接观察非常粗糙的样品表面，参 真空环境下观察，因此对样差起伏的材料原始断口。但其劣势为样品必须在 品有一些特殊要求,笼统的讲：干燥,无油,导电.
1、形貌形态，必须耐高真空，例如有些含水量很大的细胞，在真空中很快被抽干水分，细胞的形态也发生了改变，无法对各类型细胞进行区分；
2、样品表面不能含有有机油脂类污染物。油污在电子束作用下极端容易分解成碳氢化物，对真空环境造成极大污染。样品表面细节被碳氢化合物遮盖；成像信号电子束光路引起极大象产量；碳氢化合物吸附在碳氢化合物降低了 探测器桥梁支座更换与维修
晶体表面，降低探测器效率。对低加速电压散；碳氢化合物被吸附在 的电子束干扰严重。 电子灯阴极材料的挥发，从而极大降低3、样品必须为干燥。水蒸气会加速 丝寿命；水蒸气会散射电子束，增加电子束能量分散，从而增大差，降低 分辨能力。
背散射、样品表面必需导电：在大多数情况下，初级电子束电荷数量都大于4 电子和二次电子数量之和，因此多余的电子必须导入地下，即样品表面电位 必须保持在0电位。如果样品表面不导电，或者样品接地线断裂，那么样品表面静电荷存在，使得表面负电势不断增加，出现充电效应，使图像畸变，入射电子平面镜3d涂鸦笔。电子束减速，此时样品如同一个
5、在某些情况下，样品制备变成重要的考虑因素。若要检测观察弱反差机理，就必须消除强反差机理（例如，形貌反差），否则很难检测到弱的反差。当希型磁反差或其他弱反差机理时，磁性材II和I背散射电子衍射反差，EBSD望 料的磁畴特性必需消除样品的形貌。采用化学抛光，电解抛光等，产生一个几乎消除形貌的镜面。
磁性材料,必须退磁. 请问为什么？: 特殊情况 扫描电镜样品的制备
1、金属和陶瓷样品：
1）、形貌观察
彻底的去除油污以避免碳氢化合物的污染。 ? 超声波清洗机：溶剂为 丙酮、乙醇、甲苯等。溶剂不危害样品表面形貌完整性是非常重要的。
pcu h 确定样品污染方法：在很高的放大倍数下观察样品，然后降低放大倍数（扫描电镜为齐焦系统，高倍聚焦清楚，在低的倍数下不离焦），如果有污染，在低倍会观察到原来高倍的扫描区域有明显黑痕迹。污染物沉积的速率和电子束照射区域的剂量有关，由于越高的放大倍数，相同扫描时间内样品单位面积电子束照射剂量越大。
绝缘样品需要喷镀导电膜：真空蒸发镀膜技术和离子 ?溅射镀膜技术。实现导电，导热，很大程度上增加二次电子发率。
1、导电率： 电阻率高的材料，在电子束入射下会迅速充电，而且形成相当高的电位，使样品某个区域绝缘击穿，导致样品表面电位发生变化，产生复杂的图像假象，所谓充电效应。表现为，低能二次电子被偏转或者加速，在裂缝中，二次电子发射增加；严重的还会干扰物镜磁 物理教具制作场，引起象散不稳定，亮度不均匀，和杂散的X射线信 号；使得系统分辨率下降，分析能力下降。
、减少热损伤：在正常观察图像时，电子探针的束流通2．
人山
常为nA级，所以对于大多数样品，受热不是问题。但对于阴极荧光，x射线显微分析，探针电流往往是几百 nA甚至μA级别，热效应较为严重。样品过渡受热会表现为图像扫描区域移动，不稳定，还可能会破裂损坏。---电子束损伤。表现为，样品起泡，龟裂，内部出现孔洞，较高的束流引起，塑料，聚合物，生物样品中的有机材料迅速分解，甚至造成大量元素损失。
3、二次电子和背散射电子发射：绝缘样品镀一层10nm厚的Au层，能够提高SE发射率。但对于某些含有碱土的金属氧化物陶瓷，SE产额反而会减少低很多。
背散射电子观察，如果镀上一层重金属，会掩盖原子序数反差，因此常常利用一薄层地原子序数导体，蒸碳较 为合适，这样不会大量散射入射电子。
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