一种抗震型低能耗大型多线晶圆切割机的制作方法

1.本实用新型涉及晶圆切割机技术领域，具体涉及一种抗震型低能耗大型多线晶圆切割机。

背景技术：

2.大型多线晶圆切割机主要用于半导体晶圆、集成电路、qfn、发光二极管、led芯片、太阳能电池、电子基片等的划切，适用于包括硅、石英、氧化铝、氧化铁、砷化镓、铌酸锂、蓝宝石和玻璃等材料，而低能耗的大型多线晶圆切割机是指具有能耗回收或再利用的晶圆切割机。
3.目前现有的低能耗大型多线晶圆切割机在使用过程中，因切割作业往往会引起机体的振动，通常均采用有减振结构，但减振结构往往仅能消减抵消自身产生的振动效果，却无法有效防止外部引起的震动，因此造成低能耗大型多线晶圆切割机在实际使用过程中的稳定效果不够理想。

技术实现要素：

4.（一）要解决的技术问题
5.本实用新型所要解决的技术问题是针对现有技术的现状，提供一种可以有效抵消外部震动的抗震型低能耗大型多线晶圆切割机。
6.（二）技术方案
7.本实用新型通过如下技术方案实现：本实用新型提出了一种抗震型低能耗大型多线晶圆切割机，包括机身，所述机身的上方设置有工作台，所述工作台的上端固定有机体，所述工作台的下端中部固定有密封座，所述机身与所述密封座的连接处设有气腔，所述气腔的两侧均固定有减振座，所述机身的下端两侧均固定有支柱，所述支柱的下端设置有支座，所述支座内安装有硬性受力架，所述硬性受力架的上下两端均布有滑动座，所述支座内底端两侧均布有支护弹簧。
8.进一步的，所述工作台与所述机体通过螺栓连接，所述工作台与所述密封座焊接。
9.通过采用上述技术方案，确保所述机体的结构连接稳定。
10.进一步的，所述气腔成型于所述机身上，所述气腔内应充满惰性气体。
11.通过采用上述技术方案，所述气腔内的惰性气体可以为所述机体提供气动减振效果。
12.进一步的，所述减振座与所述工作台以及所述机身均固定连接，所述减振座分为减振伸缩杆和减振弹簧两部分。
13.通过采用上述技术方案，所述减振座可以为所述机体提供稳定的机械式减振效果。
14.进一步的，所述机身与所述支柱通过螺栓连接，所述支柱与所述支座滑动连接。
15.通过采用上述技术方案，使所述支座可以向所述支柱进行收缩，避免外界的振动
力度直接传递至所述机体。
16.进一步的，所述支座和所述支柱均所述滑动座滑动连接，所述支护弹簧与所述滑动座以及所述支座均通过卡槽连接。
17.通过采用上述技术方案，确保所述支座与所述支柱的支护效果。
18.进一步的，所述机体的一侧壁上固定有能耗回收设备，所述能耗回收设备采用扭簧式动能回收机构。
19.通过采用上述技术方案，所述能耗回收设备采用扭簧式动能回收机构，当所述机体在作业完毕后，可以驱动所述能耗回收设备的扭簧连接结构与高速旋转的切割器具进行连接，对切割器具的旋转动能进行回收存储，在下次驱动切割器具进行旋转作业前，可以释放存储的能量来辅助切割器具完成旋转速度的提升，从而体现了设备的低能耗效果。
20.（三）有益效果
21.本实用新型相对于现有技术，具有以下有益效果：
22.为解决现有的低能耗大型多线晶圆切割机在使用过程中，因切割作业往往会引起机体的振动，通常均采用有减振结构，但减振结构往往仅能消减抵消自身产生的振动效果，却无法有效防止外部引起的震动，因此造成低能耗大型多线晶圆切割机在实际使用过程中的稳定效果不够理想的问题，本实用新型通过机身、工作台、密封座、气腔、减振座、减振伸缩杆、减振弹簧、支柱、支座、硬性受力架、滑动座以及支护弹簧的设计，能够使低能耗大型多线晶圆切割机在使用过程中，其密封座、气腔以及减振座可以有效的抵消因切割作业产生的振动，其支柱、支座、硬性受力架、滑动座以及支柱弹簧可以有效抵消外界因素的震动，从而使低能耗大型多线晶圆切割机在实际使用过程中的稳定效果可以更加理想。
附图说明
23.图1是本实用新型所述一种抗震型低能耗大型多线晶圆切割机的结构示意图；
24.图2是本实用新型所述一种抗震型低能耗大型多线晶圆切割机中减振座的结构示意图；
25.图3是本实用新型所述一种抗震型低能耗大型多线晶圆切割机中图1中a处放大图。
26.附图标记说明如下：
27.1、机身；2、工作台；3、机体；4、密封座；5、气腔；6、减振座；61、减振伸缩杆；62、减振弹簧；7、支柱；8、支座；9、硬性受力架；10、滑动座；11、支护弹簧；12、能耗回收设备。
具体实施方式
28.为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
29.如图1-图3所示，本实施例中的一种抗震型低能耗大型多线晶圆切割机，包括机身1，机身1的上方设置有工作台2，工作台2的上端固定有机体3，工作台2的下端中部固定有密封座4，机身1与密封座4的连接处设有气腔5，气腔5的两侧均固定有减振座6，机身1的下端两侧均固定有支柱7，支柱7的下端设置有支座8，支座8内安装有硬性受力架9，硬性受力架9
的上下两端均布有滑动座10，支座8内底端两侧均布有支护弹簧11，其中，在平稳放置的状态中，支柱弹簧11可以使硬性受力架9保持稳定的状态，从而可以确保对支柱7的稳定支护效果，进而确保机身1以及机体3的整体稳定性，气腔5内应充满惰性气体，在密封座4因其切割作业产生振动而向下移动时，可以为其提供稳定的软性减振效果，同时减振伸缩杆61将会适量收缩，并在减振弹簧62的作用下将其振动力度抵消消除，能耗回收设备12采用扭簧式动能回收机构，当机体3在作业完毕后，可以驱动能耗回收设备12的扭簧连接结构与高速旋转的切割器具进行连接，对切割器具的旋转动能进行回收存储，在下次驱动切割器具进行旋转作业前，可以释放存储的能量来辅助切割器具完成旋转速度的提升，从而体现了设备的低能耗效果。
30.如图1-图3所示，本实施例中，工作台2与机体3通过螺栓连接，工作台2与密封座4焊接，气腔5成型于机身1上，气腔5内应充满惰性气体，减振座6与工作台2以及机身1均固定连接，减振座6分为减振伸缩杆61和减振弹簧62两部分，机体3的一侧壁上固定有能耗回收设备12，能耗回收设备12采用扭簧式动能回收机构，能够确保机体3的工作状态稳定。
31.如图1-图3所示，本实施例中，机身1与支柱7通过螺栓连接，支柱7与支座8滑动连接，支座8和支柱7均滑动座10滑动连接，支护弹簧11与滑动座10以及支座8均通过卡槽连接，能够对外界的震动力度进行抵消，避免直接传递至机体3，使低能耗大型多线晶圆切割机在实际使用过程中的稳定效果可以更加理想。
32.本实施例的具体实施过程如下：在平稳放置的状态中，支柱弹簧11可以使硬性受力架9保持稳定的状态，从而可以确保对支柱7的稳定支护效果，进而确保机身1以及机体3的整体稳定性，在作业中，气腔5内应充满惰性气体，当机体3在切割作业中发生振动，其密封座4因其振动而向下移动时，气腔5内的惰性气体可以为密封座4提供稳定的软性减振效果，同时减振伸缩杆61将会适量收缩，并在减振弹簧62的作用下将其振动力度抵消消除，确保机体3的工作状态稳定，在外界因素发生较大震动时，其震动力度首先传递至支座8上，支座8将会克服支护弹簧11的支护效果向支柱7一端进行收缩，使硬性受力架9发生缩短现象，同时滑动座10将会压迫支护弹簧11向两侧移动，从而有效抵消其震动力度，避免震动力度直接传递至机体3处，使低能耗大型多线晶圆切割机在实际使用过程中的稳定效果可以更加理想。
33.对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

