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单晶硅棒参数自动检测装置[发明专利]

专利名称：单晶硅棒参数自动检测装置

专利类型：发明专利

发明人：叶欣，汪辉，金光前，李财源，严顺康，洪昀，何守龙申请号：CN201811271334.7

申请日：20181029

公开号：CN109406982A

公开日：

20190301

专利内容由知识产权出版社提供

摘要：本发明提供的单晶硅棒参数自动检测装置，能够自动、精准、快速的测量硅棒电阻率和导电型号。本发明所述的单晶硅棒参数自动检测装置，包括机架和设置于机架上的检测输送线，在机架上设置有测试台，测试台包括横向导轨、滑座和纵向导轨、滑架，在滑架上设置有回转架，回转架上设置有电阻测笔和导电型号测笔，电阻测笔与电阻率测试仪连接，导电型号测笔与导电型号测试仪连接，回转架由电机驱动转动。该方案使得电阻测笔和导电型号测笔具有较高的灵活性，即电阻测笔、导电型号测笔相对于机架可以做上下左右及旋转动作，利用该装置可以方便地测量硅棒的电阻率及导电型号，提高了硅棒的检测效率及检测精度。

申请人：杭州中为光电技术有限公司

地址：310030 浙江省杭州市钱江经济开发区龙船坞路96号

国籍：CN

代理机构：浙江英普律师事务所

代理人：陈小良

本文发布于:2024-09-20 17:42:04，感谢您对本站的认可！

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