一种光学表面轮式气囊加工装置及抛光方法

1.本发明属于光学元件制造领域，涉及一种光学表面轮式气囊加工装置及抛光方法。特别涉及大口径非球面光学元件表面精密抛光的加工装置及抛光方法。

背景技术：

2.随着现代航空航天技术的快速发展，应用先进的光学系统实现超远距离的深空观测及目标追踪已经成为现代航空航天技术发展中重要的一部分。与此同时，作为光学载荷系统的核心单元——大口径非球面光学元件的设计、制造技术将直接影响光学载荷的探测性能。在高性能光学系统中非球面光学元件应用越来越广泛，主要原因是非球面光学元件具有传统的球面镜面无法企及的优点，例如非球面光学镜面能够消除光学系统中的球面相差、改善成像质量、扩大视场、提高观测距离、减少光学能量损失、简化光学系统的结构等等诸多优点，因此采用非球面光学元件不仅能够获得高质量的成像效果，同时能够减小光学载荷的尺寸及质量。因而，加工制造非球面光学元件对新型光学领域的发展同样重要。
3.在传统的光学加工领域，以数控小工具加工为代表的光学元件加工装置及工艺方法由于具有装置成本低、操作简单等优点已经被广泛应用非球面光学元件的加工，但是传统加工过程中需要反复测量及面形修正，通常经过多次迭代才能完成，因而加工工艺面形收敛效率低。随后，为适应特殊材料的加工需求发展磁流变、离子束等专用加工设备及装置，但是该类装置与传统的光学冷加工技术原理完全不同，因而系统机构复杂、应用范围小、设备成本高昂，目前并没有得到广泛的应用。
4.目前，已有的轮式抛光装置均采用金属轮毂或者弹性橡胶轮毂，最外层包裹抛光皮的结构，加工过程中喷淋含有磨粒的抛光液，通过抛光轮外层抛光皮的旋转与加工表面摩擦作用去除光学表面材料，并且为了获得类高斯状态的去除函数，抛光轮毂的横截面沿着旋转轴方向设计成弧形。但是在实际的工艺应用中，随着抛光轮的旋转圆弧形抛光轮与加工表面接触区域为一条“窄带”区域，并且只有该区域内抛光垫具有加工作用。因而，在大口径光学元件加工过程中该接触区域内抛光垫会迅速且非均匀磨损，形成极不稳定的去除函数，并不利于光学表面面形误差的确定性去除。此外，已有的轮式加工工具采用金属轮毂或者弹性橡胶轮毂，因而抛光轮与加工表面之间的接触特性理论上保持恒定，但是随着抛光轮的非均匀磨损，抛光工具的去除函数和材料去除效率发生变化，并不利于大口径非球面光学元件的精密、高效且确定性加工。

技术实现要素：

5.为解决传统数控抛光技术收敛效率低，以及现有轮式抛光装置及工艺方法中抛光垫磨损不均匀以及抛光轮去除函数难以稳定控制的问题，本发明提出了一种光学表面轮式气囊加工装置及抛光方法。
6.为了实现上述目的，本发明采用以下技术方案：
7.一种光学表面轮式气囊加工装置，包括基座，所述基座上设置力控组件，还包括第
一驱动组件、第二驱动组件和抛光组件，所述力控组件底部连接第一驱动组件，所述第一驱动组件通过第二驱动组件和抛光组件连接；
8.所述第一驱动组件包括滑台和滑块，所述滑台与滑块沿滑块的周向相对滑动扣接，所述滑台与力控组件底部连接，所述滑块底部连接第二驱动组件，所述抛光组件包括与第二驱动组件连接的轮式气囊；
9.所述力控组件用于实现对第一驱动组件的恒力加载，所述第一驱动组件用于带动第二驱动组件和抛光组件以轮式气囊的中心为圆心左右往复摆动；所述第二驱动组件用于驱动所述轮式气囊沿自身轴向旋转，实现光学元件表面的加工。
10.具体的，所述左右摆动的角度为
±
10
°
。
11.进一步的，所述滑台上设置第一钩槽，所述滑块上设置与所述第一钩槽相互匹配的第二钩槽；
12.所述滑台与滑块之间呈弧面接触，所述第一钩槽和第二钩槽之间呈弧面扣接。
13.进一步的，所述滑台与滑块之间穿设蜗杆，所述滑块的表面设置与所述蜗杆相配合的蜗齿，蜗杆端部通过联轴器连接设置蜗杆电机，所述蜗杆电机驱动滑块沿第一钩槽和第二钩槽的槽体内往复摆动。
