一种异质金属电极的声表面波谐振器及滤波器的制作方法

1.本发明涉及通信技术领域，尤其涉及一种异质金属电极的声表面波谐振器及滤波器。

背景技术：

2.随着通信技术发展，产品终端对各类器件的性能提出了严格的要求，滤波器是通信系统的关键器件，声表滤波器在通信系统中的作用愈发重要。
3.声表滤波器广泛应用于射频前端，具有插损低、带宽宽、体积小等优点，但是声表面波谐振器存在各种杂波模态，严重影响了滤波器的性能，而横向模式波纹就是其中一种主要的杂波模态。
4.当前主流的横向模抑制方案是采用piston-mode结构。但是piston-mode结构在指条边缘形成的更小的间隙，对于设备和工艺的关键尺寸(cd)要求更高，特别是对中高频产品，设计和加工难度较高；此外还在该区域破坏了指条连续性，易于引入其他的寄生模式。

技术实现要素：

5.本发明提供了一种异质金属电极的声表面波谐振器及滤波器，以解决声表面波谐振器存在横向模，严重影响了滤波器的性能的问题，进而降低了能量损耗。
6.根据本发明的一方面，提供了一种异质金属电极的声表面波谐振器，其中，包括插指换能器；
7.所述插指换能器包括汇流条以及多条长指电极，所述汇流条包括第一汇流条和第二汇流条；所述长指电极包括第一长指电极和第二长指电极；
8.所述第一长指电极和所述第二长指电极均沿第一方向延伸，沿第二方向排布；所述第一长指电极的第一端与所述第一汇流条连接；所述第二长指电极的第一端与所述第二汇流条连接；所述第一方向与所述第二方向交叉；
9.所述第一汇流条和所述第二汇流条沿所述第一方向相对设置；所述第一长指电极与所述第二长指电极沿所述第二方向交叉设置；多条所述长指电极宽度相等、长度相等以及间隔相等；
10.每条所述长指电极均包括至少一条异质金属电极，所述异质金属电极与所述长指电极叠拼；所述异质金属电极沿所述第一方向延伸，沿所述第二方向排布；
11.所述汇流条、所述长指电极的材料密度为第一密度；所述异质金属电极的材料密度为第二密度；所述第一密度小于所述第二密度。
12.可选的，所述异质金属电极包括第一异质金属电极；所述第一异质金属电极设置于所述长指电极的第二端；其中，所述长指电极的第二端为远离所述长指电极与所述汇流条连接的一端；
13.多条所述第一异质金属电极沿所述第二方向交替平行。
14.可选的，所述异质金属电极的声表面波谐振器在谐振时的波长为λ；所述第一异质
金属电极与相邻的所述汇流条之间的间隙宽度为g_dum；其中，0.2λ≤g_dum≤2λ。
15.可选的，所述异质金属电极还包括第二异质金属电极；
16.每条所述长指电极均包括一条第一异质金属电极和至少一条第二异质金属电极；所述第一异质金属电极与所述第二异质金属电极沿所述第一方向排布；
17.所述第一异质金属电极与所述第二异质金属电极之间的间隔为w_dum；其中0.2λ≤w_dum≤2λ。
18.可选的，每条所述长指电极均包括一条第一异质金属电极和一条第二异质金属电极；
19.所述第二异质金属电极与相邻所述长指电极的所述第二端，在所述第二方向平行。
20.可选的，所述的异质金属电极的声表面波谐振器，还包括第一反射栅单元和第二反射栅单元；
21.所述第一反射栅单元和所述第二反射栅单元沿所述第二方向对称设置于所述插指换能器两侧；
22.所述第一反射栅单元和所述第二反射栅单元包括多条反射栅和多条异质金属反射栅；
23.所述异质金属反射栅与所述反射栅叠拼；所述异质金属反射栅在所述第二方向与所述异质金属电极平行设置。
24.可选的，所述异质金属反射栅与每条所述反射栅叠拼，或者，所述异质金属反射栅交替与所述反射栅叠拼。
25.可选的，所述长指电极的宽度为第一宽度，厚度为第一厚度；所述异质金属电极的宽度为第二宽度，厚度为第二厚度；
26.所述第一宽度等于所述第二宽度；
27.所述第一厚度等于所述第二厚度。
28.可选的，所述异质金属电极的声表面波谐振器在谐振时的波长λ；所述异质金属电极与所述长指电极的叠拼部分的长度为h_dum；其中，0.1λ≤h_dum≤1λ。
29.可选的，所述异质金属电极的声表面波谐振器在谐振时的波长为λ；所述异质金属电极的长度为l_dum；其中，0.2λ≤l_dum≤2λ，
