(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请号 201910196277.9
(22)申请日 2019.03.15
司
地址 510530 广东省广州市高新技术产业
开发区东明二路5号A316
(72)发明人 侯长军 邓飞 李兴红 顾新波
(51)Int.Cl.
G06F 17/50(2006.01)
(54)发明名称一种评估平板显示产品在制造中静电放电敏感度的方法(57)摘要本发明公开了一种评估平 板显示（Fla t Panel Display，简称FPD）产品在制造中静电放电（Electro -Static Discharge，简称ESD）敏感度的方法，包含以下步骤：A、建立FPD产品在前端制造工序中的电子器件结构仿真模型；B、根据步骤A的仿真模型建立FPD产品前端制造工序中的ESD失效情形仿真模型；C、根据步骤B的仿真模型建立FPD产品前端制造工序中的ESD失效敏感度测试方法，采用本发明，FPD制造工厂可以掌握自己的FPD产品的ESD敏感程度，并据此可以在工厂中进行合理的静电防护规划设计，从而实现FPD
产品生产制造阶段有效的静电防护保护目标。权利要求书1页 说明书4页 附图6页CN 109933910 A 2019.06.25
C N 109933910
A
权 利 要 求 书1/1页CN 109933910 A
1.一种评估平板显示产品在制造中静电放电敏感度的方法，其特征在于，包含以下步骤：
A、建立FPD产品在前端制造工序中的电子器件结构仿真模型；
B、根据步骤A的仿真模型建立FPD产品前端制造工序中的 ESD 失效情形仿真模型；
C、根据步骤B的仿真模型建立FPD产品前端制造工序中的ESD失效敏感度测试方法。
2.根据权利要求1所述的一种评估平板显示产品在制造中静电放电敏感度的方法，其特征在于，所述步骤A包括以下两种方式：①以十字交叉形状与层叠的结构来模拟FPD产品中TFT器件中不同金属膜层间的ESD失效结构特征；②以平面内的绝缘介质分隔所构成的丁字型状结构，来模拟FPD产品中TFT器件中同金属膜层内的不同金属线路间的ESD失效结构特征。
3.根据权利要求2所述的一种评估平板显示产品在制造中静电放电敏感度的方法，其特征在于，步骤①中FPD产品的ESD评估应用范围包括TFT-LCD、刚性AMOLED以及Array前端采用刚性基板的柔性AMOLED产品。
4.根据权利要求1所述的一种评估平板显示产品在制造中静电放电敏感度的方法，其特征在于，所述仿真模型有两种。
5.根据权利要求4所述的一种评估平板显示产品在制造中静电放电敏感度的方法，其特征在于，所述步骤C具体是：采用仿真模型一，放置于相应模拟FPD产品在生产制造阶段中的ESD条件；采用带电金属平板组合平板状绝缘感应板使FPD产品静电感应带电的方式；在相应的测试方法中，采用EMI信号监测的方式来判断FPD产品是否发生ESD失效，进而得出此FPD产品在此种ESD失效情形下的ESD敏感程度。
6.根据权利要求4所述的一种评估平板显示产品在制造中静电放电敏感度的方法，其特征在于，所述步骤C具体是：采用仿真模型二，放置于相应模拟FPD产品在生产制造阶段中的ESD条件；采用带电金属平板组合平板状绝缘感应板使FPD产品静电感应带电的方式；在相应的测试方法中，最终得出的EMI信号所对应的静电压值，即为此种ESD失效情形下的FPD 产品最大承受静电压-ESD敏感度。
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