一种复合金属膜水电镀的生产设备的制作方法

1.本实用新型涉及复合金属薄膜制造技术领域，具体涉及一种复合金属膜水电镀的生产设备。

背景技术：

2.目前，在复合金属薄膜在制造过程中，为了生产出符合要求的复合金属膜，现有技术中通常通过多次物理气相沉积，包括一次磁控溅射合金打底层、六次真空蒸镀铜层和一次磁控溅射铜层的方式，再经过电镀铜，实现复合铜膜的生产，虽然此种生产线能生产出满足复合铜膜的物理性能，但是物理气象沉积时镀层比厚时，容易使得膜面出现孔洞，且方阻高，导电性能差导致电镀效率低，甚至影响产品性能。

技术实现要素：

3.有鉴于此，本实用新型实施例的目的在于提供一种复合金属膜水电镀的生产设备，以解现有技术中由于物理气象沉积时镀层比较厚时容易导致膜面容易出现孔洞，且方阻高，导电性能差导致电镀效率低的技术问题。
4.为达上述目的，本实用新型实施例提供了一种复合金属膜水电镀的生产设备，所述生产设备包括：
5.放卷装置、收卷装置和薄膜处理装置，所述薄膜处理装置位于所述放卷装置和所述收卷装置之间，其中，所述薄膜处理装置包括化学镀单元和电镀单元。
6.在一些可能的实施方式中，所述化学镀单元包括：
7.第一槽本体；
8.第一对挤压辊和第二对挤压辊，分别转动的安装在所述第一槽本体的两端的侧壁上；
9.储液槽，设置在所述第一对挤压辊和所述第二对挤压辊之间。
10.在一些可能的实施方式中，所述化学镀单元还包括：
11.第一对截液辊和第二对截液辊，分别设置在所述储液槽的入液端和出液端，分别与所述储液槽的侧壁转动连接；
12.若干个过辊，设置在所述第一对截液辊和所述第二对截液辊之间，分别与所述储液槽的侧壁转动连接。
13.在一些可能的实施方式中，所述电镀单元包括：
14.第二槽本体；
15.若干对导电辊，间隔设置在所述第二槽本体内，且分别转动的安装在所述第二槽本体的侧壁上；
16.若干个镀液槽，分别设置在相邻的两对导电辊之间。
17.在一些可能的实施方式中，所述电镀单元还包括：
18.第三对截液辊和第四对截液辊，分别设置在所述镀液槽的入液端和出液端，分别
与所述镀液槽的侧壁转动连接；
19.上下阳极钛蓝，设置在所述第三对截液辊和所述第四对截液辊之间，与所述镀液槽的侧壁固定连接。
20.在一些可能的实施方式中，所述薄膜处理装置还包括：
21.第一水洗单元，设置在所述化学镀单元和所述电镀单元之间，所述第一水洗单元包括：
22.第三槽本体；
23.第三对挤压辊、若干个喷水管和第一水洗槽，依次设置在所述第三槽本体中，所述第三对挤压辊转动的安装在所述第三槽本体的侧壁上；
24.第五对截液辊和第六对截液辊，分别设置在所述第一水洗槽的入液端和出液端，且转动的安装在所述第一水洗槽的侧壁上。
25.在一些可能的实施方式中，所述薄膜处理装置还包括：
26.第二水洗单元，设置于所述电镀单元的后面，所述第二水洗单元包括；
27.第四槽本体；
28.第二水洗槽、若干个喷水管和第四对挤压辊，依次设置在所述第四槽本体中，所述第四对挤压辊转动的安装在在所述第四槽本体的侧壁上；
29.第七对截液辊和第八对截液辊，分别设置在所述第二水洗槽的入液端和出液端，且转动安装在所述第二水洗槽的侧壁上。
30.在一些可能的实施方式中，所述薄膜处理装置还包括：
31.抗氧化单元，设置于所述第二水洗单元的后面，所述抗氧化单元包括：
32.第五槽本体；
33.第五对挤压辊和第六对挤压辊，分别转动的安装在所述第五槽本体的两端的侧壁上；
34.抗氧化槽设置在所述第五对挤压辊和所述第六对挤压辊之间；
35.第九对截液辊和第十对截液辊，分别设置在所述抗氧化槽的入液端和出液端，且转动的安装在所述抗氧化槽的侧壁上；
36.上下阳极板，设置于所述第九对截液辊和所述第十对截液辊之间，且转动的安装在所述抗氧化槽的侧壁上。