30.根据本发明的另一方面，提供了一种滤波器，其中，包括本发明提供的至少两个异质金属电极的声表面波谐振器。
31.本发明实施例的技术方案，通过在长指电极设置异质金属电极，且异质金属电极的材料密度大于长指电极和汇流条的材料密度，进而在声波传播过程中，在第一汇流条和第二汇流条之间形成多个慢-快声速变化区域，且声速差较大，从而将声表面波限制在谐振器中，同时抑制了谐振器的横向模。波速变化为从慢到快时，更容易发生反射，则声波反射较多，实现抑制横向模的声波，降低横向模式波纹的产生。且本发明实施例提供的插指换能器，长指电极与汇流条之间间隙，相较于现有的虚设电极与长指电极之间间隙更大，因此具有更大的高声速区域，且声速突变更明显，能够更好的实现横向模抑制。
32.应当理解，本部分所描述的内容并非旨在标识本发明的实施例的关键或重要特征，也不用于限制本发明的范围。本发明的其它特征将通过以下的说明书而变得容易理解。
附图说明
33.为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
34.图1为现有技术中的一种换能器的结构示意图；
35.图2是图1对应的波速分布示意图；
36.图3为本发明实施例提供的第一种异质金属电极的声表面波谐振器的结构示意图；
37.图4为图3对应的波速分部示意图；
38.图5为本发明实施例提供的第二种异质金属电极的声表面波谐振器的结构示意图；
39.图6为图5对应的波速分部示意图；
40.图7为本发明实施例提供的第三种异质金属电极的声表面波谐振器的结构示意图；
41.图8为本发明实施例提供的第四种异质金属电极的声表面波谐振器的结构示意图；
42.图9为本发明实施例提供的第五种异质金属电极的声表面波谐振器的结构示意图；
43.图10为本发明实施例提供的第六种异质金属电极的声表面波谐振器的结构示意图；
44.图11为本发明实施例提供的一种异质金属电极的声表面波谐振器的俯视图及纵向剖面图。
具体实施方式
45.为了使本技术领域的人员更好地理解本发明方案，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本发明保护的范围。
46.需要说明的是，本发明的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本发明的实施例能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施。此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。
47.图1为现有技术中的一种换能器的结构示意图，图2是图1对应的波速分布示意图。如图1所示，该换能器包括第一汇流条11和第二汇流条12；还包括：交替排布并连接至第一
汇流条11的第一电极指13和第一虚设电极指14；交替排布并连接至第二汇流条12的第二电极指15和第二虚设电极指16；并且第一电极指13和第二虚设电极指16相对设置，第一电极指13和第二虚设电极指16之间具有第一间隙，第二电极指15和第一虚设电极指14相对设置，第二电极指15和第一虚设电极指14之间具有第二间隙；换能器可以将电信号转换为声波，或者将声波转换为电信号，实现能量转换。如图2所示，沿谐振器的横向长度，从第二电极指15到第一汇流条11，或者从第一电极指13到第二汇流条12，波速变化为从慢到快，再从快到慢，声波反射较少，难以完全将声波限制在换能器中，导致横向泄漏较大，横向模的声波无法衰减而产生横向模式波纹。