14.进一步的，所述第二驱动组件包括与所述滑块底部连接的支架，所述支架上安装驱动电机，所述驱动电机连接第一带轮，所述第一带轮通过传动带连接第二带轮，所述第二带轮与所述抛光组件的轮式气囊连接，所述第一带轮与所述第二带轮设置在所述支架同侧。
15.进一步的，所述轮式气囊的轴向中心穿设连接轴，轮式气囊在所述驱动电机的驱动下可绕连接轴旋转，所述连接轴的一端穿过所述支架与第二带轮接连接，所述连接轴的另一端为空心轴，所述空心轴的端部安装有旋转接头。
16.进一步的，所述轮式气囊通过压环安装于连接轴上，所述连接轴两侧安装有轴承，所述轴承安装于所述支架下端的轴承座上。
17.进一步的，所述力控组件包括外壳体，所述外壳体内部设置气动缸和压力检测单元，所述外壳体外部设置有与所述气动缸连接的气动接口和与压力检测单元连接的压力控制接口。
18.进一步的，所述轮式气囊的外部包覆有抛光垫，所述轮式气囊的材质包括橡胶、聚脲和聚氨酯，所述抛光垫的材质包括聚氨酯抛光垫、阻尼布和抛光丸片。
19.本发明还公开一种光学元件的抛光方法，该方法采用本发明所述的光学表面轮式气囊抛光装置对光学元件进行抛光，所述抛光方法包括：
20.首先通过气动接口向力控组件的气动缸内部填充压缩空气，调节轮式气囊与光学表面之间的接触压力；通过旋转接头向轮式气囊内部填充压缩空气，使轮式气囊外部呈球形轮廓，接着将抛光液喷洒至光学元件表面，开启驱动电机，调节电机转速，通过第一带轮、传动带和第二带轮驱动轮式气囊绕连接轴旋转；
21.同时，开启蜗杆电机，由蜗杆驱动滑块沿第一钩槽和第二钩槽的槽体内往复摆动，进而驱动支架和轮式气囊围绕做往复摆动，摆动角度为+10
°
～-10
°
，摆动速度为1～5rpm。
22.本发明与现有技术相比具有以下技术效果：
23.(1)本发明采用球形轮毂式的气囊抛光轮，在加工过程中气囊能够与加工表面之
间接触为圆弧形，且接触压力呈现高斯装分布，因而随着抛光轮的旋转球形气囊抛光轮与加工表面形成中心高的类高斯状去除函数；与此同时，在加工过程中通过调节外部供给压缩空气的气压值，调节抛光气囊与内的压力值，以此来控制柔性抛光气囊与接触表面之间的接触压力和接触面积，从而实现去除函数的调节可控。
24.(2)本发明为克服传统的轮式抛光装置上的抛光轮无匀化磨损装置，因为抛光轮外层的抛光皮上在与加工表面接触为一条“窄带”状的非均匀磨损区域，应用本发明装置在加工过程中由第一驱动装置驱动轮式气囊抛光轮围绕以轮式气囊的中心为圆心左右往复摆动，配合气囊抛光轮的自旋转，扩大抛光轮与加工表面之间的有效接触区域，降低气囊抛光轮的磨损，有利于保持去除函数的稳定性。
附图说明
25.图1是轮式气囊抛光装置结构示意图；
26.图2是第一驱动组件结构爆炸示意图；
27.图3是第一驱动组件结构示意图；
28.图4是轮式气囊结构示意图；
29.图5是轮式气囊抛光装置加工示意图；
30.图中各标号代表：
31.10、基座；20、力控组件；21、压力控制接口；22、气动接口；23、气动缸；30、第一驱动组件；31、滑台；32、滑块；33、蜗杆电机；34、第一钩槽；35、第二钩槽；36、蜗杆；37、蜗齿；38、联轴器；40、第二驱动组件；41、驱动电机；42、第一带轮；43、传动带；44、第二带轮；45、支架；46、轴承座；50、抛光组件；51、连接轴；52、旋转接头；53、轮式气囊；54、抛光垫；55、压环；56、轴承；6、光学元件。
具体实施方式
32.以下给出本发明的具体实施方式，需要说明的是本发明并不局限于以下具体实施例，凡在本技术技术方案基础上做的等同变换均落入本发明的保护范围。
33.需要说明，本发明在进行方位描述时，术语“上方”、“下方”、“顶部”、“底部”、“倾斜相对”等指示的方位或位置关系仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，“内”、“外”是指相应部件轮廓的内核外，不能将上述术语理解为对本发明的限制。如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。
