干燥装置及吸嘴干燥方法与流程

1.本公开涉及使吸嘴干燥的干燥装置及吸嘴干燥方法。

背景技术：

2.在下述专利文献中记载了通过空气的喷出使吸嘴干燥的技术。
3.现有技术文献
4.专利文献1：国际公开第2019/244197号

技术实现要素：

5.发明所要解决的课题
6.本说明书以通过空气的喷出使吸嘴适当地干燥为课题。
7.用于解决课题的技术方案
8.为了解决上述课题，本说明书公开一种干燥装置，其具备：凹部，用于插入吸嘴；空气的喷出口，形成于所述凹部的底面；及控制装置，使空气从所述喷出口向插入于所述凹部的吸嘴喷出。
9.另外，本说明书公开一种吸嘴干燥方法，通过从凹部的底面向插入于该凹部的吸嘴喷出空气，而使吸嘴干燥。
10.发明效果
11.根据本公开，通过从凹部的底面向插入于该凹部的吸嘴喷出空气，而能够适当地使吸嘴干燥。
附图说明
12.图1是表示电子元件安装装置的立体图。
13.图2是表示吸嘴的立体图。
14.图3是表示吸嘴管理装置的外观的立体图。
15.图4是表示吸嘴管理装置的内部结构的立体图。
16.图5是表示吸嘴干燥装置的剖视图。
17.图6是表示吸嘴干燥装置的立体图。
18.图7是表示吸嘴干燥装置的剖视图。
19.图8是表示吸嘴管理装置所具备的控制装置的框图。
20.图9是表示吸嘴干燥装置的剖视图。
21.图10是表示吸嘴干燥装置的剖视图。
22.图11是表示吸嘴干燥装置的剖视图。
23.图12是表示吸嘴干燥装置的剖视图。
24.图13是表示吸嘴干燥装置的剖视图。
25.图14是表示变形例的吸嘴干燥装置的剖视图。
具体实施方式
26.以下，参照附图对本公开的优选的实施方式详细地进行说明。
27.图1中示出电子元件安装装置10。首先，对电子元件安装装置10的结构进行说明。电子元件安装装置10具有一个系统基座12和在该系统基座12上相邻的两台电子元件安装机(以下，有时简称为安装机)14。此外，将安装机14的排列方向称为x轴方向，将与该方向呈直角的水平的方向称为y轴方向。
28.各安装机14主要具备：安装机主体20、输送装置22、安装头移动装置(以下，有时简称为移动装置)24、安装头26、供给装置28及吸嘴站30。安装机主体20由框架32和架设在该框架32上的横梁34构成。
29.输送装置22具备两个输送装置40、42。上述两个输送装置40、42以相互平行且沿着x轴方向延伸的方式配置在框架32上。两个输送装置40、42分别通过电磁电动机(图示省略)沿中x轴方向输送由各输送装置40、42支撑的电路基板。另外，电路基板在预定的位置由基板保持装置(图示省略)保持。
30.移动装置24是xy机器人型的移动装置。移动装置24具备使滑动件50沿着x轴方向滑动的电磁电动机(图示省略)和使滑动件50沿着y轴方向滑动的电磁电动机(图示省略)。在滑动件50安装有安装头26，该安装头26通过两个电磁电动机的动作而向框架32上的任意位置移动。
31.安装头26对电路基板安装电子元件。在安装头26的下端面设置有吸嘴60。如图2所示，吸嘴60由主体筒64、凸缘部66、吸附管68及卡定销70构成。主体筒64呈圆筒状，凸缘部66以向主体筒64的外周面伸出的方式固定。吸附管68呈较细的管状，在从主体筒64的下端部向下方延伸出的状态下，以能够沿着轴线方向移动的方式保持于主体筒64。卡定销70以沿着主体筒64的径向延伸的方式设置于主体筒64的上端部。吸嘴60利用卡定销70而以能够通过一次操作进行装卸的方式安装于安装头26。此外，在后述的图5、图7、图9至图14中省略卡定销70的图示。另外，在安装头26中内置有弹簧(图示省略)，该弹簧对安装于安装头26的吸嘴60的吸附管68施加弹性力。由此，该吸附管68被内置于安装头26的弹簧的弹性力向从主体筒64的下端部向下方延伸出的方向施力。另外，在凸缘部66的上表面附设有2d码74。在2d码74中，作为个别信息，表示吸嘴60的id(identification：身份证明)等。此外，也可以代替2d码74，而在凸缘部66的上表面附设条形码或rf标签。但是，在rf标签附设在凸缘部66的上表面的情况下，用于从rf标签取得个别信息的读取器被安装在后述的吸嘴管理装置(参照图3)80的移载头(参照图4)120上。
32.另外，吸嘴60经由负压空气、正压空气通路而与正负压供给装置(图示省略)连通。吸嘴60利用负压吸附保持电子元件，利用正压使保持的电子元件脱离。另外，安装头26具有使吸嘴60进行升降的吸嘴升降装置(图示省略)。通过该吸嘴升降装置，安装头26变更保持的电子元件的上下方向上的位置。
33.供给装置28是供料器型的供给装置，如图1所示，具有多个带式供料器72。带式供料器72对元件编带以卷绕的状态收容。元件编带是将电子元件带化的部件。并且，带式供料器72通过进给装置(图示省略)送出元件编带。由此，供料器型的供给装置28通过元件编带的送出而在供给位置供给电子元件。
34.吸嘴站30具有吸嘴托盘76。在吸嘴托盘76收容有多个吸嘴60。在该吸嘴站30中，根
据需要来进行安装于安装头26的吸嘴60和收容于吸嘴托盘76的吸嘴60的更换等。另外，吸嘴托盘76能够相对于吸嘴站30进行拆装，能够在安装机14的外部进行收容于吸嘴托盘76的吸嘴60的回收和吸嘴60向吸嘴托盘76的补给等。
