晶圆运输盒的制作方法

1.本发明涉及一种晶圆运输盒，尤其涉及一种为了使在移动晶圆时产生的振动和冲击等均匀地维持在最小而具有固定堆叠晶圆的固定手段的晶圆运输盒。

背景技术：

2.通常，晶圆(wafer)是制作半导体元件的高精密产品，在搬运及保管时必须收纳于单独制作的保管容器内，从而防止灰尘或各种有机物的粘附，并保护晶圆免受外部冲击。
3.晶圆以堆叠结构收纳于运输盒中，晶圆运输盒安全地收纳堆叠的多个晶圆。此时，需要一种能够使晶圆运输盒中堆叠的晶圆在移动时产生的振动、冲击等最小化的方法。
4.对此，作为现有技术，提出了韩国公开专利2002-81929号。该技术由具有圆柱形侧壁的下部容器和容纳下部容器的圆柱形侧壁上端部的圆形凹槽以及具有向下方延伸以覆盖下部容器的容器壁体的下部容器构成。
5.根据这种晶圆保管容器，首先在下部容器的圆筒内径中铺设缓冲材料，并在其上堆叠多个晶圆。此时，在晶圆和晶圆之间插入衬纸(insert)，从而防止晶圆之间的直接接触。并且当完成晶圆的堆叠时，在最上层的晶圆上再次覆盖缓冲材料，然后用上部容器覆盖下部容器而使其密封。最后，用胶带固定下部容器和上部容器。
6.但是，这种现有的晶圆保管容器存在需要用胶带将下部容器和上部容器一一固定的不便之处。此外，现有的晶圆保管容器具有无法多层堆叠的缺点。即，在保管及搬运保管晶圆的保管容器时，通常将所述保管容器堆叠成多层来保管或搬运。但是，现有的保管容器构成为难以进行多层堆叠，从而在堆叠为多层的情况下，存在堆叠的保管容器翻倒而散乱的缺点。
7.对此，作为另一现有技术，在韩国授权实用新型第20-0342507号中公开了另一种方式的保管容器。
8.该保管容器包括：下部容器，具有侧面的至少一部分被切取而开口的圆柱形的晶圆收容室；上部容器，与所述下部容器结合以覆盖所述收容室；紧固部，与所述上部容器和/或所述下部容器一体地形成，通过挂接结合而紧固，以保持所述上部容器与所述下部容器相互结合的状态，其中，所述上部容器的上表面和所述下部容器的下表面形成为当各自的至少一部分彼此相对时具有形状相匹配的板面轮廓。
9.此外，所述紧固部包括与所述下部容器和所述上部容器中的任意一个一体地形成的挂钩部，并且在所述下部容器和所述上部容器中的另一个形成有供所述挂钩部插入并挂接的挂接孔。
10.但是，这种保管容器也难以安全地保护收纳晶圆的收纳室，此外，在堆叠收纳晶圆时，存在晶圆可能因主体摇晃而损坏的风险。
11.[现有技术文献]
[0012]
[专利文献]
[0013]
(专利文献0001)韩国公开专利第2002-81929号
[0014]
(专利文献0002)注册实用新型第20-0342507号

