一种MEMS流量传感器芯片的封装结构的制作方法

一种mems流量传感器芯片的封装结构
技术领域
1.本实用新型涉及一种封装结构的范围，具体为一种mems流量传感器芯片的封装结构。

背景技术：

2.mems流量传感器也叫气体流量传感器，是一种将气体中特定的成分通过某种原理检测出来，并且把检测出来的某种信号转换成适当的电学信号的器件。随着人类对环保、污染及公共安全等问题的日益重视，以及人们对于生活水平的要求的不断提高，气体传感器在工业、民用和环境监测三大主要领域内取得了广泛的应用。
3.经检索，专利公告号为cn 210635719 u公开了一种一种mems传感器的封装结构，它包括壳体和基板，所述壳体和基板围合形成所述封装结构，所述封装结构内设置mems芯片和asic芯片；所述壳体与所述mems芯片相对应的位置设置减薄部，所述减薄部的厚度小于所述壳体的厚度，所述减薄部上开设有至少一个微孔，所述微孔将所述封装结构的内部与外部连通，该装置通过在壳体与mems芯片相对应的位置设置减薄部，与现有技术中直接在壳体上开设孔相比，本实用新型降低了在壳体上开设孔的难度，同时，通过在减薄部设置至少一个微孔，可以有效阻止环境中的异物进入封装结构中。
4.发明人认为上述装置他用过设有减薄部不仅能够巧妙的减小开孔难度，也能够节约一定的生产成本，但是上述装置仅仅通过开设的微孔很难将装置内部的空气与外部的空气进行交换，从而难以及时有效的对外部环境气体进行检测，鉴于此我们提出一种mems流量传感器芯片的封装结构来解决现有的问题。

技术实现要素：

5.本实用新型的目的在于提供一种mems流量传感器芯片的封装结构，以解决上述背景技术中提出的问题。
6.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种mems流量传感器芯片的封装结构，包括封盖，其特征在于：所述封盖顶部的一侧开设有风口，所述风口的内壁卡合设有风扇，所述封盖的顶部固定连接有卡件，所述卡件的内壁卡合设有滤板，所述滤板的内壁嵌设有第一滤网，所述封盖内壁的一侧固定连接有第一隔板，所述封盖内壁的另一侧固定连接有第二隔板，所述第二隔板的一侧嵌设有第二滤网。
7.优选的，所述封盖的一侧开设有排气口，所述封盖两侧的两端均开设有定位孔。
8.优选的，所述封盖内壁的底部卡合设有基座，所述基座顶部的中间位置固定连接有限位块。
9.优选的，所述限位块的内壁卡合设有芯片本体。
10.优选的，所述基座两侧的两端均嵌设有弹簧扣，且每个弹簧扣的外壁分别与每个定位孔的内壁卡合连接。
11.优选的，所述封盖的一侧固定连接有开关面板，所述开关面板的一侧开设有风扇
开关，且风扇通过风扇开关与外接电源电性连接。
12.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
13.1、上述装置在使用时可将风扇设置为间歇性工作的模式，当风扇工作时会使得外部的空气快速的涌入到封盖的内部，当空气到达封盖的内部时首先因为第一隔板的阻隔作用而向一侧流动，当空气到达第一侧板的顶端时然后向下到达第二隔板的顶部并向另一侧流动，最终这部分气体大部分会通过排气口被排出到外部，而其中一小部分气体则会透过第二隔板上的第二滤网到达封盖的最底部并通过芯片本体进行检测，本装置通过以上方法使得封盖外部部的气体能够快速的与封盖的内部气体进行交换，进而提高传感器芯片的检测效率及检测的准确性；
14.2、传感器芯片在工作时如果短时间内接触到大流量的外部气体时很容易就会出现检测误判的情况，为避免这种情况通过第一隔板、第二隔板以及排气口能够使得进入到封盖内部的大部分空气被快速排出，而小部分气体则通过第二滤网进入到芯片本体的位置进行检测，通过以上方法在加快与外界气体进行交换的同时使得芯片本体也能够进行有效检测，增强了实用性。
附图说明
15.图1为本实用新型整体结构示意图；
16.图2为本实用新型中风扇结构示意图；
17.图3为本实用新型中封盖内部剖视结构示意图；
18.图4为本实用新型中基座结构示意图。
19.图中：1、封盖；2、风口；3、风扇；4、卡件；5、滤板；6、第一滤网；7、第一隔板；8、第二隔板；9、第二滤网；10、排气口；11、定位孔；12、基座；13、限位块；14、芯片本体；15、弹簧扣。
具体实施方式
20.为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚明了，下面结合具体实施方式并参照附图，对本实用新型进一步详细说明。应该理解，这些描述只是示例性的，而并非要限制本实用新型的范围。此外，在以下说明中，省略了对公知结构和技术的描述，以避免不必要地混淆本实用新型的概念。
21.如图1-4所示，本实用新型提出的一种mems流量传感器芯片的封装结构，包括封盖1，其特征在于：封盖1顶部的一侧开设有风口2，风口2的内壁卡合设有风扇3，封盖1的顶部固定连接有卡件4，卡件4的内壁卡合设有滤板5，滤板5的内壁嵌设有第一滤网6，封盖1内壁的一侧固定连接有第一隔板7，封盖1内壁的另一侧固定连接有第二隔板8，第二隔板8的一侧嵌设有第二滤网9，封盖1的一侧固定连接有开关面板，开关面板的一侧开设有风扇开关，且风扇3通过风扇开关与外接电源电性连接。
22.如图2所示，其特征在于：封盖1顶部的一侧开设有风口2，风口2的内壁卡合设有风扇3，封盖1的一侧开设有排气口10，封盖1两侧的两端均开设有定位孔11；
23.如图3所示，滤板5的内壁嵌设有第一滤网6，封盖1内壁的一侧固定连接有第一隔板7，封盖1内壁的另一侧固定连接有第二隔板8，第二隔板8的一侧嵌设有第二滤网9；
24.如图4所示，封盖1内壁的底部卡合设有基座12，基座12顶部的中间位置固定连接
有限位块13，限位块13的内壁卡合设有芯片本体14，基座12两侧的两端均嵌设有弹簧扣15。
25.本实用新型的工作原理为：上述装置在使用时可将风扇3设置为间歇性工作的模式，当风扇3工作时会使得外部的空气快速的涌入到封盖1的内部，当空气到达封盖1的内部时首先因为第一隔板7的阻隔作用而向一侧流动，当空气到达第一侧板7的顶端时然后向下到达第二隔板8的顶部并向另一侧流动，最终这部分气体大部分会通过排气口10被排出到外部，而其中一小部分气体则会透过第二隔板8上的第二滤网9到达封盖1的最底部并通过芯片本体14进行检测，本装置通过以上方法使得封盖1外部部的气体能够快速的与封盖1的内部气体进行交换，进而提高传感器芯片的检测效率及检测的准确性；
26.传感器芯片在工作时如果短时间内接触到大流量的外部气体时很容易就会出现检测误判的情况，为避免这种情况通过第一隔板7、第二隔板8以及排气口10能够使得进入到封盖1内部的大部分空气被快速排出，而小部分气体则通过第二滤网9进入到芯片本体14的位置进行检测，通过以上方法在加快与外界气体进行交换的同时使得芯片本体14也能够进行有效检测，增强了实用性。
27.应当理解的是，本实用新型的上述具体实施方式仅仅用于示例性说明或解释本实用新型的原理，而不构成对本实用新型的限制。因此，在不偏离本实用新型的精神和范围的情况下所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。此外，本实用新型所附权利要求旨在涵盖落入所附权利要求范围和边界、或者这种范围和边界的等同形式内的全部变化和修改例。