35.接着，对安装机14的安装作业进行说明。在安装机14中，通过上述的结构，能够利用安装头26对保持于输送装置22的电路基板进行安装作业。具体而言，通过安装机14的控制装置(图示省略)的指令，电路基板被输送到作业位置，在该位置由基板保持装置保持。另外，带式供料器72通过控制装置的指令送出元件编带，在供给位置供给电子元件。并且，安装头26向电子元件的供给位置的上方移动，通过吸嘴60吸附保持电子元件。接着，安装头26向电路基板的上方移动，将所保持的电子元件安装到电路基板上。
36.在安装机14中，如上所述，通过吸嘴60吸附保持由带式供料器72供给的电子元件，将该电子元件安装在电路基板上。因此，在吸嘴60产生了不良情况的情况下，有可能无法适当地进行安装作业，因此需要适当地管理吸嘴60。因此，通过以下说明的吸嘴管理装置进行吸嘴60的管理。
37.接着，对吸嘴管理装置的结构进行说明。如图3所示，吸嘴管理装置80呈大致长方体形状，在正面设置有用于将吸嘴托盘76收纳在吸嘴管理装置80内或从吸嘴管理装置80取出吸嘴托盘76的门82。在该门82的上方，配置有显示各种信息并进行各操作的触摸面板86等。
38.如图4所示，吸嘴管理装置80具有：管理装置主体90、托盘收容装置92、吸嘴移载装置94、吸嘴检查装置96、吸嘴清洗装置98及吸嘴干燥装置100。此外，图4是表示拆下了吸嘴管理装置80的外壳构件的状态的立体图，表示吸嘴管理装置80的内部结构。另外，在吸嘴管理装置80上连接有控制装置200。此外，控制装置200的详细说明将在后面叙述。
39.管理装置主体90由框架102和架设于该框架102上的横梁104构成。框架102为中空构造，在框架102内配置有托盘收容装置92，托盘收容装置92的上端部在框架102的上表面露出。
40.托盘收容装置92包含多个托盘载置架106和支撑臂108。托盘载置架106是用于载置吸嘴托盘110的架子，多个托盘载置架106在框架102的内部在上下方向上排列配置。此外，在吸嘴托盘110中收容有多个吸嘴60。另外，支撑臂108通过臂移动装置(图示省略)的动作而在多个托盘载置架106的前方沿着上下方向移动，并且与托盘载置架106接近、分离。由此，通过支撑臂108进行吸嘴托盘110向托盘载置架106的收纳、吸嘴托盘110从托盘载置架106的取出。此外，通过支撑臂108向上方移动，从托盘载置架106取出的吸嘴托盘110向框架102的上表面侧移动。
41.吸嘴移载装置94是用于在吸嘴托盘76与吸嘴托盘110之间移载吸嘴60的装置，配置于横梁104。吸嘴移载装置94具有移载头120和头移动装置122。在移载头120的下端面安装有朝向下方的状态的相机126、用于保持吸嘴60的保持卡盘128及空气供给装置130。
42.如图5所示，保持卡盘128具有两根保持爪132，通过使这两根保持爪132接近，而在主体筒64处保持吸嘴60，通过使两根保持爪132分离，而使所保持的吸嘴60脱离。另外，在保持卡盘128的主体部134中形成有空气流路136。该空气流路136的下端部在两根保持爪132之间开口，上端部与空气供给装置130连接。因此，通过在保持卡盘128保持有吸嘴60的状态下，空气供给装置130向空气流路136供给空气，而从空气流路136的下端部向吸嘴60的内部
喷出空气。由此，向吸嘴60的内部喷入空气，从吸附管68的前端部喷出空气。而且，保持卡盘128具有使自身自转的自转装置(参照图8)138。由此，保持于保持卡盘128的吸嘴60自转。
43.另外，如图4所示，头移动装置122是使移载头120在框架102上在前后方向、左右方向、上下方向上移动的xyz型的移动装置。此外，在框架102的前方侧的上表面设置有用于安设吸嘴托盘76的固定台131，在安设于固定台131的吸嘴托盘76与支撑于托盘收容装置92的支撑臂108的吸嘴托盘110之间移载吸嘴60。
44.吸嘴检查装置96具有：相机140、测力传感器142及接头146。相机140以朝向上方的状态配置于框架102的上表面，使用相机140检查吸嘴60的前端部。详细而言，作为检查对象的吸嘴60由保持卡盘128保持，通过相机140从下方对保持于该保持卡盘128的吸嘴60进行拍摄。由此，得到吸嘴60的前端部的拍摄数据，基于该拍摄数据，检查吸嘴60的前端部的状态。
45.另外，测力传感器142配置在相机140的旁边，使用测力传感器142检查吸嘴60的前端部的伸缩状态。详细而言，作为检查对象的吸嘴60由保持卡盘128保持，保持于该保持卡盘128的吸嘴60的前端部与测力传感器142抵接。如上所述，吸嘴60的前端部可伸缩，基于由测力传感器142测定出的载荷来检查吸嘴60的前端部的伸缩状态。
46.另外，接头146配置于空气供给装置130的下表面，从该空气供给装置130供给空气。并且，使用从空气供给装置130向接头146供给的空气，进行吸嘴60的空气流量检查。详细而言，接头146通过头移动装置122的动作，而移动到载置于后述的清洗托盘158的吸嘴60的上方。并且，接头146与作为检查对象的吸嘴60连接，并从空气供给装置130供给空气。此时，测定空气压力，基于该空气压力，进行吸嘴60的空气流量检查。
47.此外，在框架102的上表面配置有多个废弃箱148，通过上述检查而判定为不良吸嘴的吸嘴60被废弃到废弃箱148中。另外，通过上述检查而判定为正常的吸嘴的吸嘴60返回到吸嘴托盘76或吸嘴托盘110。
48.吸嘴清洗装置98是进行吸嘴60的清洗及干燥的装置，配置在托盘收容装置92的旁边。吸嘴清洗装置98具备清洗、干燥机构150和清洗托盘移动机构152。清洗、干燥机构150是在内部进行吸嘴60的清洗及干燥的机构。另外，清洗托盘移动机构152是使清洗托盘158在清洗托盘158露出的露出位置(在图4中图示了清洗托盘158的位置)与清洗、干燥机构150的内部之间移动的机构。