技术实现要素：

[0015]
本发明的目的在于，提供一种为了使在移动晶圆时产生的振动和冲击等均匀地维持在最小而具有固定堆叠晶圆的固定手段的晶圆运输盒。
[0016]
为了实现所述课题，根据本发明的晶圆运输盒，其特征在于，包括：下部壳体200，包括底板201和一个以上的下部挡边210，所述一个以上的下部挡边210垂直形成于所述底板201的上表面以形成弧形的壁，从而在内部空间a中堆叠晶圆；上部壳体100，包括顶板101和上部挡边110，所述上部挡边110垂直形成于所述顶板101的下表面以形成弧形的壁，及侧壁部件300，结合于所述下部挡边210的内侧，其中，当所述上部壳体100与下部壳体200结合时，所述侧壁部件300固定堆叠在所述内部空间a中的晶圆。
[0017]
在此，尤其是其特征在于，所述下部壳体200在底板201的上表面的每个边角处包括与所述上部壳体100结合时结合固定的一个以上的闩锁250，所述上部壳体100在顶板101的每个边角处的对应于所述闩锁250的位置包括结合固定所述闩锁的一个以上的闩锁孔150。
[0018]
在此，尤其是其特征在于，所述闩锁250包括：第一闩锁部件252，位于所述底板201上的所述下部挡边210的外侧，并在所述底板210的上表面形成有底部；第二闩锁部件251，在所述第一闩锁部件252沿垂直方向形成为与所述下部挡边210相面对；及第三闩锁部件253，向所述第二闩锁部件251的内侧面突出，其中，当所述上部壳体100与下部壳体200结合时，所述第三闩锁部件253固定结合于所述闩锁孔150。
[0019]
在此，尤其是其特征在于，所述下部壳体200还包括支撑部件220，支撑所述下部挡边210，其中，所述支撑部件220布置于所述闩锁250和所述下部挡边210之间，并且形成为在所述下部挡边210的下端部沿着所述下部挡边210形成弧形。
[0020]
在此，尤其是其特征在于，所述下部壳体200还包括在所述下部挡边210内侧构成有空间的侧壁部件凹槽230，所述侧壁部件300还包括在所述侧壁部件300下端部突出的侧壁固定部件330，其中，所述侧壁固定部件330结合于所述侧壁部件凹槽230，从而将所述侧壁部件300固定于所述下部壳体200。
[0021]
在此，尤其是其特征在于，所述上部壳体100在上部挡边110内侧还包括内侧部件111，当所述上部壳体100与下部壳体200结合时，所述内侧部件100与所述侧壁部件300的上端接触，所述下部挡边210与所述侧壁部件300的下端接触，从而固定堆叠在内部空间a中的晶圆。
[0022]
在此，尤其是其特征在于，所述上部壳体100还包括：第一突出部件131，在所述上部壳体100的下表面向下部突出；第二突出部件132，在所述第一突出部件131的内侧，在所述上部壳体100的下表面向下部突出，其中，当所述上部壳体100与下部壳体200结合时，所述第一突出部件131插入结合于所述侧壁部件300上端与环形框架之间，所述第二突出部件132按压并固定最上端的晶圆。
[0023]
在此，尤其是其特征在于，所述侧壁部件300在外侧面的中央还包括中间凹槽，所述下部挡边210还包括在所述下部挡边210上部以预定间隔设置为一个以上的挂接部件211，当所述侧壁部件300结合于下部壳体200时，所述挂接部件211结合于所述侧壁部件300
的中央凹槽，从而固定侧壁部件300。
[0024]
根据本发明，可以提供一种为了使在移动晶圆时产生的振动和冲击等均匀地维持在最小而具有固定堆叠晶圆的固定手段的晶圆运输盒。
附图说明
[0025]
图1是示意性地示出根据本发明的一实施例的晶圆运输盒的整体结构的图。
[0026]
图2是示出图1的部分剖面的图。
[0027]
图3是示出下部壳体及侧壁部件的结构的图。
[0028]
图4是示出图3的部分剖面的图。
[0029]
图5是示出上部壳体的另一实施例的图。
[0030]
附图标记说明：
[0031]
100：上部壳体
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101：顶板
[0032]
110：上部挡边
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115：固定部件