技术特征：

1.一种抗震型低能耗大型多线晶圆切割机，其特征在于：包括机身（1），所述机身（1）的上方设置有工作台（2），所述工作台（2）的上端固定有机体（3），所述工作台（2）的下端中部固定有密封座（4），所述机身（1）与所述密封座（4）的连接处设有气腔（5），所述气腔（5）的两侧均固定有减振座（6），所述机身（1）的下端两侧均固定有支柱（7），所述支柱（7）的下端设置有支座（8），所述支座（8）内安装有硬性受力架（9），所述硬性受力架（9）的上下两端均布有滑动座（10），所述支座（8）内底端两侧均布有支护弹簧（11）。2.根据权利要求1所述的一种抗震型低能耗大型多线晶圆切割机，其特征在于：所述工作台（2）与所述机体（3）通过螺栓连接，所述工作台（2）与所述密封座（4）焊接。3.根据权利要求1所述的一种抗震型低能耗大型多线晶圆切割机，其特征在于：所述气腔（5）成型于所述机身（1）上，所述气腔（5）内应充满惰性气体。4.根据权利要求1所述的一种抗震型低能耗大型多线晶圆切割机，其特征在于：所述减振座（6）与所述工作台（2）以及所述机身（1）均固定连接，所述减振座（6）分为减振伸缩杆（61）和减振弹簧（62）两部分。5.根据权利要求1所述的一种抗震型低能耗大型多线晶圆切割机，其特征在于：所述机身（1）与所述支柱（7）通过螺栓连接，所述支柱（7）与所述支座（8）滑动连接。6.根据权利要求1所述的一种抗震型低能耗大型多线晶圆切割机，其特征在于：所述支座（8）和所述支柱（7）均所述滑动座（10）滑动连接，所述支护弹簧（11）与所述滑动座（10）以及所述支座（8）均通过卡槽连接。7.根据权利要求1所述的一种抗震型低能耗大型多线晶圆切割机，其特征在于：所述机体（3）的一侧壁上固定有能耗回收设备（12），所述能耗回收设备（12）采用扭簧式动能回收机构。

技术总结

本实用新型公开了一种抗震型低能耗大型多线晶圆切割机，包括机身，所述机身的上方设置有工作台，所述工作台的上端固定有机体，所述工作台的下端中部固定有密封座，所述机身与所述密封座的连接处设有气腔。有益效果在于：本实用新型通过机身、工作台、密封座、气腔、减振座、减振伸缩杆、减振弹簧、支柱、支座、硬性受力架、滑动座以及支护弹簧的设计，能够使低能耗大型多线晶圆切割机在使用过程中，其密封座、气腔以及减振座可以有效的抵消因切割作业产生的振动，其支柱、支座、硬性受力架、滑动座以及支柱弹簧可以有效抵消外界因素的震动，从而使低能耗大型多线晶圆切割机在实际使用过程中的稳定效果可以更加理想。程中的稳定效果可以更加理想。程中的稳定效果可以更加理想。