49.吸嘴干燥装置100是进行吸嘴60的干燥的装置，配置在位于露出位置的清洗托盘158的旁边。如图6所示，吸嘴干燥装置100具有壳体160和吹气装置162。壳体160大致呈块状，在壳体160形成有三个有底孔164、166、168。各有底孔164、166、168在壳体160的上表面开口，并且形成为向下方凹陷的圆筒形状。并且，上述三个有底孔164、166、168的内部作为用于使吸嘴60干燥的三个干燥室170、172、174发挥功能。上述三个干燥室170、172、174的内径不同，干燥室170的内径最大，干燥室174的内径最小，干燥室172的内径为干燥室170的内径与干燥室174的内径的中间程度。另外，上述三个干燥室170、172、174的深度尺寸根据内径的尺寸而不同。具体而言，干燥室170的深度尺寸最深，干燥室172的深度尺寸最浅，干燥室174的深度尺寸比干燥室172的深度尺寸稍深，例如深1～3mm左右。此外，在区分三个干燥室170、172、174时，将干燥室170记载为第一干燥室170，将干燥室172记载为第二干燥室172，将干燥室174记载为第三干燥室174。
50.另外，如图6中的aa线处的剖视图即图5所示，在壳体160上以沿着有底孔164的径向延伸的方式形成有两个贯通孔176、178，上述两个贯通孔176、178在壳体160的外壁面和第一干燥室170的内壁面开口。贯通孔176随着从壳体160的外壁面靠近第一干燥室170的内壁面而朝向斜上方地贯通壳体160的侧壁。另一方面，贯通孔178在贯通孔176的上方以沿着大致水平方向延伸的方式贯通壳体160的侧壁。另外，在贯通孔176的在壳体160的外壁面的开口连结有阀180，在贯通孔178的在壳体160的外壁面的开口也连结有阀182。并且，阀180经由配管184而与吹气装置162连接，阀182经由配管186而与吹气装置162连接。由此，通过吹气装置162动作，并且阀180、182开放，而从贯通孔176、178向第一干燥室170的内部喷出空气。此外，阀180、182为常闭阀。
51.另外，如图6所示，在壳体160上形成有贯通孔188，该贯通孔188从有底孔166的底面、即第二干燥室172的底面向下方延伸出，朝着壳体160的外壁面呈直角地弯曲，并在壳体160的外壁面开口。在该贯通孔188的在壳体160的外壁面的开口连结有阀190，阀190经由配管192而与吹气装置162连接。由此，通过吹气装置162动作，并且阀190开放，而从贯通孔188向第二干燥室172的内部喷出空气。即，在第二干燥室172中，空气从第二干燥室172的底面向上方喷出。此外，阀190为常闭阀。
52.而且，在壳体160形成有贯通孔194，该贯通孔194从有底孔168的底面、即第三干燥室174的底面向下方延伸出，朝着壳体160的外壁面呈直角地弯曲，并在壳体160的外壁面开口。在该贯通孔194的在壳体160的外壁面的开口连结有阀196，阀196经由配管198而与吹气装置162连接。由此，通过吹气装置162动作，并且阀196，而从贯通孔194向第三干燥室174的内部喷出空气。即，在第三干燥室174中，从第三干燥室174的底面向上方喷出空气。此外，阀196为常闭阀。
53.另外，如图8所示，控制装置200具备控制器202和多个驱动电路206。多个驱动电路206与托盘收容装置92、空气供给装置130、自转装置138、吸嘴检查装置96、吸嘴清洗装置98、吹气装置162、阀180、182、190、196连接。控制器202具备cpu、rom、ram等，以计算机为主体，与多个驱动电路206连接。由此，托盘收容装置92、吸嘴移载装置94等的动作由控制器202控制。
54.在吸嘴管理装置80中，通过上述结构，为了适当地管理吸嘴60，进行吸嘴60的清洗等。详细而言，作业者将收容有作为清洗对象的吸嘴60的吸嘴托盘76载置在吸嘴管理装置80的固定台131上。在吸嘴管理装置80中，当在固定台131上载置了吸嘴托盘76时，相机126通过头移动装置122的动作而移动到载置的吸嘴托盘76的上方，对收容于吸嘴托盘76的吸嘴60进行拍摄。此时，控制器202基于通过该拍摄而得到的拍摄数据，取得收容于吸嘴托盘76的吸嘴60的id。并且，控制器202利用取得的吸嘴60的id，在吸嘴管理装置80中管理吸嘴60。此外，在控制装置200中针对每个吸嘴60的id存储有吸嘴60的尺寸等，也能够根据吸嘴60的id来取得吸嘴60的尺寸等。
55.并且，当通过拍摄收容于吸嘴托盘76的吸嘴60而取得了吸嘴60的id时，收容于吸嘴托盘76的吸嘴60通过吸嘴移载装置94被移载到吸嘴清洗装置98的清洗托盘158上。此时，清洗托盘158通过清洗托盘移动机构152的动作而移动到露出位置。并且，当完成了吸嘴60向清洗托盘158的移载时，清洗托盘158通过清洗托盘移动机构152的动作而移动到清洗、干燥机构150的内部，来进行吸嘴60的清洗及干燥。当清洗、干燥机构150对吸嘴60的清洗及干
燥完成时，清洗托盘158通过清洗托盘移动机构152的动作而从清洗、干燥机构150的内部移动到露出位置。此时，保持卡盘128通过头移动装置122的动作而向已移动到露出位置的清洗托盘158的上方移动。并且，通过空气供给装置130的动作，从保持卡盘128向搭载在清洗托盘158上的吸嘴60喷出空气。由此，水分从搭载在清洗托盘158上的吸嘴60的上表面、特别是凸缘部66的上表面等被吹走。