34.另外，在本发明中如涉及“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是至少两个，除非另有明确具体的限定。
35.在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“连接”、“固定”等应做广义理解，例如，“固定”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据
具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
36.本发明中，滑台31与滑块32沿滑块32的周向相对滑动扣接，是指滑块的表面为圆弧形，沿着滑块的圆周方向左右滑动扣接。
37.结合图4，轮式气囊53的中心是指轮式气囊53中穿设的连接轴的中心位置。
38.在本发明中，“球形轮廓”是指类似球形的轮廓，该轮廓是平行的去除球形相对两端后的类似轮胎状的轮廓。
39.实施例1
40.结合图1～图5所示，本实施例公开一种光学表面轮式气囊加工装置，在本实施例中公开了一种光学表面轮式气囊加工装置，包括基座10，基座10上设置力控组件20，还包括第一驱动组件30、第二驱动组件40和抛光组件50，力控组件20底部连接第一驱动组件30，第一驱动组件30通过第二驱动组件40和抛光组件50连接；
41.第一驱动组件30包括滑台31和滑块32，滑台31与滑块32沿滑块32的周向相对滑动扣接，滑台31与力控组件20底部连接，滑块32底部连接第二驱动组件40，抛光组件50包括与第二驱动组件40连接的轮式气囊53；
42.力控组件20用于实现对第一驱动组件30的恒力加载，第一驱动组件30用于带动第二驱动组件40和抛光组件50以轮式气囊53的中心为圆心左右往复摆动，第二驱动组件40用于驱动轮式气囊53沿自身轴向旋转，实现光学元件6表面的加工。
43.如此设置，基座10可安装于数控机床主轴箱或者工业机器人上，在数控系统的驱动下使得本发明装置按照一定的轨迹加工整个光学元件6的表面。力控组件20内部主要由气动控制，实现对第一驱动组件30的恒力加载，同时在垂直方向上自动。力控组件20底部连接通过螺钉安装第一驱动组件30。
44.在本实施例的一种优选方式中，左右往复摆动的角度为
±
10
°
，具体参考图5所示，轮式气囊53的半径为r，第二驱动组件40和抛光组件50左右往复摆动的半径为r，r与r有共同的圆心，即轮式气囊53的中心o。
45.如此设置，摆动过程中能够保证轮式气囊53与加工表面之间接触位置不变，但是在抛光垫54上的接触位置随着连接轴51旋转和滑块32的往复摆动时刻变化，因而在长时间使用过程中抛光垫54将围绕轮式气囊53的中心位置旋转和摆动两种符合运动形式结构，因此该运动方式能够均化球形抛光垫54接触区域内的磨损程度，保持轮式气囊53外轮廓的精度，进而保持轮式气囊53抛光装置材料去除效率的稳定。
46.在本实施例的一种优选方式中，结合图2,3所示，滑台31上设置第一钩槽34，滑块32上设置与第一钩槽34相互匹配的第二钩槽35；滑台31与滑块32之间呈弧面接触，第一钩槽34和第二钩槽35之间呈弧面扣接。
47.如此设置，第一钩槽34和第二钩槽35的槽体形状可以为v字型，这样设计，可以使得第一钩槽34和第二钩槽35更好的紧密扣接。滑台31与滑块32沿滑块32的周向相对滑动扣接，滑台31的外周圆所在的面为弧面，该弧心即轮式气囊53的中心。
48.在本实施例的一种优选方式中，滑台31与滑块32之间穿设蜗杆36，滑块32的表面设置与蜗杆36相配合的蜗齿37，蜗杆36端部通过联轴器38连接设置蜗杆电机33，蜗杆电机33驱动滑块32沿第一钩槽34和第二钩槽35的槽体内往复摆动。旋转中心与下部轮式气囊53的中心重合。