37.在一些可能的实施方式中，所述化学镀单元、所述电镀单元、所述第一水洗单元、所述第二水洗单元和所述抗氧化单元相互之间通过隔离板进行隔离。
38.在一些可能的实施方式中，所述生产设备还包括：
39.烘干装置，设置在所述薄膜处理装置与所述收卷装置之间，用于对薄膜处理装置处理后的薄膜进行烘干。
40.上述技术方案的有益技术效果在于：
41.本实用新型实施例提供的一种复合金属膜水电镀生产设备，包括放卷装置、收卷装置和薄膜处理装置，薄膜处理装置位于放卷装置和收卷装置之间，其中，薄膜处理装置包括化学镀单元和电镀单元。本实用新型首先在电镀之前先通过化学镀单元对基膜进行化学沉积，实现电镀前的镀层预增厚，降低了复合金属膜生产过程中产生孔洞的风险，提高了生产效率，同时降低了复合铜膜孔的不良率，提高了成品良率。
附图说明
42.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
43.图1为本实用新型实施例的一种复合金属膜水电镀的生产设备的整体结构示意图；
44.图2为本实用新型实施例的一种复合金属膜水电镀的生产设备的主视图；
45.图3为本实用新型实施例的一种化学镀单元的主视图；
46.图4为本实用新型实施例的一种电镀单元的主视图；
47.图5a为本实用新型实施例的第一种薄膜处理装置的结构示意图；
48.图5b为本实用新型实施例的一种第一水洗单元的主视图；
49.图6a为本实用新型实施例的第二种薄膜处理装置的结构示意图；
50.图6b为本实用新型实施例的一种第二水洗单元的主视图；
51.图7a为本实用新型实施例的第三种薄膜处理装置的结构示意图；
52.图7b为本实用新型实施例的一种抗氧化单元的主视图；
53.图8为本实用新型实施例的另一种复合金属膜水电镀的生产设备的整体结构示意图。
54.附图标号说明：
55.1、放卷装置；2、收卷装置；3、薄膜处理装置；4、烘干装置；
56.31、化学镀单元；310、第一槽本体；311、第一对挤压辊；312、第二对挤压辊；313、储液槽；314、第一对截液辊；315、第二对截液辊；316、过辊；
57.32、电镀单元；320、第二槽本体；321、导电辊；322、镀液槽；323、第三对截液辊；324、第四对截液辊；325、上下阳极钛蓝；
58.33、第一水洗单元；330、第三槽本体；331、第三对挤压辊；332、若干个喷水管；333、第一水洗槽；334、第五对截液辊；335、第六对截液辊；
59.34、第二水洗单元；340、第四槽本体；341、第二水洗槽；342、若干个喷水管；343、第四对挤压辊；344、第七对截液辊；345、第八对截液辊；
60.35、抗氧化单元；350、第五槽本体；351、第五对挤压辊；352、第六对挤压辊；353、抗氧化池；354、第九对截液辊；355、第十对截液辊；356、上下阳极板。
具体实施方式
61.下面将详细描述本实用新型的各个方面的特征和示例性实施例。在下面的详细描述中，提出了许多具体细节，以便提供对本实用新型的全面理解。但是，对于本领域技术人员来说很明显的是，本实用新型可以在不需要这些具体细节中的一些细节的情况下实施。下面对实施例的描述仅仅是为了通过示出本实用新型的示例来提供对本实用新型的更好的理解。在附图和下面的描述中，至少部分的公知结构和技术没有被示出，以便避免对本实用新型造成不必要的模糊；并且，为了清晰，可能夸大了部分结构的尺寸。此外，下文中所描述的特征、结构或特性可以以任何合适的方式结合在一个或更多实施例中。
62.如图1至图4所示，本实用新型实施例提供的一种复合金属膜水电镀的生产设备，包括放卷装置1、收卷装置2和薄膜处理装置3，薄膜处理装置3位于放卷装置1和收卷装置2之间，其中，薄膜处理装置3包括化学镀单元31和电镀单元32。本实用新型首先在电镀单元32处理之前先通过化学镀单元31对薄膜进行化学沉积，实现电镀前的镀层预增厚，降低了复合金属膜生产过程中产生孔洞的风险，提高了生产效率，同时降低了复合铜膜孔的不良率，提高了成品良率。