[0033]
131：第一突出部件
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132：第二突出部件
[0034]
150：闩锁孔
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200：下部壳体
[0035]
201：底板
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210：下部挡边
[0036]
220：支撑部件
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230：侧壁部件凹槽
[0037]
250：闩锁
[0038]
251：第二闩锁部件
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252：第一闩锁部件
[0039]
253：第三闩锁部件
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300：侧壁部件
具体实施方式
[0040]
本发明可以进行多种变更，并具有多种实施例，因此在附图上举例说明特定实施例，并由此进行详细说明。然而，这并不旨在将本发明限定于特定的实施形态，而应理解为包括在本发明思想和技术范围内的所有变更、等同物乃至替代物。
[0041]
在说明本发明的过程中，当判断为对相关公知技术的具体说明有可能会不必要地混淆本发明的要旨时，则省略其详细说明。此外，在本说明书的说明过程中使用的数字(例如，第一、第二等)只是用于区分一个构成要素与其他构成要素的识别符号。
[0042]
此外，在本说明书中，当提及一构成要素与另一构成要素“连接”或“接触”等时，所述一构成要素可与所述另一构成要素直接连接或直接接触，但只要不存在特别相反的记载，则应理解为也可以在中间介入其他构成要素进行连接或接触。
[0043]
以下，参照附图来详细说明本发明的优选实施例。
[0044]
图1是示意性地示出根据本发明的一实施例的晶圆运输盒的整体结构的图。
[0045]
图2是示出图1的部分剖面的图。
[0046]
图3是示出下部壳体及侧壁部件的结构的图。
[0047]
图4是示出图3的部分剖面的图。
[0048]
图5是示出上部壳体的另一实施例的图。
[0049]
参照图1至图5，根据本发明的晶圆运输盒包括上部壳体100，下部壳体200及侧壁部件300。
[0050]
所述上部壳体100包括顶板101和垂直形成于所述顶板101的下表面以形成弧形的壁的上部挡边110。
[0051]
所述上部壳体100具有360
°
的弧并形成为一个，但可以如下部壳体200一样形成为多个，并且其个数不受限制。
[0052]
所述下部壳体200包括底板201和一个以上的下部挡边210，所述一个以上的下部挡边210垂直形成于所述底板201的上表面以形成弧形的壁，从而在内部空间a中堆叠晶圆下部挡边210，如图1至图4所示，所述下部挡边210可以形成为两个，但其个数不受限制。
[0053]
所述上部壳体100与下部壳体200结合，从而在内部堆叠保管晶圆，当所述上部壳体100与下部壳体200结合时，所述上部挡边110以布置于所述下部挡边210的外侧的方式结合。
[0054]
所述下部壳体200可以在底板201的上表面的每个边角处包括在与所述上部壳体100结合时进行结合固定的一个以上的闩锁250，所述上部壳体100可以在顶板101的每个边角处的对应于所述闩锁250的位置上包括结合固定所述闩锁的一个以上的闩锁孔150。
[0055]
所述闩锁250和闩锁孔150彼此结合，优选地形成为相同的个数。
[0056]
所述闩锁250可以包括：第一闩锁部件252，在所述底板201位于所述下部挡边210的外侧，并且在所述底板210的上表面形成底部；第二闩锁部件251，在所述第一闩锁部件252沿垂直方向形成为与所述下部挡边210相面对；及第三闩锁部件253，向所述第二闩锁部件251的内侧面突出，其中，在所述上部壳体100与下部壳体200结合时，所述第三闩锁部件253固定结合于所述闩锁孔150。
[0057]