56.此外，吸嘴60通过在清洗、干燥机构150中的干燥及来自保持卡盘128的空气的喷出，进行已定程度的干燥。但是，由于在清洗、干燥机构150中的干燥及来自保持卡盘128的空气的喷出是在将吸嘴60搭载在清洗托盘158上的状态下进行的，因此有可能在吸嘴60上残留有水分。特别是，在吸嘴60中，如上所述，主体筒64与吸附管68能够相对移动，水会浸入主体筒64与吸附管68之间，因此存在浸入到主体筒64与吸附管68之间的水残留的情况。这样，在主体筒64与吸附管68之间残留有水分的吸嘴60在使用上述测力传感器142的检查中，有可能被判定为不良吸嘴。详细而言，如上所述，使用测力传感器142的检查是吸嘴60的前端部的伸缩状态的检查，在主体筒64与吸附管68之间残留有水分的吸嘴60中，由于水分，主体筒64与吸附管68之间的滑动阻力变大，由测力传感器142测定的载荷变高。因此，判定为吸嘴60的前端部的伸缩状态不适当判定，该吸嘴60有可能被判定为不良吸嘴。
57.鉴于这样的情况，在吸嘴管理装置80中，当清洗、干燥机构150中的干燥及来自保持卡盘128的空气的喷出完成时，使用吸嘴干燥装置100进行吸嘴60的干燥。详细而言，当清洗、干燥机构150中的干燥及来自保持卡盘128的空气的喷出完成时，通过保持卡盘128保持搭载于清洗托盘158的吸嘴60。接着，保持卡盘128通过头移动装置122的动作而移动到吸嘴干燥装置100的壳体160的第一干燥室170的上方并下降。顺便一提，第一干燥室170的内径在三个干燥室170、172、174中最大，第一干燥室170的深度尺寸在三个干燥室170、172、174中最深。因此，如图5所示，保持于保持卡盘128的吸嘴60的整体被插入到壳体160的第一干燥室170的内部。此外，保持卡盘128下降到吸嘴60的凸缘部66的下表面侧及吸附管68的侧面位于贯通孔178的横向的部位。
58.然后，在第一干燥室170的内部，保持于保持卡盘128的吸嘴60通过自转装置138的动作而自转。此时，通过空气供给装置130的动作从保持卡盘128喷出空气，从保持于保持卡盘128的吸嘴60的上方喷出的空气被吹送到吸嘴60的内部。这样，通过向吸嘴60的内部吹送空气，而吸附管68相对于主体筒64向下方相对移动，并向下方延伸出。由此，在凸缘部66的下侧，吸附管68相对于主体筒64的滑动面露出。另外，在保持卡盘128自转时，吹气装置162动作，并且阀180、182开放，由此从贯通孔176、178向自转的吸嘴60喷出空气。此时，从贯通孔178喷出的空气被吹送到从吸嘴60的主体筒64露出的吸附管68的滑动面，并且从贯通孔176喷出的空气被吹送到吸嘴60的吸附管68的前端。即，从贯通孔176、178喷出的空气在吸嘴60的整周上吹向凸缘部66的下方整体。由此，能够适当地去除残留在主体筒64与吸附管68之间的水分。此外，吸嘴干燥装置100也可以去除水分以外的附着物，具体而言，例如油分、尘埃、电子元件或其一部分、焊料、粘接剂等。
59.这样，在吸嘴干燥装置100中，能够通过向保持于保持卡盘128的吸嘴60喷出空气，而使吸嘴60适当地干燥。但是，在吸嘴干燥装置100中，由于管理尺寸不同的多个种类的吸嘴，因此有可能无法通过上述方法适当地使大尺寸的吸嘴干燥。具体而言，在吸嘴干燥装置100中，还管理吸嘴直径比吸嘴60的吸嘴直径大的吸嘴210(参照图9)。该吸嘴210在由吸嘴
清洗装置98清洗后，由保持卡盘128保持，如图9所示地插入于第一干燥室170。此外，由于第一干燥室170的内径比吸嘴210的凸缘部212的外径大，因此能够将吸嘴210整体插入到第一干燥室170。此时，保持卡盘128下降到吸嘴210的凸缘部212的下表面侧及吸附管214的侧面位于贯通孔178的横向的部位，而吸嘴210插入到第一干燥室170。
60.并且，保持于保持卡盘128的吸嘴210也与吸嘴60相同地自转，并且从贯通孔176、178喷出空气，从保持卡盘128也喷出空气。由此，在凸缘部212的下侧，吸附管214相对于主体筒216的滑动面露出，从贯通孔178喷出的空气向吸嘴210的凸缘部212的下表面侧及从主体筒216露出的吸附管214的滑动面吹送。但是，由于吸嘴210比吸嘴60大，因此从贯通孔176喷出的空气也向吸嘴210的吸附管214的滑动面吹送。即，在第一干燥室170中，在向保持于保持卡盘128的吸嘴210吹送空气时，向吸嘴210的凸缘部212的下表面侧及吸附管214的侧面吹送空气，但不向吸附管214的前端吹送空气。因此，通过第一干燥室170中的空气的吹送，有可能无法使吸嘴210整体适当地干燥。
61.因此，当保持于保持卡盘128的吸嘴210在第一干燥室170中的干燥结束时，如图7所示，插入到吸嘴干燥装置100的第二干燥室172。但是，由于吸嘴210的凸缘部212的外径比第二干燥室172的内径大，因此仅吸嘴210的吸附管214插入到第二干燥室172。此时，以使第二干燥室172的壳体160上的上表面的开口被吸嘴210的凸缘部212覆盖的方式，将吸嘴210的吸附管214插入第二干燥室172。但是，以使在壳体160的上表面与吸嘴210的凸缘部212的下表面之间形成微小的间隙、例如0.5mm左右的间隙的方式，使第二干燥室172的壳体160上的上表面的开口被凸缘部212覆盖。