48.为解决上述问题，本发明实施例提供了一种异质金属电极的声表面波谐振器，图3为本发明实施例提供的第一种异质金属电极的声表面波谐振器的结构示意图，图4为图3对应的波速分部示意图。如图3所示，该异质金属电极的声表面波谐振器包括插指换能器100；插指换能器100包括汇流条101以及多条长指电极102，汇流条101包括第一汇流条110和第二汇流条120；长指电极102包括第一长指电极130和第二长指电极140；第一长指电极130和第二长指电极140均沿第一方向1延伸，沿第二方向2排布；第一长指电极130的第一端与第一汇流条110连接；第二长指电极140的第一端与第二汇流条120连接；第一方向1与第二方向2交叉；第一汇流条110和第二汇流条120沿第一方向1相对设置；第一长指电极130与第二长指电极140沿第二方向2交叉设置；多条长指电极102宽度相等、长度相等以及间隔相等；每条长指电极102均包括至少一条异质金属电极150，异质金属电极150与长指电极102叠拼；异质金属电极150沿第一方向1延伸，沿第二方向2排布；汇流条101、长指电极102的材料密度为第一密度；异质金属电极150的材料密度为第二密度；第一密度小于第二密度。
49.其中，插指换能器100是电能和声能互相转换的器件，可以将输入异质金属电极的声表面波谐振器的电信号转换为声波信号，或者将声波信号转换为电信号输出。具体实施时，可以将第一汇流条110连接正极(或负极)，第二汇流条120连接负极(或正极)，第一长指电极130与第一汇流条110连接，第二长指电极140与第二汇流条120连接，就会形成压差，结合压电层，形成逆压电效应，将电信号转换为声波信号；或者，形成正压电效应将声波信号转换为电信号；从而利用异质金属电极的声表面波谐振器制备的滤波器可以输出特定频率的电信号。
50.其中，长指电极102的间隔为相邻的第一长指电极130之间的间隔，以及第一长指电极130和第二长指电极140交叉设置时，相邻两条电极之间的间隔。第一长指电极130和第二长指电极140的宽度相等，第一长指电极130(或第二长指电极140)的宽度，与相邻两条第一长指电极130和第二长指电极140之间的间隔之和，为插指换能器100的周期。插指换能器100的周期可以根据异质金属电极的声表面波谐振器在谐振时的波长进行设置，例如等于波长的一半，进而可以根据谐振波长设定长指电极102的宽度，以及电极之间的间隔。长指电极102的长度可以根据谐振波长进行设定，例如10-50倍波长。长指电极102的宽度、长度以及间隔的具体数值，本发明实施例对此不做限定。
51.其中，每条长指电极102均包括至少一条异质金属电极150，异质金属电极150的个数以及设置位置可以根据异质金属电极的声表面波谐振器的实际频段以及带宽进行设定；在异质金属电极150的个数为多个时，异质金属150之间的间隔宽度，可以根据谐振波长进行设定，例如在0.2-2倍波长之间，或采用函数曲线进行排列。异质金属电极150与长指电极
102叠拼的长度可以根据实际制作工艺以及异质金属电极的声表面波谐振器的谐振波长进行设定，例如在0.1-1倍谐振波长之间。异质金属电极150的长度可以根据谐振波长进行设定，例如在0.2-2倍波长之间。异质金属电极150的宽度可以与长指电极102的宽度保持一致。对于异质金属电极150的实际个数、长度、宽度、设置位置以及与长指电极102的叠拼宽度，本发明实施例对此不做限定。
52.其中，汇流条101与长指电极102的材料密度为第一密度，在具体实施时，汇流条101与长指电极102可使用同种材料，例如al或者其合金，在异质金属电极的声表面波谐振器为tc-saw(温度补偿型异质金属电极的声表面波谐振器)时，可以采用cu。异质金属电极150的材料密度为第二密度，在具体实施时，可采用cu、au、pt、ag、cr等重金属及其合金，合金可采用两种或者多种材料制成；其中优选材料为pt。在实际制作工艺中，汇流条101与长指电极102可以通过一次光刻同时形成，进一步进行二次光刻获得异质金属电极150。