49.蜗齿37相应的为圆弧形蜗齿轮，使之能够与蜗杆36配合，并由蜗杆36驱动滑块32左右往复摆动。
50.在本实施例的一种优选方式中，第二驱动组件40包括与滑块32底部连接的支架45，支架45上安装驱动电机41，驱动电机41连接第一带轮42，第一带轮42通过传动带43连接第二带轮44，第二带轮44与抛光组件50的轮式气囊53连接，第一带轮42与第二带轮44设置在支架45同侧。
51.如此设置，滑块32底部通过螺钉连接支架45，支架45下部分为两个支腿位于轮式气囊53两侧。驱动电机41驱动第一带轮42，然后通过传动带43驱动第二带轮44旋转，进而带动轮式气囊53旋转。
52.在本实施例的一种优选方式中，如图4所示，轮式气囊53的轴向中心穿设连接轴51，轮式气囊53在驱动电机41的驱动下可绕连接轴51旋转，连接轴51的一端穿过支架45与第二带轮44接连接，连接轴51的另一端为空心轴，空心轴的端部安装有旋转接头52。
53.如此设置，空心轴的端部设计有螺纹孔安装有旋转接头52，用于将外部压缩空气通过空心轴输入到轮式气囊53的内部。
54.在进行光学表面加工过程中，通过旋转接头52往轮式气囊53内部填充一定压力的气体，使轮式气囊53充气后饱满鼓起呈现球形轮廓，在与光学待加工表面接触过程中接触形状为圆弧形轮廓，并且中心位置接触压力最高，如图4所示随着抛光轮的旋转有利于形成类高斯状的去除轮廓，在应用计算机控制光学表面加工技术过程中更有利于光学表面残余误差的确定性去除和面形误差的收敛。
55.在本实施例的一种优选方式中，轮式气囊53通过压环55安装于连接轴51上，并通过螺钉紧固和密封气囊内部气体；连接轴51两侧安装有轴承56，轴承56安装于支架45下端的轴承座46上。
56.如此设置，在驱动电机41的驱动下，带动连接轴51以及轮式气囊53的旋转。
57.在本实施例的一种优选方式中，力控组件20包括外壳体，外壳体内部设置气动缸23和压力检测单元，外壳体外部设置有与气动缸23连接的气动接口22和与压力检测单元连接的压力控制接口21。
58.如此设置，压力检测单元可以为压力传感器，在使用过程中，通过其内部压力传感器时时检测下部轮式气囊53所受的接触压力，并根据检测结果调节力控装置内的气压，从而实现气囊抛光轮与加工表面之间的恒力接触和变力可控加载。
59.进一步的，轮式气囊53的外部包覆有抛光垫54，轮式气囊53的材质包括橡胶、聚脲和聚氨酯，抛光垫54的材质包括聚氨酯抛光垫54、阻尼布和抛光丸片。
60.轮式气囊53为一种弹性柔性材料，内部充气可使之膨胀，在本发明中轮式气囊53的材质除上述材质之外，还可采用市面常用的柔性材质；抛光垫54加工过程中与加工表面直接接触。
61.实施例2
62.本实施例还公开一种光学元件6的抛光方法，该方法采用本发明的光学表面轮式气囊53抛光装置对光学元件6进行抛光。所述抛光方法包括：
63.首先通过气动接口22向力控组件20的气动缸23内部填充压缩空气，调节轮式气囊53与光学表面之间的接触压力；通过旋转接头52向轮式气囊53内部填充压缩空气，使轮式
气囊53外部呈球形轮廓；接着将抛光液喷洒至光学元件表面，开启驱动电机41，调节电机转速，通过第一带轮42、传动带43和第二带轮44驱动轮式气囊53绕连接轴51旋转；
64.同时，开启蜗杆电机33，由蜗杆36驱动滑块32沿第一钩槽34和第二钩槽35的槽体内往复摆动，进而驱动支架45和轮式气囊53围绕做往复摆动，摆动角度为+10
°
～-10
°
，摆动速度为1～5rpm。
65.应用本发明装置在加工大口径光学元件6过程中具体的实施方式如下：
66.将本发明所述装置通过基座10安装于工业机器人末端，可利用机器人控制本发明所述装置进行光学元件6表面抛光。
