一种硅片真空吸附机械手[发明专利]

专利名称：一种硅片真空吸附机械手专利类型：发明专利

发明人：李旭刚，郝晓明，宋晓彬，王广明申请号：CN201410697433.7

申请日：20141126

公开号：CN104538328A

公开日：

20150422

专利内容由知识产权出版社提供

摘要：本发明涉及晶硅太阳能电池自动化生产设备技术领域，具体涉及一种硅片真空吸附机械手。本发明为在线自动生产提供一种能够平稳高效的运送硅片的机械手；本发明中梳齿形真空吸附手指的梳齿形凹槽的侧面采用凹凸状吸附面设计，增加吸附面积的同时还具有防止硅片破碎的作用效果；本发明所述机械手能够实现平稳的真空吸附多片硅片并将硅片精确的安照预先设定的角度做水平旋转；进一步的，本发明能够一次性吸附50片硅片并旋转180°，自动化的实现将100片硅片背对背的放置在一起。

申请人：北京七星华创电子股份有限公司

地址：100015 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M2楼2层

国籍：CN

代理机构：北京路浩知识产权代理有限公司

代理人：郝瑞刚

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