63.在一些实施例中，如图3所示，化学镀单元31包括第一槽本体310；第一对挤压辊311和第二对挤压辊312，分别转动的安装在第一槽本体310的两端的侧壁上；储液槽313，设置在第一对挤压辊311和第二对挤压辊312之间。本实用新型中薄膜进入化学镀单元31后，通过第一对挤压辊311第一对挤压辊311进行挤压后进入储液槽313进行化学沉积金属层，对薄膜的镀层进行预先增厚，然后通过第二对挤压辊312对增厚后的薄膜进行挤压，使得薄膜平整的穿出，需要说明的是，本实用新型实施例中挤压辊的对数可以任意设置，例如，可以在化学镀单元31的两端分别设置两对挤压辊或者分别设置三对挤压辊等，此处可以依据实际情况任意设置。
64.在一些实施例中，化学镀单元31还包括第一对截液辊314和第二对截液辊315，分别设置在储液槽310的入液端和出液端，分别与储液槽313的侧壁转动连接；若干个过辊316，设置在第一对截液辊314和第二对截液辊315之间，分别与储液槽313的侧壁转动连接。本实用新型实施例通过设置第一对截液辊314和第二对截液辊315，能够截留薄膜走带过程中带入或带出的液体，也可以避免储液槽313中的液体外溢，通过设置多个过辊316避免薄膜在走带过程中弯曲或变形，导致薄膜沉积金属层的厚度不一，影响薄膜生产质量。
65.在一些实施例中，如图4所示，电镀单元32包括第二槽本体320；若干对导电辊321，间隔设置在第二槽本体320内，且分别转动的安装在第二槽本体320的侧壁上；若干个镀液槽322，分别设置在相邻的两对导电辊321之间。本实用新型实施例通过若干对导电辊321分别对薄膜的两面进行同时导电，通过若干个镀液槽322对薄膜的双面进行多次电镀，提高薄膜生产的良品率和生产效率，需要说明的是本技术中的若干个镀液槽322的数量可以为一个、两个、三个等，可以根据实际需要任意设置。
66.在一些实施例中，电镀单元32还包括第三对截液辊323、第四对截液辊324和上下阳极钛蓝325，其中，第三对截液辊323和第四对截液辊324分别设置在镀液槽322的入液端和出液端，分别与镀液槽322的侧壁转动连接；上下阳极钛蓝325设置在第三对截液辊323和第四对截液辊324之间，与镀液槽322的侧壁固定连接。本实用新型实施例通过设置第三对截液辊323、第四对截液辊324能够截留薄膜走带过程中带入或带出的液体，也可以防止镀液槽322中的镀液外溢。
67.在一些实施例中，如图5a和图5b所示，薄膜处理装置3还包括第一水洗单元33，设置在化学镀单元31和电镀单元32之间，第一水洗单元33包括：第三槽本体330、第三对挤压辊331、若干个喷水管332、第一水洗槽333、第五对截液辊334和第六对截液辊335；其中，第三对挤压辊331、若干个喷水管332和第一水洗槽333，依次设置在第三槽本体330中，且第三对挤压辊331转动的安装在第三槽本体330的侧壁上；第五对截液辊334和第六对截液辊335分别设置在第一水洗槽333的入液端和出液端，且转动的安装在第一水洗槽333的侧壁上。本实用新型实施例中，经过化学镀单元31进行化学沉积金属层之后，进入第一水洗单元33
进行清洗；具体的，薄膜首先经过第三对挤压辊331进行挤压，不仅可以使得薄膜平整的走带，也以减少薄膜走带过程中带入储液槽313中的液体，然后通过若干个喷水管332先对进入水洗池前的薄膜进行冲洗，先洗掉一部分镀液，最后在进入第一水洗槽333进行彻底清洗，洗掉化学药液的残留，提高后续电镀过程中的电镀质量，通过设置第五对截液辊334和第六对截液辊335，能够截留薄膜走带过程中带入或带出的液体，同时也能第一水洗槽333中的水洗液外溢。
