一种电磁波谐振装置

本发明应用于高能离子注入机，电磁波谐振装置使离子加速方式不同于以往的高 压直流加速，而是使高能离子注入机采用射频加速方式。

目前国外高能离子注入机多数采用射频加速方式实现高能量，相比于直流高压加 速方式，射频加速方式具有更容易实现较高能量、更加稳定等优点。射频加速系统中，每个 加速电极采用独立的RF功率电源系统以便于独立调节RF电压复制和相位，提高加速效率。 每个RF功率源的同步控制对加速系统性能影响很大，其电压控制方式也不同于现有直流高 压系统，因此需要突破相关技术。电磁波谐振装置作为射频加速中的核心部件，其重要性显 而易见。

本发明公开了一种电磁波谐振装置，主要用于高能离子注入机系统，使离子更容 易获得高能量、高稳定性等特点，在高能离子注入机加速系统起到至关重要的作用。

本发明通过以下技术方案实现：

电磁波谐振装置包括：电感线圈(1)、等效电容(2)、漂移管(3)、四极透镜(4)、电容 调节装置(5)和电容调节环(6)。其特征在于：电感线圈(1)、等效电容(2)、漂移管(3)和四极 透镜(4)组成谐 振装置的主体部分，通过确定谐振装置中的电感、电容确定谐振腔的谐振 频率；电容调节装置(5)和电容调节环(6)调节等效电容C的大小，从而调节谐振腔的谐振频 率、驻波比、阻抗、电阻、电抗。本发明中电磁波谐振装置谐振频率Fr＝13.56MHz，驻波比SWR ＝1，阻抗|Z|＝50，电阻R＝50，电抗X＝0。

图1电感线圈

图2电容调节装置

图3电容调节环。

1、电磁波谐振装置包括：电感线圈(1)、等效电容(2)、漂移管(3)、四极透镜(4)、电 容调节装置(5)和电容调节环(6)。

2、电感线圈(1)、等效电容(2)、漂移管(3)和四极透镜(4)组成谐振装置的主体部 分，通过确定谐振装置的等效电感L、等效电容C，确定谐振腔的谐振频率Fr；

3、电容调节装置(5)通过其端面与腔体底部内表面的距离d，，从而改变的电容的 大小(详见说明书附图2)，d增加时Fr增大，d减小时Fr减小，从而调节谐振腔的谐振频率、驻 波比、阻抗、电阻、电抗；

4、电容调节环(6)通过调节其端面与腔体底部内表面的距离d1(详见说明书附图 3)，d1增加时Fr增大，d1减小时Fr减小，从而调节谐振腔的谐振频率、驻波比、阻抗、电阻、电 抗。

本发明中电磁波谐振装置谐振频率Fr＝13.56MHz，驻波比SWR＝1，阻抗|Z|＝50， 电阻R＝50，电抗X＝0。

本发明专利的特定实施例已对本发明专利的内容做了详尽说明。对本领域一般技 术人员而言，在不背离本发明专利精神的前提下对它所做的任何显而易见的改动，都构成 对本发明专利的侵犯，将承担相应的法律责任