一种纳米压印的脱模方法与流程

1.本发明涉及汽车配件技术领域，具体为一种纳米压印的脱模方法。

背景技术：

2.目前，微电子加工技术已经进入纳米时代，随着特征尺寸的进一步缩写，下一代光刻技术急需解决。纳米压印技术极有可能成为下一代光刻技术，因为它具有工艺简单、成本低、效率高的优点。由于它是基于物理变形复制图案，不受光学衍射等因素影响，它具有较高的分辨率，可加工5纳米的图案。纳米压印模板制备成本昂贵、制备时间长，在压印过程中易于损伤，所以必须最大限度地提高纳米压印的模板寿命缩短工艺周期。
3.纳米压印模板表面凸起或凹陷结构越多，意味着与聚合物接触的表面积越多，越容易引起聚合物和模板间的粘连。目前较为通用的方法是通过对模板表面施加一层抗粘连层来减少粘连现象。这种方法并不能完全消除粘连引起的模板磨损和复制缺陷，为进一步减少由于粘连问题带来的问题，本发明提出一种比较简单直接的方法来进一步改进纳米压印工艺。

技术实现要素：

4.(一)解决的技术问题
5.针对现有技术的不足，本发明提供了一种纳米压印的脱模方法，解决了现有的纳米压印模板的表面容易与胶层发生粘连的问题。
6.(二)技术方案
7.为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：一种纳米压印的脱模方法，包括以下步骤：
8.s1：在模板的下侧面上涂覆聚氯乙烯涂层，通过电子加速器辐射作用使聚氯乙烯变成网状结构；
9.s2：将纳米压印胶材料涂覆于衬底上，形成压印胶层；
10.s3：将模板压入压印胶层；
11.s4：通过uv灯对待压印胶层进行固化定型，对模板进行加热，将聚氯乙烯涂层与压印成型的胶层分离；
12.s5：移开模板，完成脱模过程。
13.优选的，所述衬底采用pet材料或者pi材料制成。
14.优选的，所述纳米压印胶材料采用uv胶。
15.优选的，所述模板为采用硅、二氧化硅、氧化硅中的一种制成的硬质材料。
16.优选的，所述聚氯乙烯涂层的下侧面涂覆有一层高分子抗黏层。
17.优选的，所述模板的加热温度设置为50摄氏度，所述模板的加热过程作用于整个脱模过程。
18.优选的，所述uv灯的中心波长为365nm，功率为195mj/平方厘米。
19.优选的，所述模板在压入压印胶层前通过粘连沾有酒精的无尘布对模板的下侧面进行擦拭。
20.(三)有益效果
21.本发明提供了一种纳米压印的脱模方法。具备以下有益效果：
22.该脱模方法在模板的下表面涂覆一层热缩性好的聚氯乙烯涂层，在模板需要与胶层表面发生脱模时，对模板进行加热，由于纳米压印胶材料的收缩率低，因此聚氯乙烯涂层与纳米压印胶材料之间的热缩性不同，聚氯乙烯涂层会收缩并与纳米压印胶材料之间产生相对位移，极小的脱模力就可以实现模板和胶层的分离。
具体实施方式
23.下面将对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
24.实施例一：
25.本发明实施例提供一种纳米压印的脱模方法，包括以下步骤：
26.s1：在模板的下侧面上涂覆聚氯乙烯涂层，通过电子加速器辐射作用使聚氯乙烯变成网状结构，具有较高的热缩性，所述模板为采用硅、二氧化硅、氧化硅中的一种制成的硬质材料，便于uv灯的紫外线穿过，并且可以避免变形，所述聚氯乙烯涂层的下侧面涂覆有一层高分子抗黏层，减少纳米压印胶材料与聚氯乙烯涂层的粘连，所述模板进行压膜过程前通过粘连沾有酒精的无尘布对模板的下侧面进行擦拭。
27.s2：将纳米压印胶材料涂覆于衬底上，形成压印胶层，所述衬底采用pet或者pi材料制成，表面平滑有光泽、耐疲劳性、耐摩擦性和尺寸稳定性好、磨耗小、硬度高、韧性好、抗张强度以及抗冲击强度高、尺寸稳定性好，所述纳米压印胶材料采用uv胶，uv胶由基础树脂、活化单体、光引发剂为主要成分，配以稳定剂、交联剂、偶联剂等助剂组成，各成分的作用分别为聚合过程和成膜性能、引发聚合、调节膜厚、以及调节流动性和表面性能，在紫外线光照下，光引发剂迅速产生自由基或者离子，进而引发基础树脂和活化单体聚合交联成网络结构，在短时间内发生固化，从液态转化为固态，纳米压印胶还有特殊的性质，如低黏度、高杨氏模量、快速固化、低收缩率和抗等离子体刻蚀特性等,其中，衬底采用pet材料时，模板应采用透明的硬质材料制成，衬底采用pi材料时，模板应采用不透明的硬质材料制成。
28.s3：将模板压入压印胶层，模板在压入压印胶层前通过粘连沾有酒精的无尘布对模板的下侧面进行擦拭，防止模板表面的灰尘影响纳米压印质量。
29.s4：通过uv灯对待压印胶层进行固化定型，所述uv灯的中心波长为365nm，功率为195mj/平方厘米，对模板进行加热，将聚氯乙烯涂层与压印成型的胶层分离，所述模板的加热温度设置为50摄氏度，所述模板的加热过程作用于整个脱模过程，辐射化后的
30.s5：移开模板，完成脱模过程。
31.尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

