硝酸型酸性蚀刻液蚀刻工艺探讨作者：宫小龙 黄秀武来源：《环球市场》2018年第16期 摘要：本文对以硝酸为主要成分的酸性蚀刻液进行了研究，利用静态刻蚀的方式，对印刷电路板铜箔的蚀刻速率以及侧蚀水平进行了测定，考察了几个因素对蚀刻效果的影响。希望为相关研究人员提供一定的参考，使针对硝酸型酸性蚀刻液蚀刻工艺的研究更加深入，并优化该工艺。 关键词：酸性蚀刻液；硝酸；蚀刻工艺
PCB技术的不断发展令印刷电路板的线宽和线距都逐渐变小，对蚀刻液提出了更高的要求。传统的印刷电路板的制造中应用较为广泛的蚀刻液是酸性和碱性氯化铜蚀刻液，然而此类含有氯元素的蚀刻液容易生成铜络离子，造成严重的侧蚀问题。研发蚀刻效果更佳、侧蚀程度更低的蚀刻液是一项亟待解决的任务。采用硝酸为基础的蚀刻液可以有效降低侧蚀程度，本文对硝酸型酸性蚀刻液的工艺条件和组成成分进行了探讨。
一、硝酸型酸性蚀刻液蚀刻流程
利用硝酸型酸性蚀刻液进行蚀刻的原理利用硝酸铜中铜离子的氧化性将印刷电路板上的铜氧化为化合价为一价的铜。该蚀刻手段具有一系列优势，首先蚀刻液可以保持较为稳定的状态，从而便于操作人员控制蚀刻速率，最终的蚀刻质量较高。另外，该种蚀刻手段可以溶解大量的铜元素，并且蚀刻液的回收和再生利用较为容易，在充分利用资源的同时能有效减少环境污染。
以硝酸作为蚀刻液进行蚀刻时按照如下流程进行：首先清洗材料表面，用洗涤剂除去表面的油污，继而用流动的纯水清洗材料。接下来去掉材料表面的氧化物薄膜，采用浓度为1%的稀盐酸浸泡一分钟左右。氧化物薄膜去掉后用去离子水再次清洗材料，并用温度较高的风源对其进行干燥。随之用天平称重材料，并进行蚀刻过程。蚀刻完成后再次用热风烘干材料并称重材料的重量。 二、蚀刻速率的影响因素
衡量蚀刻效果的一个重要指标是蚀刻速率，蚀刻速率指的是一定时间内材料被蚀刻液蚀刻掉的厚度，为了探究硝酸型酸性蚀刻液蚀刻工艺的效果受到哪些因素影响，本文用实验进行了验证。本实验选用的材料是具有一定面积的线路板铜箔。蚀刻时利用静态悬挂方
式，通过改变一系列实验条件探讨蚀刻速率受到何种因素影响。蚀刻速率可以用失重法来测算，将蚀刻质量、蚀刻面积进行测量并记录，并记下蚀刻时间，根据公式可以计算出蚀刻速率。蚀刻速率具体受到如下因素的影响：
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