53.具体而言，汇流条101、长指电极102的材料密度为第一密度；异质金属电极150的材料密度为第二密度；第一密度小于第二密度。在声波传播时，由于汇流条101和长指电极102的材料密度较小，在该区域传播时，声速较高，同理由于异质金属电极150的材料密度较大，在该区域传播时，声速较低。同理可知，在长指电极102与汇流条101之间间隙区域传播时，声速相较于汇流条101、长指电极102和异质金属电极150区域传播时的声速最高。例如在特定占空比的谐振器上，采用au的异质金属电极150区域的声速大约是采用al的长指电极102区域声速的一半。图4为图3对应的波速分部示意图，如图4所示，沿第一方向1，即谐振器的横向长度方向，从第一长指电极130到第二汇流条120，或，从第二长指电极140到第一汇流条110，波速变化从快到慢，再从慢到快，再从快到慢，形成多个慢-快声速变化区域，且波速差较大，声波反射较多，增加声波向中间反射的量，将更多的横向模的声波限制在慢波区域的同时将主模声波限制在异质金属电极的声表面波谐振器中，减小横向泄漏，进一步降低横向模式波纹的产生。且相较于图2所示的现有的附带虚设电极的换能器对应的波速分部示意图，本发明实施例提供的插指换能器，长指电极102与汇流条101之间间隙相较于虚设电极与长指电极之间间隙更大，因此具有更大的高声速区域，且声速突变更明显，能够更好的实现横向模抑制。
54.需要说明的是，设计加工时需要保证异质金属电极150与长指电极102存在重叠部分，一方面防止出现异质金属电极150与长指电极102分离的情况，便于工艺上的实现；另一方面通过调节重叠部分的长度，可进一步调节声速，改善横向模抑制效果。
55.本发明实施例的技术方案，在第一汇流条和第二汇流条之间形成多个慢-快声速变化区域，且声速差较大，从而将声表面波限制在谐振器中，同时抑制了谐振器的横向模。波速变化为从慢到快时，更容易发生反射，则声波反射较多，实现抑制横向模的声波，降低横向模式波纹的产生。且本发明实施例提供的插指换能器，长指电极与汇流条之间间隙，相较于现有的虚设电极与长指电极之间间隙更大，因此具有更大的高声速区域，且声速突变更明显，能够更好的实现横向模抑制。
56.可选的，继续参考图3，异质金属电极150包括第一异质金属电极151；第一异质金属电极151设置于长指电极102的第二端；其中，长指电极102的第二端为远离长指电极102与汇流条101连接的一端；多条第一异质金属电极151沿第二方向2交替平行。
57.其中，第一异质金属151与长指电极102叠拼，第一异质金属电极151与相邻的汇流
条101之间的间隙宽度为g_dum；其中，0.2λ≤g_dum≤2λ，λ为异质金属电极的声表面波谐振器在谐振时的波长。
58.具体而言，在声波传播时，在第一方向1上存在多个慢-快声速变化区域且声速差大，从而将声表面波限制在谐振器中，降低了能量损失，同时抑制了谐振器的横向模。
59.可选的，图5为本发明实施例提供的第二种异质金属电极的声表面波谐振器的结构示意图，如图5所示，在图3所示异质金属电极的声表面波谐振器的基础上，异质金属电极150还包括第二异质金属电极152；每条长指电极102均包括一条第一异质金属电极151和至少一条第二异质金属电极152；第一异质金属电极151与第二异质金属电极152沿第一方向1排布；第一异质金属电极151与第二异质金属电极152之间的间隔为w_dum；其中0.2λ≤w_dum≤2λ。
60.其中，第二异质金属电极152可以选择与第一异质金属电极151同种或不同种的材料，本发明实施例对此不做限定。
61.具体而言，图6为图5对应的波速分部示意图，如图6所示，通过设置多条异质金属电极150，并通过调节第二异质金属电极152的位置，在第一方向上增加慢-快声速变化区域的个数，大幅度增加了声速调节自由度，便于更灵活的提升横向模抑制效果。
62.可选的，图7为本发明实施例提供的第三种异质金属电极的声表面波谐振器的结构示意图，如图7所示，每条长指电极102均包括一条第一异质金属电极151和一条第二异质金属电极152；第二异质金属电极152与相邻长指电极102的第二端，在第二方向2平行。
63.其中，长指电极102的第二端为远离长指电极102与汇流条101连接的一端。
64.具体而言，在实际声波传播过程中，由于第一异质金属电极151和第二异质金属电极152的材料密度大于长指电极102和汇流条101的材料密度，进而在第一异质金属电极151和第二异质金属电极152在第二方向2上平行时，可以进一步增大慢-快区域的声速差，进一步提高了横向模的抑制效果。
65.综上所述，本发明实施例的技术方案，通过在长指电极设置至少一条异质金属电极，进而在第一汇流条至第二汇流条之间增加多个慢-快声速突变区域，并通过调节异质金属电极的设置位置、长度、以及多个异质金属电极之间的间隔。进一步增加声速调节的自由度，进一步抑制了横向模。
