硅单晶锭X射线定向仪[实用新型专利]

专利名称：硅单晶锭X射线定向仪专利类型：实用新型专利

发明人：赵久，关守平，甄伟

申请号：CN200520092740.9申请日：20050929

公开号：CN2826421Y

公开日：

20061011

专利内容由知识产权出版社提供

摘要：本实用新型涉及硅单晶锭X射线定向仪，包括工作台、测角仪、X射线管、样品测量台、自动控制面板及单片机。特点是样品测量台设有硅锭滚动装置、硅锭测量定位装置和硅锭自转自动测量装置。硅锭由测量定位装置的定位板压紧硅锭“OF”面在滚动装置的一对滚杠上定位，在硅锭自转自动测量装置采用轴编码器解决了硅锭自转旋转测量精度的问题。通过旋转硅锭0°、90°、180°、270°四个方向实现四方位测量，也可完成0°、90°二方位测量。通过单片机自动计算出相应的硅锭加工时旋转角和摆动角。优点是实现了硅单晶锭方位自动测量，使人们从过去手工计算复杂的劳动中解脱出来，提高了生产率。

申请人：赵久，关守平，甄伟

地址：118002 辽宁省丹东市人民街141号

国籍：CN

代理机构：沈阳利泰专利代理有限公司

代理人：王东煜

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