一种真空镀膜设备用供气装置的制作方法

1.本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域，具体为一种真空镀膜设备用供气装置。

背景技术：

2.真空镀膜设备，主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，mbe分子束外延，pld激光溅射沉积等很多种，主要思路是分成蒸发和溅射两种。
3.现有技术中，用于真空镀膜设备上的供气装置多采用单个气瓶进行供气，供气瓶通常放置在固定架中，通过链条拦截在固定架的开口处对供气瓶形成固定。
4.但是，采用单个供气瓶对真空镀膜设备进行供气的方式，当气体耗尽或气体压力低于供气标准时，就需要人工更换气瓶，更换过程中会影响整个镀膜的稳定性，而且经常由于更换时间人为掌握不准确，造成较长时间供气压力不足，影响镀膜品质，且供气瓶在固定架中容易产生晃动影响供气瓶的使用效果。

技术实现要素：

5.本实用新型的目的在于提供一种真空镀膜设备用供气装置，以解决上述背景技术中提出的采用单个供气瓶对真空镀膜设备进行供气的方式，当气体耗尽或气体压力低于供气标准时，就需要人工更换气瓶，更换过程中会影响整个镀膜的稳定性，而且经常由于更换时间人为掌握不准确，造成较长时间供气压力不足，影响镀膜品质，且供气瓶在固定架中容易产生晃动影响供气瓶的使用效果的问题。
6.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种真空镀膜设备用供气装置，所述真空镀膜设备用供气装置包括；
7.底座；底座的表面固定连接有定位板二，且底座的表面开设有调节槽，调节槽中设有卡位板，卡位板的表面开设有定位孔，且底座的表面开设有通孔，通孔中设有定位销；
8.防护壳体；固定连接在底座的表面，且防护壳体的内壁上方固定连接有定位板，且防护壳体的外表面固定连接有限位板，限位板的一端表面固定连接有铰接柱，且限位板的另一端表面开设有定位孔二，铰接柱外部套设有铰接块，铰接块端部表面固定连接有固定板，固定板的内部开设有弧形槽，且固定板的另一端固定连接有定位块，定位块的表面开设有通孔，通孔中设有固定栓，固定栓的底端设于定位孔二中；及
9.供气瓶；供气瓶设于底座的表面，且供气瓶的内表面下方抵持在定位板二的表面，卡位板抵持在供气瓶的外侧表面，且供气瓶的上方内侧表面抵持在定位板的表面，且供气瓶的出气口设有气压阀，气压阀的端口固定连接有供气管。
10.优选的，所述定位板二共设有两组，两组定位板二呈水平对称分布，且调节槽共开设有两组，两组调节槽呈水平对称分布，且卡位板和定位板二呈水平对称分布，且卡位板和定位板二呈弧形板状结构，且卡位板的顶部表面开设有凹槽，凹槽中固定连接有握杆。
11.优选的，所述定位孔共开设有两组，两组定位孔分别开设于卡位板的上下方表面，
且两组定位孔呈水平垂直分布，且定位销的内端设于定位孔中。
12.优选的，所述防护壳体设于定位板二的后方，且防护壳体呈弧形板状结构，且定位板表面开设有弧形槽，供气瓶的上方内侧表面抵持在弧形槽中，且弧形槽共开设有两个，两个弧形槽和两个定位板二呈水平垂直分布。
13.优选的，所述防护壳体外表面设有的限位板设于防护壳体的外表面中部，且固定板内表面开设的弧形槽共开设有两个，且两个弧形槽和卡位板呈水平垂直分布，且供气瓶的外表面设于弧形槽中。
14.优选的，所述供气瓶共设有两组，两组供气瓶呈水平对称分布，且气压阀共设有两组，两组气压阀均设于供气瓶的内侧，且供气管设于两组气压阀之间。
15.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
16.本实用新型提出的一种真空镀膜设备用供气装置；卡位板和定位板二对供气瓶形成夹持有效增加供气瓶在底座上的稳定性，设于防护壳体内壁上方的定位板抵持着供气瓶，进一步增加供气瓶在底座上的稳定性，将固定板向着供气瓶的方向进行转动，设于固定板内部的弧形槽抵持在供气瓶的表面，通过固定栓插入进定位孔二中实现对固定板的固定，固定板有效实现对供气瓶进行固定，使供气瓶在底座上更加稳定，有效避免供气瓶在使用时产生晃动的状况，当一个供气瓶内的气体使用完后关闭与其对应的气压阀，开启另一组气压阀，使另一个供气瓶对真空镀膜设备进行供气，气体通过气压阀进入到供气管中实现对真空镀膜设备进行供气，两个供气瓶通过气压阀和供气管连接，有效实现对真空镀膜设备进行不间断供气，然后拆卸出固定栓，将固定板向外侧转动，使固定板解除对供气瓶的限位，将固定卡位板的定位销拆除，卡位板便向下进行滑落，卡位板滑动到调节槽中方便供气瓶的更换，将新的供气瓶放置在底座上，重复以上步骤对供气瓶进行限位，使供气瓶不间断对真空镀膜设备进行供气，有效增加真空镀膜设备的使用效果。
附图说明
17.图1为本实用新型主体结构示意图；
18.图2为本实用新型安装结构示意图；
19.图3为图2中a处结构放大示意图。
20.图中：1供气管、2定位板、3定位块、4定位孔、5卡位板、6定位销、7底座、8固定板、9防护壳体、10供气瓶、11气压阀、12定位孔二、13定位板二、14铰接柱、15调节槽、16握杆。
具体实施方式