67.加工过程中，通过旋转接头52向轮式气囊53内部填充0.2mpa压缩空气，使轮式气囊53充气后形成半径为r的球形轮廓；通过工业机器人将抛光装置移动至光学元件6表面，此时通过外部调压阀向气动接口22内部填充压缩空气，由其内部的力控组件20调节轮式气囊53与光学表面之间的接触压力为12n；
68.加工过程中，利用压力泵将预先混合好的抛光液喷洒至轮式抛光垫54与加工表面之间接触的区域，开启驱动电机41，电机转速为150rpm，通过第一带轮42、传动带43和第二带轮44驱动轮式气囊53绕连接轴51旋转；抛光液为含有氧化铈、氧化铝、金刚石等一种或者多种磨粒混合的抛光液。
69.加工过程中，在开启轮驱动电机41的同时，开启蜗杆电机33正反往复旋转，由蜗杆36驱动滑块32沿第一钩槽34和第二钩槽35的槽体内往复摆动，进而驱动支架45和轮式气囊53围绕做同样的往复摆动，摆动角度为+10
°
～-10
°
，摆动速度为2rpm；
70.轮式气囊53的自身旋转和抛光轮支架45的左右摆动，分别由外部驱动器单独控制，并且同步运动，在加工过程中能够保持轮式气囊53的外轮廓始终与加工表面接触点相切，进而在接触区域内的材料去除轮廓和去除量始终一致；
71.在大口径光学元件6正式加工之前，在平面光学元件6上先进行去除函数“采斑”测试，即在工业机器人控制下，将抛光装置的抛光垫54与样件表面接触并施加12n接触压力，然后开启轮式气囊53旋转，使轮式气囊53在样件表面上固定位置定点加工5秒，停止驱动电机41和蜗杆电机33旋转，用轮廓仪测量样件表面的斑点轮廓，并计算单位时间内材料的去除轮廓，得到材料去除函数，该工艺参数条件下去除函数为直径为3mm圆形斑点，且最大去除深度为55nm，呈现中心处为峰值去除量。
72.加工过程中，首先根据加工光学元件6的初始面形误差分布和去除函数根据ccos加工技术原理计算驻留时间和最优化的加工轨迹，生成工业机器人数控加工程序，将加工程序导入机器人控制装置，并在工业机器人机器臂的控制下使抛光装置对光学工件表面进行抛光加工，以降低光学元件6表面的面形误差，每加工一轮后对光学元件6进行检测，并重新进行驻留时间技术和加工轨迹规划，经过多次迭代加工，直到光学元件6表面面形误差检测达到加工要求，结束加工。
73.本文中所描述的具体实施例仅仅是对本发明精神作举例说明。本发明所属技术领域的技术人员可以对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，但并不会偏离本发明的精神或者超越所附权利要求书所定义的范围。

技术特征：

1.一种光学表面轮式气囊加工装置，包括基座(10)，所述基座(10)上设置力控组件(20)，其特征在于，还包括第一驱动组件(30)、第二驱动组件(40)和抛光组件(50)，所述力控组件(20)底部连接第一驱动组件(30)，所述第一驱动组件(30)通过第二驱动组件(40)和抛光组件(50)连接；所述第一驱动组件(30)包括滑台(31)和滑块(32)，所述滑台(31)与滑块(32)沿滑块(32)的周向相对滑动扣接，所述滑台(31)与力控组件(20)底部连接，所述滑块(32)底部连接第二驱动组件(40)，所述抛光组件(50)包括与第二驱动组件(40)连接的轮式气囊(53)；所述力控组件(20)用于实现对第一驱动组件(30)的恒力加载，所述第一驱动组件(30)用于带动第二驱动组件(40)和抛光组件(50)以轮式气囊(53)的中心为圆心左右往复摆动，所述第二驱动组件(40)用于驱动所述轮式气囊(53)沿自身轴向旋转，实现光学元件(6)表面的加工。2.如权利要求1所述的光学表面轮式气囊加工装置，其特征在于，所述左右摆动的角度为
±
10
°