62.另外，第二干燥室172的深度尺寸设为与吸嘴210的尺寸对应的尺寸。具体而言，第二干燥室172的深度尺寸比吸嘴210伸长的状态、即吸附管214从主体筒216延伸出的状态下的凸缘部212的下表面与吸附管214的前端面之间的距离(以下，记载为“管嘴前端距离”)稍长。因此，例如，第二干燥室172的深度尺寸比管嘴前端距离长2mm左右，在吸嘴210被插入到第二干燥室172时，在壳体160的上表面与凸缘部212的下表面之间存在0.5mm左右的间隙的情况下，吸附管214的前端与第二干燥室172的底面之间的距离为1.5mm左右。即，在吸嘴210的吸附管214被插入到第二干燥室172时，吸附管214的前端接近至非常接近第二干燥室172的底面。此时，由于在第二干燥室172的底面形成有贯通孔188，因此插入到第二干燥室172的吸嘴210的吸附管214的前端在非常近的位置与贯通孔188的开口相对。
63.这样，当保持于保持卡盘128的吸嘴210的吸附管214插入到第二干燥室172时，首先，通过空气供给装置130的动作从保持卡盘128喷出空气，从保持于保持卡盘128的吸嘴210的上方喷出的空气被吹送到吸嘴210的内部。这样，通过向吸嘴210的内部吹送空气，而吸附管214相对于主体筒216向下方相对移动，并向下方延伸出。由此，在凸缘部212的下侧，吸附管214相对于主体筒216的滑动面露出。另外，吸附管214的前端下降到非常接近在第二干燥室172的底面开口的贯通孔188的开口。
64.接着，空气供给装置130的动作停止，来自保持卡盘128的空气的喷出停止后，吹气装置162动作，并且阀190开放。由此，朝向下降到非常接近贯通孔188的开口的吸附管214的前端，从该贯通孔188的开口喷出空气。此时，通过从吸附管214的前端的非常接近的贯通孔188的开口喷出的空气，将附着在吸附管214的前端的水分吹走。此外，吸附管214变形后进行图示，实际的吸附管214的外径比贯通孔188的内径小。因此，从贯通孔188喷出的空气不
仅向吸附管214的前端面吹送，也向吸附管214的侧面吹送，从主体筒216露出的吸附管214整体的水分被吹走。另外，如图10所示，通过从贯通孔188喷出的空气，而吸附管214相对于主体筒216向上方相对移动，从而向上方延伸出，在主体筒216的上侧，吸附管214相对于主体筒216的滑动面露出。
65.并且，在主体筒216的上侧，当吸附管214相对于主体筒216的滑动面露出时，吹气装置162的动作停止，并且阀190关闭，停止来自贯通孔188的空气的喷出后，再次通过空气供给装置130的动作从保持卡盘128喷出空气。此时，从保持卡盘128向在主体筒216的上侧露出的吸附管214的滑动面吹送空气。由此，在主体筒216的上侧露出的吸附管214的滑动面上附着的水分被吹走。并且，通过来自保持卡盘128的空气的喷出，如图7所示，吸附管214再次向下方延伸出。
66.这样，当通过来自保持卡盘128的空气的喷出，吸附管214向下方延伸出时，空气供给装置130的动作停止，来自保持卡盘128的空气的喷出停止后，吹气装置162再次动作，并且阀190开放。由此，如图10所示，从贯通孔188喷出空气，吸附管214再次向上方延伸出。即，在第二干燥室172中，交替地进行来自保持卡盘128的空气的喷出和来自贯通孔188的空气的喷出，在使吸附管214相对于主体筒216上下反复滑动的状态下，向吸附管214喷出空气。由此，能够适当地去除残留在吸嘴210的主体筒216与吸附管214之间的水分。
67.即，吸嘴直径比吸嘴60的吸嘴直径大的吸嘴210在第一干燥室170中，向凸缘部212的下方的吸附管214的除了前端以外的部位吹送空气。并且，在第一干燥室1702中的空气向吸嘴210的吹送完成后，在第二干燥室172中，向吸附管214的前端吹送空气，并且在使吸附管214相对于主体筒216滑动的状态下，向吸附管214吹送空气。由此，能够使吸嘴210整体适当地干燥。特别是，在第二干燥室172中，从第二干燥室172的底面喷出空气，该喷出的空气直接向吸附管214的前端吹送。由此，能够适当地使吸嘴210干燥。进一步而言，由于第二干燥室172的深度尺寸设为与吸嘴210的尺寸对应的尺寸，因此插入到第二干燥室172的吸附管214的前端与第二干燥室172的底面之间的距离非常短，从非常接近吸附管214的前端的位置吹送空气。由此，能够更适当地使吸嘴210干燥。此外，在第二干燥室172中，从保持卡盘128及贯通孔188喷出的空气从壳体160的上表面与吸嘴210的凸缘部212的下表面之间的间隙泄漏。由此，第二干燥室172内的空气压力的上升被抑制。
68.另外，在吸嘴干燥装置100中，还管理吸嘴直径比吸嘴60的吸嘴直径大，但比吸嘴210的吸嘴直径小的吸嘴230(参照图11)。该吸嘴230也在由吸嘴清洗装置98清洗后，由保持卡盘128保持，如图11所示，向第一干燥室170插入。此外，由于第一干燥室170的内径比吸嘴230的凸缘部232的外径大，因此能够将吸嘴230整体插入到第一干燥室170。此时，保持卡盘128下降到吸嘴230的凸缘部232的下表面侧及吸附管234的侧面位于贯通孔178的横向的部位，而吸嘴230插入到第一干燥室170。
69.并且，保持于保持卡盘128的吸嘴230也与吸嘴60相同地自转，并且从贯通孔176、178喷出空气，从保持卡盘128也喷出空气。由此，在凸缘部232的下侧，吸附管234相对于主体筒236的滑动面露出，从贯通孔178喷出的空气向吸嘴60的凸缘部232的下表面侧及从主体筒236露出的吸附管234的滑动面吹送。但是，由于吸嘴230也比吸嘴60大，因此从贯通孔176喷出的空气被向吸附管234的滑动面吹送，而不被向吸附管234的前端吹送。因此，通过第一干燥室170中的空气的吹送，无法使吸嘴230整体适当地干燥。