21.为了使本发明的目的、技术方案进行清楚、完整地描述，及优点更加清楚明白，以下结合附图对本发明实施例进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例，仅仅用以解释本发明实施例，并不用于限定本发明实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
22.在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“中”、“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”、“顶”、“底”、“侧”、“竖直”、“水平”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或
元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“一”、“第一”、“第二”、“第三”、“第四”、“第五”、“第六”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
23.在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
24.出于简明和说明的目的，实施例的原理主要通过参考例子来描述。在以下描述中，很多具体细节被提出用以提供对实施例的彻底理解。然而明显的是，对于本领域普通技术人员，这些实施例在实践中可以不限于这些具体细节。在一些实例中，没有详细地描述公知方法和结构，以避免无必要地使这些实施例变得难以理解。另外，所有实施例可以互相结合使用。
25.请参阅图1-图3，本实用新型提供一种技术方案：
26.实施例一：
27.为实现供气瓶10在底座7上更加的稳定，在底座7的表面固定连接有定位板二13，且底座7的表面开设有调节槽15，调节槽15中设有卡位板5，卡位板5的表面开设有定位孔4，且底座7的表面开设有通孔，通孔中设有定位销6，定位板二13共设有两组，两组定位板二13呈水平对称分布，且调节槽15共开设有两组，两组调节槽15呈水平对称分布，且卡位板5和定位板二13呈水平对称分布，且卡位板5和定位板二13呈弧形板状结构，且卡位板5的顶部表面开设有凹槽，凹槽中固定连接有握杆16，定位孔4共开设有两组，两组定位孔4分别开设于卡位板5的上下方表面，且两组定位孔4呈水平垂直分布，且定位销6的内端设于定位孔4中，将供气瓶10放置在底座7上，设于底座7表面的定位板二13对供气瓶10进行初步定位，然后通过设于卡位板5顶部内的握杆16将卡位板16抽出，使卡位板16抵持在供气瓶10的表面，通过定位销6插入进定位孔4中实现对卡位板5的固定，卡位板5和定位板二13对供气瓶10形成夹持有效增加供气瓶10在底座7上的稳定性。
28.实施例二：
29.在实施例一的基础上为了实现对供气瓶10更好的固定，在底座7的表面固定连接有防护壳体9，且防护壳体9的内壁上方固定连接有定位板2，且防护壳体9的外表面固定连接有限位板，限位板的一端表面固定连接有铰接柱14，且限位板的另一端表面开设有定位孔二12，铰接柱14外部套设有铰接块，铰接块端部表面固定连接有固定板8，固定板8的内部开设有弧形槽，且固定板8的另一端固定连接有定位块3，定位块3的表面开设有通孔，通孔中设有固定栓，固定栓的底端设于定位孔二12中，防护壳体9设于定位板二13的后方，且防护壳体9呈弧形板状结构，且定位板2表面开设有弧形槽，供气瓶10的上方内侧表面抵持在弧形槽中，且弧形槽共开设有两个，两个弧形槽和两个定位板二13呈水平垂直分布，防护壳体9外表面设有的限位板设于防护壳体9的外表面中部，且固定板8内表面开设的弧形槽共开设有两个，且两个弧形槽和卡位板5呈水平垂直分布，且供气瓶10的外表面设于弧形槽中，设于防护壳体9内壁上方的定位板2抵持着供气瓶10，进一步增加供气瓶10在底座7上的稳定性，将固定板8向着供气瓶10的方向进行转动，设于固定板8内部的弧形槽抵持在供气
瓶10的表面，通过固定栓插入进定位孔二12中实现对固定板8的固定，固定板8有效实现对供气瓶10进行固定，使供气瓶10在底座7上更加稳定，有效避免供气瓶10在使用时产生晃动的状况。
30.实施例三：
31.在实施例二的基础上为了实现供气瓶10的便捷更换，将供气瓶10设于底座7的表面，且供气瓶10的内表面下方抵持在定位板二13的表面，卡位板5抵持在供气瓶10的外侧表面，且供气瓶10的上方内侧表面抵持在定位板2的表面，且供气瓶10的出气口设有气压阀11，气压阀11的端口固定连接有供气管1，供气瓶10共设有两组，两组供气瓶10呈水平对称分布，且气压阀11共设有两组，两组气压阀11均设于供气瓶10的内侧，且供气管1设于两组气压阀11之间，当供气瓶10内的气体使用完后关闭与其对应的气压阀11，开启另一组气压阀11，使另一个供气瓶10对真空镀膜设备进行供气，气体通过气压阀11进入到供气管1中实现对真空镀膜设备进行供气，然后拆卸出固定栓，将固定板8向外侧转动，使固定板8解除对供气瓶10的限位，将固定卡位板5的定位销6拆除，卡位板5便向下进行滑落，卡位板5滑动到调节槽15中方便供气瓶10的更换，将新的供气瓶10放置在底座上，重复以上步骤对供气瓶10进行限位，使供气瓶10不间断对真空镀膜设备进行供气，有效增加真空镀膜设备的使用效果。
32.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

