发明人:吉河训太,市川满,山本宪治
申请号:CN200980140938.0
申请日:20091009
公开号:CN102187471A
公开日:
20110914
专利内容由知识产权出版社提供
摘要:本发明涉及硅系薄膜太阳能电池的制造方法,该硅系薄膜太阳能电池具备包括从透光性基板侧依次层叠的p型层4p、晶体i型硅光电转换层4ic和n型层4nc的晶体硅光电转换单元。在晶体i型硅光电转换层4ic上形成与晶体i型硅光电转换层相接且具有膜厚为1~12nm的n型硅合金层的n型硅系薄膜层4na。根据本发明,在晶体i型硅光电转换层4ic和n型硅系薄膜层4na的界面产生强的电场,因此即使晶体i型硅光电转换层4ic在该界面附近包含大量的缺陷的情况下,也能够得到具有高光电转换特性的薄膜太阳能电池。因此,晶体i型硅光电转换层4ic的高速制膜成为可能,能够以低成本提供高效率的硅系薄膜太阳能电池。
申请人:株式会社钟化
地址:日本大阪府
国籍:JP
代理机构:北京集佳知识产权代理有限公司