70.因此，当保持于保持卡盘128的吸嘴230在第一干燥室170中的干燥结束了时，如图12所示，向吸嘴干燥装置100的第三干燥室174插入。但是，由于吸嘴230的凸缘部232的外径比第三干燥室174的内径大，因此仅吸嘴230的吸附管234插入到第三干燥室174中。此时，以使第三干燥室174的壳体160上的上表面的开口被吸嘴230的凸缘部232覆盖的方式，将吸嘴230的吸附管234插入到第三干燥室174。但是，以使在壳体160的上表面与吸嘴230的凸缘部232的下表面之间形成微小的间隙、例如0.5mm左右的间隙的方式，使第三干燥室174的壳体160上的上表面的开口被凸缘部232覆盖。
71.另外，第三干燥室174的深度尺寸设为与吸嘴230的尺寸对应的尺寸。具体而言，第三干燥室174的深度尺寸比吸嘴230伸长的状态下的凸缘部232的下表面与吸附管234的前端面之间的距离、即管嘴前端距离稍长。因此，例如，第三干燥室174的深度尺寸比管嘴前端距离长2mm左右，在吸嘴230被插入到第三干燥室174时，在壳体160的上表面与凸缘部232的下表面之间存在0.5mm左右的间隙的情况下，吸附管234的前端与第三干燥室174的底面之间的距离为1.5mm左右。即，在吸嘴230的吸附管234被插入到第三干燥室174时，吸附管234的前端接近至非常接近第三干燥室174的底面。此时，由于在第三干燥室174的底面形成有贯通孔194，因此插入到第三干燥室174的吸嘴230的吸附管234的前端在非常接近的位置与贯通孔194的开口相对。
72.这样，当保持于保持卡盘128的吸嘴230的吸附管234被插入到第三干燥室174时，与第二干燥室172相同地，交替地进行来自保持卡盘128的空气的喷出和来自贯通孔194的空气的喷出。即，首先，通过空气供给装置130的动作从保持卡盘128喷出空气，从保持于保持卡盘128的吸嘴230的上方喷出的空气被向吸嘴230的内部吹送。由此，如图12所示，吸附管234相对于主体筒236向下方相对移动，并向下方延伸出，由此，在凸缘部232的下侧，吸附管234相对于主体筒236的滑动面露出。另外，吸附管234的前端下降到非常接近在第三干燥室174的底面开口的贯通孔194的开口。
73.接着，空气供给装置130的动作停止，来自保持卡盘128的空气的喷出停止后，吹气装置162动作，并且阀196开放。由此，朝向下降到非常接近贯通孔194的开口的吸附管234的前端，从该贯通孔194的开口喷出空气。此时，通过从吸附管234的前端的非常接近的贯通孔194的开口喷出的空气，而附着在吸附管234的前端的水分被吹走。此外，吸附管234变形后进行图示，实际的吸附管234的外径比贯通孔194的内径小。因此，从贯通孔194喷出的空气不仅向吸附管234的前端面吹送，也向吸附管234的侧面吹送，从主体筒236露出的吸附管234整体的水分被吹走。另外，如图13所示，通过从贯通孔194喷出的空气，吸附管234相对于主体筒236向上方相对移动，从而向上方延伸出，在主体筒236的上侧，吸附管234相对于主体筒236的滑动面露出。
74.并且，通过交替地进行来自保持卡盘128的空气的喷出和来自贯通孔194的空气的喷出，在使吸附管234相对于主体筒236上下反复滑动的状态下，向吸附管234喷出空气。由此，能够适当地去除残留在吸嘴230的主体筒236与吸附管234之间的水分。
75.即，吸嘴直径比吸嘴60的吸嘴直径大且比吸嘴210的吸嘴直径小的吸嘴230在第一干燥室170中，向凸缘部232的下方的吸附管234的除了前端以外的部位吹送空气。然后，在第一干燥室170中的空气向吸嘴230的吹送完成后，在第三干燥室174中，向吸附管234的前端吹送空气，并且在使吸附管234相对于主体筒236滑动的状态下，向吸附管234吹送空气。
由此，能够使吸嘴230整体适当地干燥。特别是，在第三干燥室174中，也从第三干燥室174的底面喷出空气，该喷出的空气直接被向吸附管234的前端吹送。由此，能够适当地使吸嘴230干燥。进一步而言，由于第三干燥室174的深度尺寸设为与吸嘴230的尺寸对应的尺寸，因此插入到第三干燥室174的吸附管234的前端与第三干燥室174的底面之间的距离非常短，从非常接近吸附管234的前端的位置吹送空气。由此，能够更适当地使吸嘴230干燥。此外，在第三干燥室174中，从保持卡盘128及贯通孔194喷出的空气从壳体160的上表面与吸嘴230的凸缘部232的下表面之间的间隙泄漏。由此，第三干燥室174内的空气压力的上升被抑制。
76.这样，在吸嘴管理装置80中，比较的小的尺寸的吸嘴60通过第一干燥室170中的空气的吹送被干燥。另外，比较的大的尺寸的吸嘴210通过第一干燥室170中的空气的吹送被干燥后，通过第二干燥室172中的空气的吹送被干燥。另外，吸嘴60与吸嘴210的中间程度的尺寸的吸嘴230在通过第一干燥室170中的空气的吹送被干燥后，通过第三干燥室174中的空气的吹送被干燥。即，在吸嘴管理装置80中，吸嘴根据尺寸而在三个干燥室170、172、174中的一个以上的干燥室中被干燥。由此，能够使各种尺寸的吸嘴适当地干燥。
77.此外，干燥对象的吸嘴的尺寸基于先前取得的吸嘴的id来判定。即，当吸嘴被收纳于吸嘴管理装置80时，如上所述，基于相机126的拍摄数据，控制器202取得吸嘴的id。另外，在控制装置200中存储有吸嘴的id和该吸嘴的尺寸建立对应而得到的数据。因此，控制器202通过参照该数据，基于干燥对象的吸嘴的id，来确定干燥对象的吸嘴的尺寸。并且，控制器202根据确定出的吸嘴的尺寸，利用上述的方法使吸嘴干燥。