技术特征：

1.一种真空镀膜设备用供气装置，其特征在于：所述真空镀膜设备用供气装置包括；底座(7)；底座(7)的表面固定连接有定位板二(13)，且底座(7)的表面开设有调节槽(15)，调节槽(15)中设有卡位板(5)，卡位板(5)的表面开设有定位孔(4)，且底座(7)的表面开设有通孔，通孔中设有定位销(6)；防护壳体(9)；固定连接在底座(7)的表面，且防护壳体(9)的内壁上方固定连接有定位板(2)，且防护壳体(9)的外表面固定连接有限位板，限位板的一端表面固定连接有铰接柱(14)，且限位板的另一端表面开设有定位孔二(12)，铰接柱(14)外部套设有铰接块，铰接块端部表面固定连接有固定板(8)，固定板(8)的内部开设有弧形槽，且固定板(8)的另一端固定连接有定位块(3)，定位块(3)的表面开设有通孔，通孔中设有固定栓，固定栓的底端设于定位孔二(12)中；及供气瓶(10)；供气瓶(10)设于底座(7)的表面，且供气瓶(10)的内表面下方抵持在定位板二(13)的表面，卡位板(5)抵持在供气瓶(10)的外侧表面，且供气瓶(10)的上方内侧表面抵持在定位板(2)的表面，且供气瓶(10)的出气口设有气压阀(11)，气压阀(11)的端口固定连接有供气管(1)。2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜设备用供气装置，其特征在于：所述定位板二(13)共设有两组，两组定位板二(13)呈水平对称分布，且调节槽(15)共开设有两组，两组调节槽(15)呈水平对称分布，且卡位板(5)和定位板二(13)呈水平对称分布，且卡位板(5)和定位板二(13)呈弧形板状结构，且卡位板(5)的顶部表面开设有凹槽，凹槽中固定连接有握杆(16)。3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜设备用供气装置，其特征在于：所述定位孔(4)共开设有两组，两组定位孔(4)分别开设于卡位板(5)的上下方表面，且两组定位孔(4)呈水平垂直分布，且定位销(6)的内端设于定位孔(4)中。4.根据权利要求1所述的一种真空镀膜设备用供气装置，其特征在于：所述防护壳体(9)设于定位板二(13)的后方，且防护壳体(9)呈弧形板状结构，且定位板(2)表面开设有弧形槽，供气瓶(10)的上方内侧表面抵持在弧形槽中，且弧形槽共开设有两个，两个弧形槽和两个定位板二(13)呈水平垂直分布。5.根据权利要求1所述的一种真空镀膜设备用供气装置，其特征在于：所述防护壳体(9)外表面设有的限位板设于防护壳体(9)的外表面中部，且固定板(8)内表面开设的弧形槽共开设有两个，且两个弧形槽和卡位板(5)呈水平垂直分布，且供气瓶(10)的外表面设于弧形槽中。6.根据权利要求1所述的一种真空镀膜设备用供气装置，其特征在于：所述供气瓶(10)共设有两组，两组供气瓶(10)呈水平对称分布，且气压阀(11)共设有两组，两组气压阀(11)均设于供气瓶(10)的内侧，且供气管(1)设于两组气压阀(11)之间。

技术总结

本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域，具体公开了一种真空镀膜设备用供气装置，所述真空镀膜设备用供气装置包括；底座，定位板二，调节槽，卡位板，定位孔，定位销，防护壳体，定位板，铰接柱，定位孔二，铰接块，固定板，定位块，供气瓶，气压阀，供气管；有益效果为：当一个供气瓶内的气体使用完后关闭与其对应的气压阀，开启另一组气压阀，使另一个供气瓶对真空镀膜设备进行供气，气体通过气压阀进入到供气管中实现对真空镀膜设备进行供气，两个供气瓶通过气压阀和供气管连接，有效实现对真空镀膜设备进行不间断供气，有效增加真空镀膜设备的使用效果。效果。效果。