68.在一些实施例中，如图6a和图6b所示，薄膜处理装置3还包括第二水洗单元34，设置于电镀单元32的后面，第二水洗单元34包括：第四槽本体340；第二水洗槽341、若干个喷水管342和第四对挤压辊343，依次设置在第四槽本体340中，第四对挤压辊343转动的安装在在第四槽本体340的侧壁上；在第七对截液辊3401和第八对截液辊3402，分别设置在第二水洗槽341的入液端和出液端，且转动安装在第二水洗槽341的侧壁上。
69.本实用新型实施例中，薄膜经过电镀单元32进行电镀后进入第二水洗单元34进行清洗，具体的，薄膜首先在第二水洗槽341中进行初次清洗，洗掉薄膜从镀液槽322中带出的镀液，然后通过若干个喷水管332对第二水洗槽341清洗后的薄膜进行二次冲洗，最后经过第四对挤压辊343进行挤压，不仅可以使得薄膜平整的走带，也以减少薄膜走带过程中带入第二水洗槽341中的液体，通过第二水洗单元34洗掉化学药液的残留，另外，通过在第七对截液辊344和第八对截液辊345，还能够截留薄膜走带中带出的液体，同时也能第二水洗槽341中的水洗液外溢。
70.在一些实施例中，如图7a和图7b所示，薄膜处理装置3还包括抗氧化单元35，设置于第二水洗单元34的后面，抗氧化单元35包括：第五槽本体350、第五对挤压辊351、第六对挤压辊352、抗氧化槽353、第九对截液辊354、第十对截液辊355和上下阳极板356，其中，第五对挤压辊351和第六对挤压辊352分别转动的安装在第五槽本体350的两端的侧壁上；抗氧化槽353设置在第五对挤压辊351和第六对挤压辊352之间；第九对截液辊354和第十对截液辊355分别设置在抗氧化槽353的入液端和出液端，且转动的安装在抗氧化槽353的侧壁上；上下阳极板356设置于第九对截液辊354和第十对截液辊355之间，且转动的安装在抗氧化槽353的侧壁上。本实用新型实施例通过设置抗氧单元35，能够避免经过水电镀后的薄膜被空气中的水汽氧化，提高薄膜的良品率。
71.另外，本实用新型上述实施例中的化学镀单元31、电镀单元32、第一水洗单元33、第二水洗单元34和抗氧化单元35相互之间通过隔离板进行隔离，避免各个单元中的液体相互污染。
72.在一些实施例中，如图8所示，生产设备还包括烘干装置4，设置在薄膜处理装置3与收卷装置2之间，用于对薄膜处理装置3处理后的薄膜进行烘干。
73.由于现有技术中，通过物理沉积对电镀之前的薄膜进行增厚时，会导致膜面发生孔洞，本实用新型实施例在电镀单元32对薄膜进行电镀处理之前先通过化学镀单元31对薄膜进行化学沉积，实现电镀前的镀层预增厚，降低了复合金属膜生产过程中产生孔洞的风险，提高了生产效率，同时降低了复合铜膜孔的不良率，提高了成品良率。
74.本实用新型实施例提供的一种金属膜水电镀的生产设备的工作原理如下：
75.首先通过放卷装置1进行放卷，放卷后的薄膜进入薄膜处理装置3对薄膜进行水电镀，最后通过收卷装置2对水电镀后的薄膜进行收卷。
76.具体的，薄膜处理装置3的处理过程为：
77.首先通过化学镀单元31对薄膜进行化学沉积金属层，化学镀全称化学浸镀，化学镀是一种不需要通电，依据氧化还原反应原理，利用强还原剂在含有金属离子的溶液中，将金属离子还原成金属而沉积在各种材料表面形成致密镀层的方法，以化学镀铜为例，化学镀铜是在具有催化活性的基体上形成铜镀层的一种工艺，基膜先经过活化，使得基膜表面形成一种非连续的具有催化活性的贵金属微粒，从而使得化学镀铜反应在基膜表面顺利进行。化学镀铜原理是在基膜上进行氧化还原反应，还原剂给出电子，使得铜离子获得电子而被还原成金属层。化学镀过程中，镀液中需要铜盐、还原剂、ph调整剂、络合剂、稳定剂和其它添加剂；本实用新型实施例中化学镀铜液中采用硫酸铜中的铜盐作为化学镀铜中的离子源，还可以使用硫酸铜、氯化铜、硝酸铜等二价盐，化学镀铜中的还原剂包括甲醛、次磷酸盐、硼氢化钠、乙醛酸等。