66.可选的，图8为本发明实施例提供的第四种异质金属电极的声表面波谐振器的结构示意图，如图8所示，本发明实施例提供的异质金属电极的声表面波谐振器还包括第一反射栅单元210和第二反射栅单元220；第一反射栅单元210和第二反射栅单元220沿第二方向2对称设置于插指换能器100两侧；第一反射栅单元210和第二反射栅单元220均包括多条反射栅201和多条异质金属反射栅202；异质金属反射栅202与反射栅201叠拼；异质金属反射栅202在第二方向2与异质金属电极150平行设置。
67.其中，异质金属反射栅202的实际设置参数，例如长度、材料密度以及叠拼长度，可以根据平行设置的异质金属电极150的参数进行设定，本发明实施例对此不做限定。
68.具体而言，第一反射栅单元210和第二反射栅单元220沿第二方向2对称设置于插指换能器100两侧，将声波限制在异质金属电极的声表面波谐振器的内部，减小横向泄露，通过在反射栅201上添加异质金属反射栅202，一方面增加整体异质金属电极的声表面波谐振器结构的一致性，避免其他形式的杂波出现，另一方面进一步改善横向模抑制效果。
69.可选的，图9为本发明实施例提供的第五种异质金属电极的声表面波谐振器的结构示意图，如图9所示，异质金属反射栅202与每条反射栅201叠拼，或者，如图8所示，异质金属反射栅202交替与反射栅201叠拼。
70.需要说明的是，本发明实施例仅对包括异质金属反射栅的反射栅单元的实施例进行解释，不包含异质金属反射栅的反射栅单元同样可以与本发明任意实施例提供的插指换能器组成谐振器工作。在具体实施时，技术人员可以根据对于例如横向模抑制效果的需求，以及工艺需求等，将反射栅单元设置为不包含异质金属反射栅的常规结构。示例性的，图10为本发明实施例提供的第六种异质金属电极的声表面波谐振器的结构示意图，如图10所示，第一反射栅单元210和第二反射栅单元220沿第二方向2对称设置于插指换能器100两侧；第一反射栅单元210和第二反射栅单元220均包括多条反射栅201，不包括异质金属反射栅。
71.可选的，长指电极102的宽度为第一宽度，厚度为第一厚度；异质金属电极的宽度为第二宽度，厚度为第二厚度；第一宽度等于第二宽度；第一厚度等于第二厚度。
72.可选的，异质金属电极的声表面波谐振器在谐振时的波长λ，图11为本发明实施例提供的一种异质金属电极的声表面波谐振器的俯视图及纵向剖面图，，如图11所示，异质金属电极150与长指电极的叠拼部分的长度为h_dum；其中，0.1λ≤h_dum≤1λ。
73.可选的，异质金属电极的声表面波谐振器在谐振时的波长为λ；参考本发明实施例提供的图3或图5，异质金属电极150的长度为l_dum；其中，0.2λ≤l_dum≤2λ。
74.基于同一构思，本发明实施例的技术方案还提供了一种滤波器，该滤波器包括至少两个上述实施例中任一项的异质金属电极的声表面波谐振器。
75.其中，该滤波器可以由上述实施例中两个或者两个以上的异质金属电极的声表面波谐振器串联和/或并联形成。本实施例提供的滤波器的实现原理和技术效果与上述实施例类似，此处不再赘述。
76.应该理解，可以使用上面所示的各种形式的流程，重新排序、增加或删除步骤。例如，本发明中记载的各步骤可以并行地执行也可以顺序地执行也可以不同的次序执行，只要能够实现本发明的技术方案所期望的结果，本文在此不进行限制。
77.上述具体实施方式，并不构成对本发明保护范围的限制。本领域技术人员应该明白的是，根据设计要求和其他因素，可以进行各种修改、组合、子组合和替代。任何在本发明的精神和原则之内所作的修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明保护范围之内。

技术特征：