技术特征：

1.一种纳米压印的脱模方法，其特征在于，包括以下步骤：s1：在模板的下侧面上涂覆聚氯乙烯涂层，通过电子加速器辐射作用使聚氯乙烯变成网状结构；s2：将纳米压印胶材料涂覆于衬底上，形成压印胶层；s3：将模板压入压印胶层；s4：通过uv灯对待压印胶层进行固化定型，对模板进行加热，将聚氯乙烯涂层与压印成型的胶层分离；s5：移开模板，完成脱模过程。2.根据权利要求1所述的一种纳米压印的脱模方法，其特征在于：所述衬底采用pet材料或者pi材料制成。3.根据权利要求1所述的一种纳米压印的脱模方法，其特征在于：所述纳米压印胶材料采用uv胶。4.根据权利要求1所述的一种纳米压印的脱模方法，其特征在于：所述模板为采用硅、二氧化硅、氧化硅中的一种制成的硬质材料。5.根据权利要求1所述的一种纳米压印的脱模方法，其特征在于：所述聚氯乙烯涂层的下侧面涂覆有一层高分子抗黏层。6.根据权利要求1所述的一种纳米压印的脱模方法，其特征在于：所述模板的加热温度设置为50摄氏度，所述模板的加热过程作用于整个脱模过程。7.根据权利要求1所述的一种纳米压印的脱模方法，其特征在于：所述uv灯的中心波长为365nm，功率为195mj/平方厘米。8.根据权利要求1所述的一种纳米压印的脱模方法，其特征在于：所述模板在压入压印胶层前通过粘连沾有酒精的无尘布对模板的下侧面进行擦拭。

技术总结

本发明提供一种纳米压印的脱模方法，涉及纳米压印技术领域。该纳米压印的脱模方法，包括以下步骤：S1：在模板的下侧面上涂覆聚氯乙烯涂层，通过电子加速器辐射作用使聚氯乙烯变成网状结构；S2：将纳米压印胶材料涂覆于衬底上，形成压印胶层；S3：将模板压入压印胶层S4：通过UV灯对待压印胶层进行固化定型，对模板进行加热，将聚氯乙烯涂层与压印成型的胶层分离；S5：移开模板，完成脱模过程。在模板需要与胶层表面发生脱模时，对模板进行加热，由于纳米压印胶材料的收缩率低，因此聚氯乙烯涂层与纳米压印胶材料之间的热缩性不同，聚氯乙烯涂层会收缩并与纳米压印胶材料之间产生相对位移，极小的脱模力就可以实现模板和胶层的分离。离。