78.由于化学镀铜是一个消耗碱的过程，因此需要向化学镀铜液中补充碱，以便维持镀液中的ph值在正常的范围内。常用的ph调整剂有naoh、koh，lioh。以甲醛为还原剂的化学镀铜溶液是碱性的，为了防止生成强氧化铜沉淀，溶液中必须加入能与二价铜生成稳定络合物的络合剂，络合剂起着稳定镀液和细化晶粒的作用，常用的有三乙醇胺、乙二胺四乙酸二钠等。另外，化学镀铜过程中，除了铜离子在催化表面被甲醛还原成金属铜外，还存在很多副作用，这些副反应不仅会消耗镀液中的有效成分，而且分解产生的铜微粒、氧化亚铜微粒或者其他固体微粒会造成镀铜疏松粗糙，这些粒子在镀液中化成为催化中心，导致镀液自然分解，所以镀液中需要加入稳定剂以抑制这些副反应的发生。有时，为了提高镀膜速度，还可以在镀液中添加一些其它的添加剂。
79.化学镀之后，对薄膜进行清洗，洗掉薄膜走带时带出的化学镀溶液中的溶液以及溶液中的一些添加剂，之后再进入到电镀单元32对薄膜进行电镀；
80.在电镀单元32中，通过多对导电辊321对薄膜的两面进行同时导电，通过若干个镀液槽322对薄膜进行电镀，电镀之后再次对薄膜进行水洗，洗掉薄膜走带时带出的镀液，之后对薄膜进行抗氧化处理以及烘干处理，最后通过收卷装置2进行收卷。
81.本实用新型实施例在电镀单元对薄膜进行电镀处理之前先通过化学镀单元31对薄膜进行化学沉积，实现电镀前的镀层预增厚，降低了复合金属膜生产过程中产生孔洞的风险，提高了生产效率，同时降低了复合铜膜孔的不良率，提高了成品良率。
82.在本实用新型实施例的描述中，需要说明的是，术语中的“上、下、内和外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一、第二或第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
83.本实用新型实施例中除非另有明确的规定和限定，术语“安装、相连、连接”应做广义理解，例如：可以是固定连接、可拆卸连接或一体式连接；同样可以是机械连接、电连接或直接连接，也可以通过中间媒介间接相连，也可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
84.虽然已经参考优选实施例对本实用新型进行了描述，但在不脱离本实用新型的范围的情况下，可以对其进行各种改进并且可以用等效物替换其中的部件。尤其是，只要不存
在结构冲突，各个实施例中所提到的各项技术特征均可以任意方式组合起来。本实用新型并不局限于文中公开的特定实施例，而是包括落入权利要求的范围内的所有技术方案。

技术特征：

1.一种复合金属膜水电镀的生产设备，其特征在于，所述生产设备包括：放卷装置(1)、收卷装置(2)和薄膜处理装置(3)，所述薄膜处理装置(3)位于所述放卷装置(1)和所述收卷装置(2)之间，其中，所述薄膜处理装置(3)包括化学镀单元(31)和电镀单元(32)；所述化学镀单元(31)包括：第一槽本体(310)；第一对挤压辊(311)和第二对挤压辊(312)，分别转动的安装在所述第一槽本体(310)的两端的侧壁上；储液槽(313)，设置在所述第一对挤压辊(311)和所述第二对挤压辊(312)之间；所述电镀单元(32)包括：第二槽本体(320)；若干对导电辊(321)，间隔设置在所述第二槽本体(320)内，且分别转动的安装在所述第二槽本体(320)的侧壁上；若干个镀液槽(322)，分别设置在相邻的两对导电辊(321)之间。2.根据权利要求1所述的一种复合金属膜水电镀的生产设备，其特征在于，所述化学镀单元(31)还包括：第一对截液辊(314)和第二对截液辊(315)，分别设置在所述储液槽(313)的入液端和出液端，且与所述储液槽(313)的侧壁转动连接。3.