所述下部壳体200还可以包括支撑所述下部挡边210的支撑部件220。
[0058]
所述支撑部件220布置于所述闩锁250与下部挡边210之间，并且可以在所述下部挡边210的下端部沿着所述下部挡边210形成弧形。
[0059]
作为一实施例，所述支撑部件220可以形成为具有小于90
°
的弧形，所述支撑部件220可以布置为一个以上。
[0060]
所述下部挡边210和所述支撑部件220以一定间隔相隔开，当所述上部壳体100结合于下部壳体200时，所述上部挡边110插入结合于所述下部挡边210与所述支撑部件220之间，从而能够支撑固定内部空间a中堆叠的晶圆。
[0061]
作为一实施例，所述支撑部件200的高度可以形成为低于所述下部挡边210的高度。
[0062]
所述上部壳体100还可以包括形成在所述上部挡边110外侧面的固定部件155。
[0063]
所述固定部件155位于所述上部挡边110外侧面上的两个闩锁孔150之间，当所述上部壳体100与下部壳体200结合时，所述固定部件155插入结合于两个支撑部件220之间，从而可以更牢固地固定堆叠在内部空间a中的晶圆。
[0064]
所述侧壁部件300结合于所述下部挡边210的内侧面，并与所述下部挡边210一同形成弧形的壁。在所述底板201上形成有能够将侧壁部件300结合至下部挡边210内侧面的底板凹槽，从而所述侧壁部件300结合于所述底板凹槽。所述侧壁部件300的高度高于所述下部挡边210的高度，并且在外侧面的中央包括中间凹槽。
[0065]
下部挡边210还可以包括挂接部件211，所述挂接部件211可以在下部挡边210的上部以一定间隔设置为一个以上。所述挂接部件211包括在挂接部件211上端部向内侧突出的
挂接部。
[0066]
当所述侧壁部件300结合于下部壳体200时，所述挂接部件211结合于所述侧壁部件300的中间凹槽，从而可以固定侧壁部件300。
[0067]
所述侧壁部件300可以具有小于180
°
的弧形，作为与下部挡边210结合的结果，优选地设置为与下部挡边210的个数相同的个数。
[0068]
所述侧壁部件300还可以包括在所述侧壁部件300内侧面下端部向内侧突出的侧壁固定部件330。如图3所示，所述侧壁固定部件330在一个侧壁部件300上可以只设置为一个，但也可以以预定间隔设置为一个以上。
[0069]
所述侧壁固定部件330与侧壁部件凹槽230结合，从而固定侧壁部件。
[0070]
侧壁部件凹槽230可以在底板201下部挡边210内侧的结合侧壁部件300的底板凹槽上设置成单独的凹槽。通过将侧壁固定部件330结合于侧壁部件凹槽230，可以更牢固地固定侧壁部件300，使其不会从下部壳体200脱离。
[0071]
所述上部壳体100可以在上部挡边110内侧进一步包括内侧部件111，当所述上部壳体100与下部壳体200结合时，所述内侧部件100与所述侧壁部件300的上端接触，所述下部挡边210与所述侧壁部件300的下端接触，从而固定堆叠在内部空间a中的晶圆。
[0072]
在此，优选地，当所述上部壳体100与下部壳体200结合时，所述下部挡边210的上端部和内侧部件111的下端部相啮合地结合。
[0073]
所述上部壳体100还可以包括第一突出部件131及第二突出部件132。
[0074]
所述第一突出部件131在所述上部壳体100的下表面向下部突出，当所述上部壳体100与下部壳体200结合时，插入结合于所述侧壁部件300上端与最上端环形框架之间。
[0075]
所述第二突出部件132在所述第一突出部件131的内侧，在所述上部壳体100的下表面向下部突出，并可以按压固定最上端的晶圆。
[0076]
根据本发明，通过将侧壁部件300结合于下部壳体200，从而在晶圆堆叠保管或移动时，仅通过上部壳体100和下部壳体200的结合便能在内部产生空隙，使晶圆受到的振动和冲击等最小化，从而提高晶圆运输时的安全性。
[0077]
本发明的权利范围不限于所述实施例，而是可以在所附权利要求的范围内通过各种形式的实施例来实现。在不脱离权利要求书中所请求的本发明的要旨的情况下，本发明所属技术领域的任何普通技术人员可以变形的多种范围都将视为属于本发明的权利要求书中记载的范围内。