78.顺便一提，用与吸嘴的尺寸对应的方法干燥后的吸嘴在吸嘴检查装置96中被进行检查，检查结果良好的吸嘴被收纳在载置于固定台131的吸嘴托盘76或托盘收容装置92的吸嘴托盘110中。另外，检查结果不良好的吸嘴被废弃到配置在固定台131的旁边的废弃箱148中。
79.另外，吸嘴60是吸嘴的一例。凸缘部66是凸缘部的一例。吸附管68是管嘴的一例。吸嘴干燥装置100是干燥装置的一例。第二干燥室172是凹部的一例。第三干燥室174是凹部的一例。贯通孔188的开口是喷出口的一例。贯通孔194的开口是喷出口的一例。控制装置200是控制装置的一例。吸嘴210是吸嘴的一例。凸缘部212是凸缘部的一例。吸附管214是管嘴的一例。吸嘴230是吸嘴的一例。凸缘部232是凸缘部的一例。吸附管234是管嘴的一例。
80.以上，在上述的本实施方式中，起到以下的效果。
81.在吸嘴干燥装置100中，在第二干燥室172和第三干燥室174各自中，从形成于第二干燥室172和第三干燥室174各自的底面的贯通孔188和贯通孔194分别向吸嘴210、230喷出空气。由此，能够向吸嘴210、230直接喷出空气，能够适当地使吸嘴210、230干燥。
82.另外，在吸嘴干燥装置100中，第二干燥室172的内径和第三干燥室174的内径不同，第二干燥室172的深度和第三干燥室174的深度根据内径而不同。即，第二干燥室172和第三干燥室174的深度尺寸设为与分别向第二干燥室172和第三干燥室174插入的吸嘴的管嘴前端距离对应的尺寸。由此，能够缩短第二干燥室172和第三干燥室174各自的底面与吸附管的前端之间的距离，通过从非常接近吸附管的位置向吸附管喷出空气，而能够适当地使吸嘴干燥。
83.另外，在吸嘴干燥装置100中，第二干燥室172的内径比吸嘴210的凸缘部212的外径小，第三干燥室174的内径比吸嘴230的凸缘部232的外径小。由此，在由凸缘部212、232覆
盖第二干燥室172或第三干燥室174的开口的状态下，通过向插入第二干燥室172或第三干燥室174的吸附管214、234喷出空气，而能够适当地使吸嘴干燥。
84.另外，在吸嘴干燥装置100中，朝向吸嘴210、230伸缩的管嘴、即吸附管214、234，在第二干燥室172或第三干燥室174中，从底面喷出空气。由此，能够适当地去除进入吸附管214、234的滑动面的水滴等，能够适当地使吸嘴干燥。
85.另外，在吸嘴干燥装置100中，在插入第到二干燥室172或第三干燥室174的吸附管214、234的前端与第二干燥室172或第三干燥室174的底面之间的距离为5mm以下，具体而言，为1.5mm左右的位置，向吸附管214、234喷出空气。由此，通过从非常接近吸附管214、234的前端的位置向吸附管214、234喷出空气，能够适当地使吸嘴干燥。
86.此外，本公开不限于上述实施例，而是可以基于本领域技术人员的知识以各种修改和改进的各种形式来实施。具体而言，例如，在上述实施方式中，形成有在第二干燥室172或第三干燥室174的底面开口的贯通孔188、194，但也可以形成在侧面开口的贯通孔。具体而言，例如，如图14所示，也可以在作为第二干燥室250发挥功能的有底孔252的侧面开口的贯通孔254，形成在作为第三干燥室260发挥功能的有底孔262的侧面开口的贯通孔264。在这种情况下，从贯通孔254、264喷出的空气在有底孔252、262的底面反射，从有底孔252、262的底面向吸嘴210、230吹送。此外，通过在有底孔252、262的底面形成倾斜部、凸部等，能够从有底孔252、262的底面适当地向吸嘴吹送空气。
87.另外，在上述实施方式中，吸嘴210、230在第一干燥室170中被干燥后，在第二干燥室172或第三干燥室174中被干燥，但也可以在第二干燥室172或第三干燥室174中被干燥后，在第一干燥室170中被干燥。
88.另外，在上述实施方式中，吸嘴210、230在三个干燥室170、172、174中的两个干燥室中被干燥，但也可以在一个干燥室中被干燥。在这种情况下，需要设置能够向吸嘴210、230整体吹送空气的干燥室。具体而言，例如，通过在第一干燥室170设置形成有与第二干燥室172的贯通孔188相同的贯通孔的干燥室，在该一个干燥室中，能够向吸嘴210、230的整体吹送空气。
89.另外，在上述实施方式中，例如，以在壳体160的上表面与吸嘴的凸缘部的下表面之间形成微小的间隙的方式，通过凸缘部覆盖第二干燥室172的壳体160上的上表面的开口，由此第二干燥室172的空气压力的上升被抑制。另一方面，也可以通过在第二干燥室172或贯通孔188形成泄漏孔，由此抑制第二干燥室172的空气压力的上升。在这种情况下，也可以以使壳体160的上表面与吸嘴的凸缘部的下表面紧贴的方式，通过凸缘部212覆盖第二干燥室172的壳体160上的上表面的开口。另外，通过在该泄漏孔配置消音器，能够抑制风噪声。此外，在第三干燥室174中，当然，也可以采用相同的方法。
90.附图标记说明
91.60：吸嘴66：凸缘部68：吸附管(管嘴)100：吸嘴干燥装置(干燥装置)172：第二干燥室(凹部)174：第三干燥室(凹部)188：贯通孔(喷出口)194：贯通孔(喷出口)200：控制装置210：吸嘴212：凸缘部214：吸附管(管嘴)230：吸嘴232：凸缘部234：吸附管(管嘴)。