1.一种异质金属电极的声表面波谐振器，其特征在于，包括插指换能器；所述插指换能器包括汇流条以及多条长指电极，所述汇流条包括第一汇流条和第二汇流条；所述长指电极包括第一长指电极和第二长指电极；所述第一长指电极和所述第二长指电极均沿第一方向延伸，沿第二方向排布；所述第一长指电极的第一端与所述第一汇流条连接；所述第二长指电极的第一端与所述第二汇流条连接；所述第一方向与所述第二方向交叉；所述第一汇流条和所述第二汇流条沿所述第一方向相对设置；所述第一长指电极与所述第二长指电极沿所述第二方向交叉设置；多条所述长指电极宽度相等、长度相等以及间隔相等；每条所述长指电极均包括至少一条异质金属电极，所述异质金属电极与所述长指电极叠拼；所述异质金属电极沿所述第一方向延伸，沿所述第二方向排布；所述汇流条、所述长指电极的材料密度为第一密度；所述异质金属电极的材料密度为第二密度；所述第一密度小于所述第二密度。2.根据权利要求1所述的异质金属电极的声表面波谐振器，其特征在于，所述异质金属电极包括第一异质金属电极；所述第一异质金属电极设置于所述长指电极的第二端；其中，所述长指电极的第二端为远离所述长指电极与所述汇流条连接的一端；多条所述第一异质金属电极沿所述第二方向交替平行。3.根据权利要求2所述的异质金属电极的声表面波谐振器，其特征在于，所述异质金属电极的声表面波谐振器在谐振时的波长为λ；所述第一异质金属电极与相邻的所述汇流条之间的间隙宽度为g_dum；其中，0.2λ≤g_dum≤2λ。4.根据权利要求2所述的异质金属电极的声表面波谐振器，其特征在于，所述异质金属电极还包括第二异质金属电极；每条所述长指电极均包括一条第一异质金属电极和至少一条第二异质金属电极；所述第一异质金属电极与所述第二异质金属电极沿所述第一方向排布；所述第一异质金属电极与所述第二异质金属电极之间的间隔为w_dum；其中0.2λ≤w_dum≤2λ。5.根据权利要求4所述的异质金属电极的声表面波谐振器，其特征在于，每条所述长指电极均包括一条第一异质金属电极和一条第二异质金属电极；所述第二异质金属电极与相邻所述长指电极的所述第二端，在所述第二方向平行。6.根据权利要求1所述的异质金属电极的声表面波谐振器，其特征在于，还包括第一反射栅单元和第二反射栅单元；所述第一反射栅单元和所述第二反射栅单元沿所述第二方向对称设置于所述插指换能器两侧；所述第一反射栅单元和所述第二反射栅单元包括多条反射栅和多条异质金属反射栅；所述异质金属反射栅与所述反射栅叠拼；所述异质金属反射栅在所述第二方向与所述异质金属电极平行设置。7.根据权利要求6所述的异质金属电极的声表面波谐振器，其特征在于，所述异质金属反射栅与每条所述反射栅叠拼，或者，所述异质金属反射栅交替与所述反射栅叠拼。8.根据权利要求1-7任一项所述的异质金属电极的声表面波谐振器，其特征在于，所述
长指电极的宽度为第一宽度，厚度为第一厚度；所述异质金属电极的宽度为第二宽度，厚度为第二厚度；所述第一宽度等于所述第二宽度；所述第一厚度等于所述第二厚度。9.根据权利要求1-7任一项所述的异质金属电极的声表面波谐振器，其特征在于，所述异质金属电极的声表面波谐振器在谐振时的波长λ；所述异质金属电极与所述长指电极的叠拼部分的长度为h_dum；其中，0.1λ≤h_dum≤1λ。10.根据权利要求1-7任一项所述的异质金属电极的声表面波谐振器，其特征在于，所述异质金属电极的声表面波谐振器在谐振时的波长为λ；所述异质金属电极的长度为l_dum；其中，0.2λ≤l_dum≤2λ。11.一种滤波器，其特征在于，包括至少两个权利要求1-10所述的异质金属电极的声表面波谐振器。

技术总结

本发明公开了一种异质金属电极的声表面波谐振器及滤波器，包括插指换能器；插指换能器包括汇流条以及多条长指电极，汇流条包括第一汇流条和第二汇流条；长指电极包括第一长指电极和第二长指电极；第一长指电极和第二长指电极均沿第一方向延伸，沿第二方向排布；第一长指电极的第一端与第一汇流条连接；第二长指电极的第一端与第二汇流条连接；第一方向与第二方向交叉；第一汇流条和第二汇流条沿第一方向相对设置；第一长指电极与第二长指电极沿第二方向交叉设置；每条长指电极均包括至少一条异质金属电极，异质金属电极与长指电极叠拼；汇流条、长指电极的材料密度为第一密度；异质金属电极的材料密度为第二密度；第一密度小于第二密度。第二密度。第二密度。