浙江昱辉阳光能源有限公司 | 文件编号：Q03-JS-15 | ||||||||
腐蚀车间操作规范 | 版本号：A/1 | 页码：第1页 共3页 | |||||||
生效日期：2008年9月1日 | |||||||||
一、目的 为明确作业程序，提高作业效率，保障作业安全，特制定本规范。 二、适用范围 适用于腐蚀车间对应的工序操作岗位。 三、主要内容 1、 注意事项：作业前应按规定穿防酸碱服、戴防酸碱手套和护目镜，作业时应特别注意人身安全。 2、 硅片去层作业： 1 、碱洗去层： 在反应容器中配制20-40%的氢氧化钠溶液为腐蚀溶液，将硅片加入碱锅里进行腐蚀，根据硅片的结深确定腐蚀时间，一般为30---120秒。用漏勺捞起看硅料表面是否光亮无杂质。 2 、冲洗残碱：在冲洗槽中将硅片上附着的残碱冲洗干净。 3 、超声波超洗： 1 、在超声波内注入足量纯净水以能够淹没硅片为准。 3 、用高纯水再超两次（每次10分钟），每3分钟将硅片翻动一次，最后关闭超声波开关，放尽清洗水，翻动硅片，将杂质和残留硅片上的清洗水冲尽。 5 、冲洗残酸：在冲洗槽中将硅片残酸冲洗干净。 | |||||||||
批 准 | 审 核 | 编 制 | |||||||
修改履历 | |||||||||
页 码 | 内 容 | 状 态 | 备 注 | ||||||
浙江昱辉阳光能源有限公司 | 文件编号：Q03-JS-15 | ||||||||
腐蚀车间操作规范 | 版本号：A/1 | 页码：第2页 共3页 | |||||||
生效日期：2008年9月1日 | |||||||||
6 、超声波清洗： A、在超声波内注入足量纯净水以能够淹没硅片为准。 B、将10－15千克的硅片用纯净水冲净，倒入清洗水槽内，打开清洗开关，每10分钟将硅片全部翻动一次，以免叠片时夹杂杂质，无法清洗出来。超声时间按车间具体规定执行。 C、用高纯水冲洗硅片，将残留杂质冲净。 D、用高纯水冲洗将杂质和残留硅片上的清洗水冲尽。 E、脱水：用纱网，每次放硅片5-6千克到脱水机中脱水2分钟。 F、冲洗：将硅片放入冲洗槽中沖洗并搅拌。 G、烘干：将硅片放入花篮中，堆积厚度小于２厘米，并将硅片用塑料棒划通气缝。烘箱温度调至115℃，烘干2～4小时。 3、 硅片浸泡作业： 1 、湿法蚀刻工艺：将硅片倒入浸泡池中，体积不超过浸泡池的2/3。在浸泡池中倒入腐蚀溶液。腐蚀溶液为49-59%的工业纯刻蚀溶液，浸泡12小时后，放出酸液，将硅片冲洗干净。 2 、去除金属沾污：配制王水溶液，根据气温变化稀释至30-50%的浓度，浸泡12小时后，放出酸液，将硅片冲洗干净。 3 、二次湿法蚀刻工艺：将硅片倒入浸泡池中，体积不超过浸泡池的2/3。在浸泡池中倒入腐蚀溶液。腐蚀溶液配比为HF：NH4F=（6-10）：1工业，浸泡12小时后，放出酸液，将硅片冲洗干净。 4、锅底料清洗作业： 1 、分类：将颜灰暗和有裂纹的锅底料挑出，戴上护具（面罩、双层劳保手套）从裂纹处敲碎。 2 、浸泡：用电子级浸泡，根据硅块附着石英厚度和酸性强弱调整浸泡时间浸泡24~48小时，再用水冲洗浸泡至中性PH=7。 3 、去层：用1：5腐蚀液在花篮中搅拌30-40秒。 4 、冲洗：将硅块在清洗槽中每次冲洗左右晃动三次以上。 5 、超洗： A、将15公斤锅底料投入超声波清洗槽内，打开清洗开关，每10分钟将硅块全部翻动一次，清洗30－40分钟后关闭超声清洗开关（料的大小决定超声时间，车间根 | |||||||||
浙江昱辉阳光能源有限公司 | 文件编号：Q03-JS-15 | ||||||||
腐蚀车间操作规范 | 版本号：A/1 | 页码：第3页 共3页 | |||||||
生效日期：2008年9月1日 | |||||||||
据实际情况有具体规定），将槽内清洗水放尽，再用高纯水冲洗硅块，将残留杂质冲净。 B、用高纯水再超两次（每次10分钟），每3分钟将硅块翻动一次，最后关闭超声波开关，放尽清洗水，用高纯水冲洗硅块，将残留杂质冲净。 6 、冲洗：将硅块放入冲洗槽中沖洗并搅拌。 7 、烘干：将硅块放入烘篮中，堆积厚度不超过15厘米，烘箱温度调至115℃，烘干1.5－2小时。 8 、拣料：将外表面灰暗、有大面积裂纹、裂纹中藏有杂质、外表附着杂质等锅底料拣出。 四、记录保存 记录表单在部门保存时间为1年。 五、相关记录 QR-08-06 生产日报表 QR- 15-16 腐蚀车间浸泡记录 QR-15-17 腐蚀车间超声波清洗记录 QR-15-18 腐蚀车间烘箱记录 | |||||||||
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