技术特征：

1.一种mems流量传感器芯片的封装结构，包括封盖(1)，其特征在于：所述封盖(1)顶部的一侧开设有风口(2)，所述风口(2)的内壁卡合设有风扇(3)，所述封盖(1)的顶部固定连接有卡件(4)，所述卡件(4)的内壁卡合设有滤板(5)，所述滤板(5)的内壁嵌设有第一滤网(6)，所述封盖(1)内壁的一侧固定连接有第一隔板(7)，所述封盖(1)内壁的另一侧固定连接有第二隔板(8)，所述第二隔板(8)的一侧嵌设有第二滤网(9)。2.根据权利要求1所述的一种mems流量传感器芯片的封装结构，其特征在于：所述封盖(1)的一侧开设有排气口(10)，所述封盖(1)两侧的两端均开设有定位孔(11)。3.根据权利要求1所述的一种mems流量传感器芯片的封装结构，其特征在于：所述封盖(1)内壁的底部卡合设有基座(12)，所述基座(12)顶部的中间位置固定连接有限位块(13)。4.根据权利要求3所述的一种mems流量传感器芯片的封装结构，其特征在于：所述限位块(13)的内壁卡合设有芯片本体(14)。5.根据权利要求4所述的一种mems流量传感器芯片的封装结构，其特征在于：所述基座(12)两侧的两端均嵌设有弹簧扣(15)，且每个弹簧扣(15)的外壁分别与每个定位孔(11)的内壁卡合连接。6.根据权利要求1所述的一种mems流量传感器芯片的封装结构，其特征在于：所述封盖(1)的一侧固定连接有开关面板，所述开关面板的一侧开设有风扇开关，且风扇(3)通过风扇开关与外接电源电性连接。

技术总结

本实用新型涉及封装结构领域，尤其涉及一种MEMS流量传感器芯片的封装结构，其技术方案包括括封盖，其特征在于：封盖顶部的一侧开设有风口，风口的内壁卡合设有风扇，封盖的顶部固定连接有卡件，卡件的内壁卡合设有滤板，滤板的内壁嵌设有第一滤网，封盖内壁的一侧固定连接有第一隔板，封盖内壁的另一侧固定连接有第二隔板，第二隔板的一侧嵌设有第二滤网，当空气到达第一侧板的顶端时然后向下到达第二隔板的顶部并向另一侧流动，大部分会通过排气口被排出到外部，而其中一小部分气体则会透过第二隔板上的第二滤网到达封盖的最底部并通过芯片本体进行检测，使得封盖外部部的气体能够快速的与封盖的内部气体进行交换。够快速的与封盖的内部气体进行交换。够快速的与封盖的内部气体进行交换。