。3.如权利要求1所述的光学表面轮式气囊加工装置，其特征在于，所述滑台(31)上设置第一钩槽(34)，所述滑块(32)上设置与所述第一钩槽(34)相互匹配的第二钩槽(35)；所述滑台(31)与滑块(32)之间呈弧面接触，所述第一钩槽(34)和第二钩槽(35)之间呈弧面扣接。4.如权利要求3所述的光学表面轮式气囊加工装置，其特征在于，所述滑台(31)与滑块(32)之间穿设蜗杆(36)，所述滑块(32)的表面设置与所述蜗杆(36)相配合的蜗齿(37)，蜗杆(36)端部通过联轴器(38)连接设置蜗杆电机(33)，所述蜗杆电机(33)驱动滑块(32)沿第一钩槽(34)和第二钩槽(35)的槽体内往复摆动。5.如权利要求1所述的光学表面轮式气囊加工装置，其特征在于，所述第二驱动组件(40)包括与所述滑块(32)底部连接的支架(45)，所述支架(45)上安装驱动电机(41)，所述驱动电机(41)连接第一带轮(42)，所述第一带轮(42)通过传动带(43)连接第二带轮(44)，所述第二带轮(44)与所述抛光组件(50)的轮式气囊(53)连接，所述第一带轮(42)与所述第二带轮(44)设置在所述支架(45)同侧。6.如权利要求5所述的光学表面轮式气囊加工装置，其特征在于，所述轮式气囊(53)的轴向中心穿设连接轴(51)，轮式气囊(53)在所述驱动电机(41)的驱动下可绕连接轴(51)旋转，所述连接轴(51)的一端穿过所述支架(45)与第二带轮(44)接连接，所述连接轴(51)的另一端为空心轴，所述空心轴的端部安装有旋转接头(52)。7.如权利要求6所述的光学表面轮式气囊加工装置，其特征在于，所述轮式气囊(53)通过压环(55)安装于连接轴(51)上，所述连接轴(51)两侧安装有轴承(56)，所述轴承(56)安装于所述支架(45)下端的轴承座(46)上。8.如权利要求1所述的光学表面轮式气囊加工装置，其特征在于，所述力控组件(20)包括外壳体，所述外壳体内部设置气动缸(23)和压力检测单元，所述外壳体外部设置有与所述气动缸(23)连接的气动接口(22)和与压力检测单元连接的压力控制接口(21)。9.如权利要求1所述的光学表面轮式气囊加工装置，其特征在于，所述轮式气囊(53)的外部包覆有抛光垫(54)，所述轮式气囊(53)的材质包括橡胶、聚脲和聚氨酯，所述抛光垫(54)的材质包括聚氨酯抛光垫、阻尼布和抛光丸片。
10.一种光学元件的抛光方法，其特征在于，采用权利要求1～9任一所述的光学表面轮式气囊抛光装置对光学元件进行抛光，所述抛光方法包括：首先通过气动接口(22)向力控组件(20)的气动缸(23)内部填充压缩空气，调节轮式气囊(53)与光学表面之间的接触压力；通过旋转接头(52)向轮式气囊(53)内部填充压缩空气，使轮式气囊(53)外部呈球形轮廓；接着将抛光液喷洒至光学元件表面，开启驱动电机(41)，调节电机转速，通过第一带轮(42)、传动带(43)和第二带轮(44)驱动轮式气囊(53)绕连接轴(51)旋转；同时，开启蜗杆电机(33)，由蜗杆(36)驱动滑块(32)沿第一钩槽(34)和第二钩槽(35)的槽体内往复摆动，进而驱动支架(45)和轮式气囊(53)围绕做往复摆动，摆动角度为+10
°
～-10
°
，摆动速度为1～5rpm。

技术总结

本发明公开光学表面轮式气囊加工装置及抛光方法，包括基座，基座上设置力控组件，力控组件底部连接第一驱动组件，第一驱动组件通过第二驱动组件和抛光组件连接；力控组件用于实现对第一驱动组件的恒力加载，第一驱动组件用于带动第二驱动组件和抛光组件以轮式气囊的中心为圆心左右往复摆动；第一驱动组件包括滑台和滑块，滑台与滑块沿滑块的周向相对滑动扣接，滑台与力控组件底部连接，滑块底部连接第二驱动组件；抛光组件包括与第二驱动组件连接的轮式气囊，第二驱动组件用于驱动轮式气囊沿自身轴向旋转，实现光学元件表面的加工。本发明装置可以扩大抛光轮与加工表面之间的有效接触区域，降低气囊抛光轮的磨损，有利于保持去除函数的稳定性。去除函数的稳定性。去除函数的稳定性。