一种热电堆红外探测器及其制备方法[发明专利]

专利名称：一种热电堆红外探测器及其制备方法专利类型：发明专利

发明人：雷程，梁庭，徐浩，熊继军，关一浩，武学占申请号：CN202011239341.6

申请日：20201109

公开号：CN112366270A

公开日：

20210212

专利内容由知识产权出版社提供

摘要：本发明涉及红外探测技术领域，公开了一种热电堆红外探测器及其制备方法，探测器包括从下至上依次设置的硅衬底、第一支撑层、吸收材料支撑层，吸收材料支撑层上设置有多个热偶条，热偶条按照“非”字形双列排布形成热偶条区域，钝化吸热层沉淀设置在热偶条上并向下延伸至吸收材料支撑层的上表面，热偶条区域边缘位置无钝化吸热层覆盖；位于首行和尾行的热偶条外侧分别设置有一个与热偶条方向平行的隔热槽，隔热槽从吸收材料支撑层向下延伸并穿透第一支撑层；钝化吸热层上设置有U型的铂电阻，铂电阻的两臂直于热偶条方向，并分别位于两列热偶条的内端上方，本发明提高了红外探测器的响应度。

申请人：中北大学

地址：030051 山西省太原市学院路3号

国籍：CN

代理机构：太原晋科知识产权代理事务所(特殊普通合伙)

代理人：赵江艳

本文发布于:2024-09-21 17:55:08，感谢您对本站的认可！

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