技术特征：

1.一种晶圆运输盒，包括：下部壳体(200)，包括底板(201)和一个以上的下部挡边(210)，所述一个以上的下部挡边(210)垂直形成于所述底板(201)的上表面以形成弧形的壁，以在内部空间(a)中堆叠晶圆；上部壳体(100)，包括顶板(101)和上部挡边(110)，所述上部挡边(110)垂直形成于所述顶板(101)的下表面以形成弧形的壁；及侧壁部件(300)，结合于所述下部挡边(210)的内侧，其中，当所述上部壳体(100)与下部壳体(200)结合时，所述侧壁部件(300)固定堆叠在所述内部空间(a)中的晶圆。2.根据权利要求1所述的晶圆运输盒，其中，所述下部壳体(200)在底板(201)的上表面的每个边角处包括与所述上部壳体(100)结合时进行结合固定的一个以上的闩锁(250)，所述上部壳体(100)在顶板(101)的每个边角处的对应于所述闩锁(250)的位置包括结合固定所述闩锁的一个以上的闩锁孔(150)。3.根据权利要求2所述的晶圆运输盒，其中，所述闩锁(250)包括：第一闩锁部件(252)，位于所述底板(201)上的所述下部挡边(210)的外侧，并在所述底板(210)的上表面形成有底部；第二闩锁部件(251)，在所述第一闩锁部件(252)沿垂直方向形成为与所述下部挡边(210)相面对；及第三闩锁部件(253)，向所述第二闩锁部件(251)的内侧面突出，其中，当所述上部壳体(100)与下部壳体(200)结合时，所述第三闩锁部件(253)固定结合于所述闩锁孔(150)。4.根据权利要求3所述的晶圆运输盒，其中，所述下部壳体(200)还包括：支撑部件(220)，支撑所述下部挡边(210)，其中，所述支撑部件(220)布置于所述闩锁(250)和所述下部挡边(210)之间，并且形成为在所述下部挡边(210)的下端部沿着所述下部挡边(210)形成弧形。5.根据权利要求1所述的晶圆运输盒，其中，所述下部壳体(200)还包括侧壁部件凹槽(230)，在所述下部挡边(210)内侧构成有空间，所述侧壁部件(300)还包括侧壁固定部件(330)，在所述侧壁部件(300)下端部突出，其中，所述侧壁固定部件(330)结合于所述侧壁部件凹槽(230)，从而将所述侧壁部件(300)固定于所述下部壳体(200)。6.根据权利要求5所述的晶圆运输盒，其中，所述上部壳体(100)在上部挡边(110)内侧还包括内侧部件(111)，其中，当所述上部壳体(100)与下部壳体(200)结合时，所述内侧部件(100)与所述侧壁部件(300)的上端接触，所述下部挡边(210)与所述侧壁部件(300)的下端接触，以固定堆叠在内部空间(a)中的晶圆。
7.根据权利要求1所述的晶圆运输盒，其中，所述上部壳体(100)还包括：第一突出部件(131)，在所述上部壳体(100)的下表面向下部突出；第二突出部件(132)，在所述第一突出部件(131)的内侧，在所述上部壳体(100)的下表面向下部突出，其中，当所述上部壳体(100)与下部壳体(200)结合时，所述第一突出部件(131)插入结合于所述侧壁部件(300)上端与环形框架之间，所述第二突出部件(132)按压并固定最上端的晶圆。8.根据权利要求5所述的晶圆运输盒，其中，所述侧壁部件(300)在外侧面的中央还包括中间凹槽，所述下部挡边(210)还包括在所述下部挡边(210)上部以预定间隔设置为一个以上的挂接部件(211)，当所述侧壁部件(300)结合于下部壳体(200)时，所述挂接部件(211)结合于所述侧壁部件(300)的中央凹槽，以固定侧壁部件(300)。

技术总结

本发明提供一种晶圆运输盒，其特征在于，包括：下部壳体(200)，包括底板(201)和一个以上的下部挡边(210)，所述一个以上的下部挡边(210)垂直形成于所述底板(201)的上表面以形成弧形的壁，以在内部空间(A)中堆叠晶圆；上部壳体(100)，包括顶板(101)和上部挡边(110)，所述上部挡边(110)垂直形成于所述顶板(101)的下表面以形成弧形的壁；及侧壁部件(300)，结合于所述下部挡边(210)的内侧，其中，当所述上部壳体(100)与下部壳体(200)结合时，所述侧壁部件(300)固定堆叠在所述内部空间(A)中的晶圆。根据本发明，可以提供一种为了使在移动晶圆时产生的振动和冲击等均匀地维持在最小而具有固定堆叠晶圆的固定手段的晶圆运输盒。固定堆叠晶圆的固定手段的晶圆运输盒。固定堆叠晶圆的固定手段的晶圆运输盒。