发明人：陈宏，徐虎
申请号：CN201310586113.X
申请日：20131119
公开号：CN103611705A
公开日：
20140305
专利内容由知识产权出版社提供
摘要：本发明涉及一种金刚石线超声波清洗装置，包括清洗槽和超声波装置，超声波装置包括超声波发生器、超声波换能器和至少一个超声波振动板，超声波振动板设置在清洗槽内，清洗槽的中部开设有金刚石线的进口和出口，清洗槽的进口处设有金刚石线放卷装置，清洗槽的出口处设有金刚石线的收卷装置，所述的清洗槽上设有清洗液补充装置。本发明的金刚石线超声波清洗装置，结构简单，构思新颖，可实现金刚石线的连续化超声清洗，效率高，效果好，更可实现金刚石线的在线清洗，在切割硅片后立即进行清洗，此时清洗残余硅颗粒也更容易被去除，以便于金刚石线的后续利用，提高金刚石线的利用率，降低金刚石线的使用成本，便于金刚石线切割的推广。
申请人：张家港市超声电气有限公司
地址：215618 江苏省苏州市张家港市金港大道1001号(张家港市超声电气有限公司)
国籍：CN
代理机构：北京世誉鑫诚专利代理事务所(普通合伙)
代理人：孙国栋
豫公网安备41160202000603
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