技术特征：

1.一种干燥装置，具备：凹部，用于插入吸嘴；空气的喷出口，形成于所述凹部的底面；及控制装置，使空气从所述喷出口向插入于所述凹部的吸嘴喷出。2.根据权利要求1所述的干燥装置，其中，所述干燥装置具备内径不同的多个所述凹部，所述多个凹部的深度根据所述内径而不同。3.根据权利要求1或2所述的干燥装置，其中，所述吸嘴具有凸缘部，所述凹部的内径比向该凹部插入的吸嘴的凸缘部的外形小。4.根据权利要求1至3中任一项所述的干燥装置，其中，所述吸嘴具有能够伸缩的管嘴，所述控制装置使空气从所述喷出口向插入于所述凹部的吸嘴的管嘴喷出。5.一种吸嘴干燥方法，通过从凹部的底面向插入于该凹部的吸嘴喷出空气而使吸嘴干燥。6.根据权利要求5所述的吸嘴干燥方法，其中，在插入于所述凹部的吸嘴的前端与所述凹部的底面之间的距离为5mm以下的位置，从所述凹部的底面向插入于所述凹部的吸嘴喷出空气。

技术总结

干燥装置具备：凹部，用于插入吸嘴；空气的喷出口，形成于凹部的底面；及控制装置，使空气从喷出口向插入于凹部的吸嘴喷出。从喷出口向插入于凹部的吸嘴喷出。从喷出口向插入于凹部的吸嘴喷出。

技术研发人员：

三浦和马 下坂贤司

受保护的技术使用者：

株式会社富士

技术研发日：

2020.04.01

技术公布日：

2022/11/24