根据权利要求2所述的一种复合金属膜水电镀的生产设备，其特征在于，所述化学镀单元(31)还包括：若干个过辊(316)，设置在所述第一对截液辊(314)和所述第二对截液辊(315)之间，且与所述储液槽(313)的侧壁转动连接。4.根据权利要求3所述的一种复合金属膜水电镀的生产设备，其特征在于，所述电镀单元(32)还包括：第三对截液辊(323)和第四对截液辊(324)，分别设置在所述镀液槽(322)的入液端和出液端，分别与所述镀液槽(322)的侧壁转动连接。5.根据权利要求4所述的一种复合金属膜水电镀的生产设备，其特征在于，所述电镀单元(32)还包括：上下阳极钛蓝(325)，设置在所述第三对截液辊(323)和所述第四对截液辊(324)之间，与所述镀液槽(322)的侧壁固定连接。6.根据权利要求5所述的一种复合金属膜水电镀的生产设备，其特征在于，所述薄膜处理装置(3)还包括：第一水洗单元(33)，设置在所述化学镀单元(31)和所述电镀单元(32)之间，所述第一水洗单元(33)包括：第三槽本体(330)；第三对挤压辊(331)、若干个喷水管(332)和第一水洗槽(333)，依次设置在所述第三槽本体(330)中，所述第三对挤压辊(331)转动的安装在所述第三槽本体(330)的侧壁上；第五对截液辊(334)和第六对截液辊(335)，分别设置在所述第一水洗槽(333)的入液端和出液端，且转动的安装在所述第一水洗槽(333)的侧壁上。7.根据权利要求6所述的一种复合金属膜水电镀的生产设备，其特征在于，所述薄膜处
理装置(3)还包括：第二水洗单元(34)，设置于所述电镀单元(32)的后面，所述第二水洗单元(34)包括：第四槽本体(340)；第二水洗槽(341)、若干个喷水管(342)和第四对挤压辊(343)，依次设置在所述第四槽本体(340)中，所述第四对挤压辊(343)转动的安装在所述第四槽本体(340)的侧壁上；第七对截液辊(344)和第八对截液辊(345)，分别设置在所述第二水洗槽(341)的入液端和出液端，且转动安装在所述第二水洗槽(341)的侧壁上。8.根据权利要求7所述的一种复合金属膜水电镀的生产设备，其特征在于，所述薄膜处理装置(3)还包括：抗氧化单元(35)，设置于所述第二水洗单元(34)的后面，所述抗氧化单元(35)包括：第五槽本体(350)；第五对挤压辊(351)和第六对挤压辊(352)，分别转动的安装在所述第五槽本体(350)的两端的侧壁上；抗氧化槽(353)，设置在所述第五对挤压辊(351)和所述第六对挤压辊(352)之间；第九对截液辊(354)和第十对截液辊(355)，分别设置在所述抗氧化槽(353)的入液端和出液端，且转动的安装在所述抗氧化槽(353)的侧壁上；上下阳极板(356)，设置于所述第九对截液辊(354)和所述第十对截液辊(355)之间，且转动的安装在所述抗氧化槽(353)的侧壁上。9.根据权利要求8所述的一种复合金属膜水电镀的生产设备，其特征在于，所述化学镀单元(31)、所述电镀单元(32)、所述第一水洗单元(33)、所述第二水洗单元(34)和所述抗氧化单元(35)相互之间通过隔离板进行隔离。10.根据权利要求9所述的一种复合金属膜水电镀的生产设备，其特征在于，所述生产设备还包括：烘干装置(4)，设置在所述薄膜处理装置(3)与所述收卷装置(2)之间，用于对薄膜处理装置(3)处理后的薄膜进行烘干。

技术总结

本实用新型提供一种复合金属膜水电镀的生产设备，包括放卷装置、收卷装置和薄膜处理装置，薄膜处理装置位于放卷装置和收卷装置之间，其中，薄膜处理装置包括化学镀槽本体和电镀槽本体。本实用新型实施例中在电镀之前先通过化学镀槽本体对基膜进行化学沉积，实现电镀前的镀层预增厚，降低了复合金属膜生产过程中产生孔洞的风险，提高了生产效率，同时降低了复合铜膜孔的不良率，提高了成品良率。提高了成品良率。提高了成品良率。